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公开(公告)号：KR1020070050109A
公开(公告)日：2007-05-15
申请号：KR1020050107261
申请日：2005-11-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 화학적 기계적 연마 설비의 패드 컨디셔너에 있어서, 디스크 홀더는 컨디셔너 디스크를 홀딩하는 역할을 한다. 상기 디스크 홀더에 체결되는 구동 슬리브, 상기 구동 슬리브에 삽입되고, 상기 구동 슬리브에 회전력을 전달하기 위한 구동축, 상기 구동축과 체결되어 상기 구동축에 회전력을 전달하는 칼라를 포함하는 컨디셔너 헤드가 구비된다. 상기 구동 슬리브의 상단부와 칼라 사이에 구비되는 다이어프램은 상기 컨디셔너 헤드 내부에서 밀폐된 공간을 형성한다. 상기 구동 슬리브 내에 상기 구동축이 구동 슬리브 내부에 삽입되는 거리를 한정하는 차단 부재가 구비된다. 상기 차단 부재는 상기 구동축의 외측벽을 따라 상기 구동 슬리브가 이동할 경우 다이어프램의 손상을 방지한다. 이로써, 다이어프램의 불량이 크게 감소되고, 상기 구동 슬리브에 체결된 디스크 홀더의 상승 및 하강이 안정되게 이루어질 수 있어 패드 컨디셔닝 공정의 효율이 증대될 수 있다.
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公开(公告)号：KR100682917B1
公开(公告)日：2007-02-15
申请号：KR1020050004454
申请日：2005-01-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1637 , B41J2002/14306 , B41J2002/14411 , B41J2002/14419
Abstract: 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드는 두 개의 단결정 실리콘 기판 상에 구현된다. 상부 기판에는 잉크 인렛이 관통 형성되고, 상부 기판의 저면에는 잉크 인렛과 연결되는 매니폴드와 매니폴드의 적어도 일측에 배열되는 다수의 압력 챔버가 형성된다. 하부 기판의 상면에는 매니폴드와 다수의 압력 챔버 각각의 일단부를 연결하는 다수의 리스트릭터가 형성되고, 하부 기판에는 다수의 압력 챔버 각각의 타단부에 대응되는 위치에 다수의 노즐이 수직으로 관통 형성된다. 상부 기판 상에는 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 형성된다. 그리고, 상기 하부 기판 상에 상부 기판이 적층되어 서로 접합됨으로써, 잉크 인렛과 매니폴드로 이루어진 공통 유로와 리스트릭터, 압력 챔버 및 노즐로 이루어진 개별 유로가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 종래에 비해 사용되는 기판의 수가 감소하므로 제조 공정이 단순화되고 제조 원가가 감소할 뿐만 아니라 잉크 토출 성능이 향상되어 구동 주파수가 높아질 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020060115135A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：KR1020050037483
申请日：2005-05-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 이재창
IPC: H04N5/225
CPC classification number: H04N5/2252 , G03B17/563 , G03B17/568 , H04N5/2254
Abstract: A portable photographing device is provided to protrude a grip part at a uniform angle from a body and dispose the grip part to be horizontal with the body. A lens part(112) for inputting object image light to an internal part is formed in a front of a body(110). A grip part(130) is rotatably combined to one side of the body(110). The grip part(130) is fixed in the first position horizontal with the body(110) and the second position having a certain angle with the body(110) on the basis of a vertical line of a position combined with the body(110).
Abstract translation: 提供便携式拍摄装置，用于以与身体相等的角度突出抓握部分，并将握持部分与身体水平配置。 在物体（110）的前方形成用于将物体图像光输入到内部的透镜部（112）。 手柄部分（130）可旋转地组合到主体（110）的一侧。 基于与主体（110）组合的位置的垂直线，抓握部分（130）被固定在与主体（110）水平的第一位置，并且第二位置与主体（110）成一定角度， 。
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公开(公告)号：KR100571848B1
公开(公告)日：2006-04-17
申请号：KR1020050000831
申请日：2005-01-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/20
Abstract: 가스에 의한 보이드 발생을 억제할 수 있는 실리콘 직접 접합 방법이 개시된다. 개시된 실리콘 직접 접합 방법은, 서로 대응되는 접합면을 가진 두 개의 실리콘 기판을 준비하는 단계와, 두 개의 실리콘 기판 중 적어도 하나의 접합면에 소정 깊이의 트렌치를 형성하는 단계와, 두 개의 실리콘 기판을 클리닝하는 단계와, 두 개의 실리콘 기판을 밀착시키는 단계와, 밀착된 두 개의 기판을 열처리하여 접합하는 단계를 구비한다. 그리고, 상기 두 개의 실리콘 기판 중 적어도 하나의 접합면에는 실리콘 산화막이 형성되고, 이 실리콘 산화막에 트렌치가 형성될 수 있으며, 상기 트렌치는 다수의 다이싱 라인들 중 적어도 일부의 라인들을 따라 형성될 수 있다. 이와 같은 구성에 의하면, 열처리 공정 중에 발생되는 가스가 트렌치를 따라 원활하게 배출될 수 있으므로, 두 개의 실리콘 기판의 접합부에 가스에 의한 보이드 발생이 억제된다.
Abstract translation: 公开了能够抑制气体产生空隙的直接硅接合方法。 公开的直接硅键合方法包括以下步骤：制备具有彼此对应的键合表面的两个硅基板;在两个硅基板的至少一个键合表面上形成具有预定深度的沟槽; 清洗两个硅衬底，将两个硅衬底彼此粘合，并通过热处理将两个紧密粘合的衬底粘合。 在两个硅衬底中的至少一个硅衬底的接合表面上形成氧化硅膜，并且可以在氧化硅膜中形成沟槽。沟槽可以沿着多条切割线的至少一部分线形成。 有。 根据该结构，由于在热处理过程中产生的气体可以顺利地沿着沟槽排出，所以在两个硅基板的接合处抑制了由气体引起的空隙的产生。
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公开(公告)号：KR100561866B1
公开(公告)日：2006-03-17
申请号：KR1020040013564
申请日：2004-02-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
Abstract: 압전 방식 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식 잉크젯 프린트헤드는, 서로 접합되는 두 개의 기판, 즉 하부 기판과 상부 기판을 구비한다. 하부 기판과 상부 기판의 접합면을 기준으로 그 각각에 대칭되게 잉크 유로가 형성된다. 잉크 유로는, 잉크 도입구와 매니폴드를 가진 공통 유로와 다수의 리스트릭터와 다수의 압력 챔버와 다수의 노즐을 가진 개별 유로를 포함한다. 하부 기판과 상부 기판 각각의 바깥쪽 표면에는 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 종래와 동일한 크기의 압력 챔버에 보다 큰 구동력을 제공할 수 있으므로 잉크 토출 성능이 향상되며, 종래에 비해 사용되는 기판의 수가 감소되므로 제조 공정이 단순화되어 제조 비용이 저감된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020040082740A
公开(公告)日：2004-09-30
申请号：KR1020030017388
申请日：2003-03-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/1629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , H01L41/0973 , H01L41/314 , Y10T29/42
Abstract: PURPOSE: A piezoelectric actuator of an ink jet print head and a method for fabricating the same are provided to prevent a piezoelectric film from being broken when a polling process is carried out or the ink jet print head is driven. CONSTITUTION: A piezoelectric actuator(120) of an ink jet print head is provided on an upper portion of a vibrating plate(113) forming an upper wall of a pressure chamber(114) so as to transfer driving force to the pressure chamber(114) by deforming the vibrating plate(113). The piezoelectric actuator(120) has a lower electrode(121) acting as a common electrode, a piezoelectric film(122), which is deformed as current applied thereto, and an upper electrode(123) acting as a driving electrode. The lower electrode(121), the piezoelectric film(122) and the upper electrode(123) are sequentially stacked on the vibrating plate(113).
Abstract translation: 目的：提供喷墨打印头的压电致动器及其制造方法，以防止在执行轮询处理或喷墨打印头被驱动时压电膜被破坏。 构成：喷墨打印头的压电致动器（120）设置在形成压力室（114）的上壁的振动板（113）的上部，以将驱动力传递到压力室（114） ）使振动板（113）变形。 压电致动器（120）具有用作公共电极的下电极（121），作为电流施加的电压变形的压电膜（122）和用作驱动电极的上电极（123）。 下电极（121），压电膜（122）和上电极（123）依次层叠在振动板（113）上。
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公开(公告)号：KR1020030050477A
公开(公告)日：2003-06-25
申请号：KR1020010080908
申请日：2001-12-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1618 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2002/14306 , B41J2002/14475
Abstract: PURPOSE: An ink jet printer head of a piezoelectric type is provided to enhance a junction characteristic of a substrate, and to reduce a number of the substrate by stacking and connecting three single crystal silicon substrate. CONSTITUTION: An ink jet head is formed by stacking a plurality of thin plate. A nozzle(11a) is formed on a first plate. A reservoir(12a) and an ink outlet(12b) are formed at a second plate. The ink inlet(13a) and the ink outlet(13b) are formed at a third plate. The ink inlet(14a) and the ink outlet(14b) are formed at a fourth plate. A pressure chamber(15a) communicated to the ink inlet(14a) and the ink outlet(14b) are formed at a fifth plate. A driving electrode(20) and a piezoelectric film(21) are formed at a sixth plate. The above plates are stacked and connected sequently.
Abstract translation: 目的：提供一种压电型喷墨打印机头，以增强基板的结特性，并通过堆叠和连接三个单晶硅基板来减少多个基板。 构成：通过堆叠多个薄板形成喷墨头。 喷嘴（11a）形成在第一板上。 在第二板上形成储存器（12a）和墨水出口（12b）。 墨水入口（13a）和墨水出口（13b）形成在第三个板上。 墨水入口（14a）和墨水出口（14b）形成在第四个板上。 在第五板上形成连通到墨水入口（14a）和墨水出口（14b）的压力室（15a）。 驱动电极（20）和压电膜（21）形成在第六板上。 上述板块后续堆叠并连接。
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公开(公告)号：KR2019930019732U
公开(公告)日：1993-09-23
申请号：KR2019920002208
申请日：1992-02-13
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 이재창
IPC: B65D85/575
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公开(公告)号：KR1020160131243A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：KR1020150063157
申请日：2015-05-06
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01L21/67046 , B05B1/20 , B05B13/0415 , B08B1/002 , B08B1/04 , B08B3/024 , B08B3/10 , H01L21/67051 , H01L21/67057
Abstract: 기판세정장치는기판을수용하기위한세정공간을제공하는세정조, 상기세정조내에서상기기판을유지하기위한기판유지부, 상기세정조내에서상기기판과평행한평면내에서회전가능하도록설치되고내부에세정액의공급을위한유로를갖는한 쌍의노즐바들, 상기노즐바의연장방향을따라형성되고상기유로에연통되어상기기판에상기세정액을분사하기위한복수개의노즐들, 및상기기판의양측에이동가능하도록설치되고상기기판의양면에각각슬라이딩접촉하여상기기판을세정하기위한한 쌍의브러시들을포함한다.
Abstract translation: 本发明提供一种基板清洗装置，其特征在于，包括：清洗槽，其配置为容纳具有第一表面和第二表面的基板; 衬底支撑件，其构造成支撑所述衬底; 设置在所述清洗槽中的第一和第二喷嘴杆可在与所述基板平行的平面中旋转，所述第一和第二喷嘴杆中的每一个包括通道; 多个喷嘴，其沿着所述第一喷嘴杆和所述第二喷嘴杆中的每一个的纵向方向设置并且构造成将所述清洁溶液从所述第一和第二喷嘴杆中的每一个的通道喷射到所述基板; 以及第一和第二刷，所述第一刷设置在所述基板的第一侧上，并且被配置为清洁设置在所述基板的第二侧上的所述第一表面和所述第二刷，并且构造成清洁所述基板的所述第二表面。
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30.发明公开압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 失效PIEZO-ELECTRIC TYPE INKJET PRINTHEAD AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
公开(公告)号：KR1020060083582A
公开(公告)日：2006-07-21
申请号：KR1020050004454
申请日：2005-01-18
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1637 , B41J2002/14306 , B41J2002/14411 , B41J2002/14419
Abstract: 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드는 두 개의 단결정 실리콘 기판 상에 구현된다. 상부 기판에는 잉크 인렛이 관통 형성되고, 상부 기판의 저면에는 잉크 인렛과 연결되는 매니폴드와 매니폴드의 적어도 일측에 배열되는 다수의 압력 챔버가 형성된다. 하부 기판의 상면에는 매니폴드와 다수의 압력 챔버 각각의 일단부를 연결하는 다수의 리스트릭터가 형성되고, 하부 기판에는 다수의 압력 챔버 각각의 타단부에 대응되는 위치에 다수의 노즐이 수직으로 관통 형성된다. 상부 기판 상에는 다수의 압력 챔버 각각에 잉크의 토출을 위한 구동력을 제공하는 압전 액츄에이터가 형성된다. 그리고, 상기 하부 기판 상에 상부 기판이 적층되어 서로 접합됨으로써, 잉크 인렛과 매니폴드로 이루어진 공통 유로와 리스트릭터, 압력 챔버 및 노즐로 이루어진 개별 유로가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 종래에 비해 사용되는 기판의 수가 감소하므로 제조 공정이 단순화되고 제조 원가가 감소할 뿐만 아니라 잉크 토출 성능이 향상되어 구동 주파수가 높아질 수 있다.
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