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公开(公告)号:KR1020170043897A
公开(公告)日:2017-04-24
申请号:KR1020150143547
申请日:2015-10-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304 , H01L21/67 , H01L21/306 , H01L21/02
Abstract: 화학기계적연마장치가제공된다. 화학기계적연마장치는, 기판이장착되는연마헤드로, 상기기판을지지하는멤브레인및, 상기멤브레인의외주면과이격되어둘러싸는리테이너링을포함하는연마헤드및 상기연마헤드하부에배치된세정부를포함하되, 상기세정부는, 상기세정부의상면에형성된복수의노즐구, 상기복수의노즐구중 어느하나에삽입된제1 관절을통하여상기노즐구와연결되는제1 링크를포함하되, 상기제1 링크는상기제1 링크의상면을향하도록배치된제1 노즐을포함하는제1 링크를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种化学机械抛光装置。 一种化学机械抛光装置包括:在所述基板上安装有研磨头,但包括膜用于支撑衬底,并且所述外表面和所述抛光头隔开环绕包括保持环,和洗涤的设置在膜的抛光头的下方 ,清洗部,清洗部上形成的多个的上表面的喷嘴口的方法,包括:连接到所述喷嘴球体,并通过所述多个喷嘴的第一链路gujung插入第一关节任何花枝,第一连杆是 并且第一连杆包括布置成面对第一连杆的上表面的第一喷嘴。
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公开(公告)号:KR1020080042525A
公开(公告)日:2008-05-15
申请号:KR1020060111093
申请日:2006-11-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B1/40
CPC classification number: H04M1/0243 , H04M1/0227 , H04M1/23 , H04M2250/16
Abstract: A key input mode conversion method of a portable terminal is provided to enable the portable terminal to freely convert a key input mode according to rotation of a housing without inputting a separate key, thereby increasing a user's convenience. A controller senses rotation of the second housing by controlling a sensor unit while an operational mode of a portable terminal is an idle mode or particular function mode(S110). The controller checks whether front and rear sides are reversed through rotation of the second housing(S120). If so, the controller checks whether the first display and the first key input unit are disposed on front sides of the second housing and the first housing(S130). If so, the controller converts the operational mode of the terminal into the first key input mode in which the first key input unit operates(S140).
Abstract translation: 提供便携式终端的键输入模式转换方法,以便便携式终端能够根据外壳的旋转自由地转换键输入模式而不输入单独的键,从而增加用户的便利性。 当便携式终端的操作模式为空闲模式或特定功能模式时,控制器通过控制传感器单元来感测第二壳体的旋转(S110)。 控制器通过第二壳体的旋转来检查前侧和后侧是否反转(S120)。 如果是,则控制器检查第一显示器和第一键输入单元是否设置在第二外壳和第一外壳的前侧上(S130)。 如果是,则控制器将终端的操作模式转换为第一键输入单元操作的第一键输入模式(S140)。
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公开(公告)号:KR100519764B1
公开(公告)日:2005-10-07
申请号:KR1020030017388
申请日:2003-03-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/1629 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , H01L41/0973 , H01L41/314 , Y10T29/42
Abstract: 잉크젯 프린트헤드의 압전 액츄에이터 및 그 형성 방법이 개시된다. 개시된 압전 액츄에이터는, 압력 챔버의 상부벽을 이루는 진동판 위에 형성되는 하부 전극과, 하부 전극 위에 압력 챔버에 대응하는 위치에 형성되며 그 가장자리 부위와 하부 전극 사이에 공간이 형성된 압전막과, 압전막 위에 형성되어 압전막에 전압을 인가하는 상부 전극을 구비한다. 한편, 상기 압전막은 가장자리 부위에 형성된 공간 대신에 그 측면이 하부 전극의 상면에 대하여 실질적으로 직각을 이루도록 형성될 수 있다. 그리고, 개시된 압전 액츄에이터의 형성 방법에 의하면, 상기 압전막은 포토리소그라피 공정에 의해 상기한 형상으로 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 보다 넓은 상부 전극을 형성할 수 있어서 충분한 압전 효과를 발휘할 수 있으며, 폴링 공정이나 구동시에 압전막의 절연파괴를 방지할 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020050087635A
公开(公告)日:2005-08-31
申请号:KR1020040013559
申请日:2004-02-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/045
Abstract: 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 압전 방식의 잉크젯 프린트헤드는 세 개의 단결정 실리콘 기판을 적층하여 접합함으로써 이루어진다. 세 개의 기판은 잉크 도입구와 다수의 압력 챔버가 형성된 상부 기판과, 매니폴드와 다수의 리스트릭터와 다수의 댐퍼가 관통 형성된 중간 기판과, 다수의 노즐이 형성된 하부 기판으로 구성된다. 실리콘으로 이루어진 진동판을 형성하는 상부 기판 위에는 압전 액츄에이터가 일체형으로 형성된다. 그리고, 세 개의 기판을 순차적으로 적층하여 접합함으로써 잉크 도입구와 매니폴드로 이루어진 공통 유로와 리스트릭터, 압력 챔버, 댐퍼 및 노즐로 이루어진 개별 유로가 형성된다. 이와 같은 구성에 의하면, 매니폴드와 리스트릭터와 댐퍼를 중간 기판을 관통하여 가공하는 단일 공정에 의해 동시에 형성할 수 있으므로 제조 공정이 단순화되어 제조 비용이 저감될 뿐만 아니라, 매니폴드의 단면적이 넓어져서 각 압력 챔버로 공급되는 잉크의 유동 저항이 감소하여 잉크 저장고로부터 각 압력 챔버로 공급되는 잉크의 유량이 적정하게 확보될 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020020030377A
公开(公告)日:2002-04-25
申请号:KR1020000060976
申请日:2000-10-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 이재창
IPC: H04B1/40
CPC classification number: H03M13/2703 , H03M13/2764 , H03M13/41
Abstract: PURPOSE: A modem circuit for a CDMA(Code Division Multiple Access) communication is provided to simplify a memory interface by using several memories as one memory. CONSTITUTION: A combiner block(100) successively outputs data corresponding to N channels in series. A deinterleaver(200) receives the serial data from the combiner block(100), deinterleaves the received serial data, and stores the deinterleaved data. A viterbi decoder(300) decodes the data stored in the deinterleaver(200). The deinterleaver(200) includes a control logic(210) for generating an address corresponding to a channel of the data provided from the combiner block(100) and a memory(220) for storing the data provided from the combiner block(100) in a position corresponding to the address.
Abstract translation: 目的:提供用于CDMA(码分多址)通信的调制解调器电路,以通过使用多个存储器作为一个存储器来简化存储器接口。 组合:组合器块(100)连续地输出与N个通道相对应的数据。 解交织器(200)从组合器块(100)接收串行数据,对所接收的串行数据进行解交织,并存储解交织的数据。 维特比解码器(300)解码存储在解交织器(200)中的数据。 解交织器(200)包括用于产生对应于从组合器块(100)提供的数据的信道的地址的控制逻辑(210)和用于存储从组合器块(100)提供的数据的存储器(220) 与地址对应的位置。
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公开(公告)号:KR1020010019281A
公开(公告)日:2001-03-15
申请号:KR1019990035614
申请日:1999-08-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/302
Abstract: PURPOSE: A chemical mechanical polishing(CMP) apparatus is provided to control a fine scratch on a surface of a wafer, by preventing slurry leftovers from being dried on an outer wall of a tank for storing slurry. CONSTITUTION: A slurry system supplies slurry to an interface between a wafer and a polishing pad. The slurry is stored in a tank. A deionized(DI) water spray unit(104) is installed inside the tank. A DI water supplying pipe(106) is connected to the DI water spray unit from the outside of the tank. Air is injected into the DI water supply unit to exhaust DI water remaining in the tank to the outside of the tank.
Abstract translation: 目的:提供化学机械抛光(CMP)装置,通过防止浆料残留物在用于储存浆料的罐的外壁上干燥来控制晶片表面上的细小划痕。 构成:浆料系统将浆料供应到晶片和抛光垫之间的界面。 将浆料储存在罐中。 一个去离子(DI)喷水装置(104)安装在罐内。 DI水供给管(106)从罐外部与去离子水喷射单元连接。 空气被注入去离子水供应单元,以将残留在罐中的去离子水排出到罐的外部。
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公开(公告)号:KR100242434B1
公开(公告)日:2000-03-02
申请号:KR1019920011365
申请日:1992-06-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/28
Abstract: 반도체 제조방법에 있어서, 현재까지 개발된 콘택 형성방법은 등방성 식각 및 이방성 식각을 각각 한번씩 사용하여 콘택의 모양을 형성하는 것으로써 이러한 서브미크론 멀티레벨 인터커넥션(Submicron Multilevel Interconnection)기술에서 가장 문제가 되는 것은 종횡비에 따른 배선형성과 콘택 안내에서의 샤프 에지부(Sharp Edge)에 따른 금속 필링(Metal Filling)및 배선간 단략이 일어나는 것이다.
이에 대해 본 발명은 콘택형성시 등방성 식각과 이방성 식각을 병행한 다단계 식각 방법, 예컨데 등방성, 등방성, 이방성, 식각순으로 절연막(Film Layer)을 식각 함으로써 종래의 콘택모양과는 다른 경사가 완만한 콘택을 형성하게 되는데 상기 콘택은 종횡비(Aspect-Ratio)가 크게 개선되어 단차피복성이 좋아지게 되며, 배선단략을 막을 수 있어 제품의 성능 및 신뢰도를 향상시킬 수 있을 뿐 아니라 콘택의 샤프 에지부를 제거함으로써 금속라인(Metal Line)의 필링(Filling)을 더욱 개선시킬 수 있으며, 금속의 비트-라인 확보를 크게할 수 있게 된다.-
公开(公告)号:KR101120023B1
公开(公告)日:2012-03-15
申请号:KR1020050037483
申请日:2005-05-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor: 이재창
IPC: H04N5/225
Abstract: 본 발명은, 촬영 시에 카메라 등의 휴대용 촬영 장치를 손으로 움켜잡는 그립성이 우수한 동시에, 촬영을 하지 않는 경우에는 큰 부피를 차지하지 않는 단순한 형상을 가진 카메라를 제공하는 것을 목적으로 하며, 이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 피사체상 광을 내부로 입사시키는 렌즈부가 전방에 형성된 본체; 및 본체의 일측면에 회전 가능하도록 결합된 것으로, 적어도 본체와 나란한 제1위치 및 본체와의 결합되는 위치의 수직선을 기준으로 상기 본체와 소정의 각도를 가지는 제2위치에서 고정될 수 있는 손잡이부를 구비하는 휴대용 촬영 장치를 제공한다.
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公开(公告)号:KR100858080B1
公开(公告)日:2008-09-10
申请号:KR1020020070141
申请日:2002-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12Q1/68
CPC classification number: C12Q1/6825 , C12Q1/686 , G01N27/221 , C12Q2565/607 , C12Q2561/113 , C12Q2531/113
Abstract: 본 발명은 (a) PCR 반응 용기 내에 한 쌍 이상의 전극을 제공하는 단계; (b) PCR을 수행하는 단계; (c) 상기 전극 사이에 전기장을 발생시키는 단계; 및 (d) 상기 PCR 반응 용액의 유전적 특성의 변화를 측정하는 단계를 포함하는 PCR 증폭 산물을 검출하는 방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, PCR 산물을 리얼타임으로 검출할 수 있다
전기적 신호, 임피던스, 리얼타임 PCR-
公开(公告)号:KR100557070B1
公开(公告)日:2006-03-03
申请号:KR1019990014668
申请日:1999-04-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술 분야
레이저빔 프린터에 관한 것이다.
나. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제
레이저빔 프린터에서 발생할 수 있는 오차를 최소화하여 화상의 왜곡을 보상할 수 있는 장치 및 방법을 제공한다.
다. 발명의 해결방법의 요지
본 발명에 따른 첫 번째 요지는 레이저빔 프린터의 화상왜곡을 보상하기 위한 장치에 있어서, 화상을 형성하기 위하여 레이저빔을 발사하기 위한 다수의 레이저 스케닝 유니트와, 상기 다수의 유니트를 동작시키기 위한 구동부와, 상기 다수의 유니트마다 화상 형성 라인의 일정 구간별로 설치되어 상기 유니트로부터 발사되는 레이저빔을 감지하기 위한 다수의 센서와, 상기 센서로부터 출력되는 신호를 통해 상기 레이저빔의 상기 구간별 스케닝 시간을 측정하기 위한 시간 측정부와, 데이터를 저장하기 위한 메모리와, 상기 측정된 시간을 상기 메모리에 저장하고 상기 구간별 스케닝 시간에 의해 상기 구동부를 통해 상기 각각의 레이저스케닝 유니트의 빔 발사를 제어하기 위한 제어부로 이루어짐을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 두 번째 요지는 레이저빔 프린터의 화상왜곡을 보상하기 위한 방법에 있어서, 각각의 레이저 스케닝 유니트별로 화상 형성 라인의 일정 구간마다 센서를 설치하여 상기 구간별 상기 유니트의 스케닝 시간을 측정하는 과정과, 상기 유니트의 스케닝 시간에 의해 구간별 총 도트 수를 계산하는 과정과, 상기 계산한 도트 수에 따라 도트별 보정첩수를 계산하는 과정과, 기본옵셋값과 상기 계산한 보정첩수에 따라 도트별 옵셋값을 계산하는 과정과, 상기 도트별 옵셋값에 따라 상기 유니트를 구동하여 화상을 형성하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 한다.
라. 발명의 중요한 용도
레이저빔 프린터에서 화상의 왜곡을 보정하는데 이용된다.
레이저빔 프린터, 화상, 왜곡, 보상
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