公开(公告)号：KR2019990025693U

公开(公告)日：1999-07-05

申请号：KR2019970038217

申请日：1997-12-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정윤 ,  한동철 ,  장인배 ,  김의석 ,  안형준

IPC: H01L21/00

Abstract: 개시된 초정밀 장비는 센서 증폭기 내장형 자기 부상 직선 운동 테이블에 관한 것이다. 본 고안은 리니어 가이드를 갖는 베드와, 상기 리니어 가이드로 지지되고 리니어 모터와 리니어 스케일로 이송되는 Y축 테이블과, 상기 Y축 테이블을 베드로 사용하고 복수개의 자기 베어링으로 지지되며 리니어 모터와 리니어 스케일로 이송되는 X축 테이블과, 상기 X축 테이블 상단에 장착되어 상기 자기 베어링의 신호의 레벨을 안정화시키는 센서 증폭기 및 상기 리니어 모터의 구동 및 상기 자기 베어링의 구동을 제어하기 위한 주 제어부로 구성된다. 따라서, 자기 베어링에 의하여 테이블이 자기 부상된 상태에서 완전한 무마찰로 인해 적은 구동력으로도 정밀한 직선 운동을 얻을 수 있으며, 자기 베어링에 내장된 센서 및 센서 증폭기에 의하여 테이블의 정확한 변위를 측정하고 그 신호를 궤환시켜 제어함으로써 외부 하중이나 외란 등에 대하여 능동적으로 작용하게 된다.

公开(公告)号：KR1019960034782A

公开(公告)日：1996-10-24

申请号：KR1019950006756

申请日：1995-03-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정윤 ,  한동철 ,  장인배

IPC: F16C29/00

公开(公告)号：KR200211348Y1

公开(公告)日：2001-03-02

申请号：KR2019970038217

申请日：1997-12-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 정윤 ,  한동철 ,  장인배 ,  김의석 ,  안형준

IPC: H01L21/00

Abstract: 개시된초정밀장비는센서증폭기내장형자기부상직선운동테이블에관한것이다. 본고안은리니어가이드를갖는베드와, 상기리니어가이드로지지되고리니어모터와리니어스케일로이송되는 Y축테이블과, 상기 Y축테이블을베드로사용하고복수개의자기베어링으로지지되며리니어모터와리니어스케일로이송되는 X축테이블과, 상기 X축테이블상단에장착되어상기자기베어링의신호의레벨을안정화시키는센서증폭기및 상기리니어모터의구동및 상기자기베어링의구동을제어하기위한주 제어부로구성된다. 따라서, 자기베어링에의하여테이블이자기부상된상태에서완전한무마찰로인해적은구동력으로도정밀한직선운동을얻을수 있으며, 자기베어링에내장된센서및 센서증폭기에의하여테이블의정확한변위를측정하고그 신호를궤환시켜제어함으로써외부하중이나외란등에대하여능동적으로작용하게된다.

Abstract translation: 所公开的高精密设备涉及传感器放大器内置磁悬浮直线运动表。 具有直线导轨在床内的纸张，由线性引导件支撑用于彼得Y轴表中，Y轴工作台传送到线性电机和线性标尺，并转移到线性电机的多个磁性轴承的支持及线性刻度 X轴工作台和被安装在X轴工作台的顶部由一个主控制单元的用于控制所述磁轴承和传感器放大器和线性电动机的驱动动作，以稳定磁轴承的信号的电平。 因此，由磁性轴承，并获得表中的自精密线性运动eurodo更小的力，由于在浮置状态的完美无摩擦，测量由所述传感器和内置在磁轴承中的传感器放大器的表的准确位移，并反馈信号 通过控制成为相对于活动操作到外部负载或干扰。