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公开(公告)号：WO2018151522A1
公开(公告)日：2018-08-23
申请号：PCT/KR2018/001924
申请日：2018-02-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F3/14 , G06F3/0482 , G06F3/0484 , H04N21/436
Abstract: 본 개시의 다양한 실시 예들에 따른 전자 장치(electronic device)의 방법은, 백그라운드 상태에서 동작하는 제1 어플리케이션과 관련된 제1 화면이 상기 전자 장치로부터 송신되는 데이터에 기반하여 상기 전자 장치와 연결된 외부 전자 장치에서 표시되고 있음을 나타내고, 상기 전자 장치에서 표시되고 있는 제2 화면 위에 플로팅되는 객체를 표시하는 동작을 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019990050904A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970070096
申请日：1997-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 개시된 초정밀 장비는 직선 운동 테이블용 자기 베어링 모듈에 관한 것이다. 본 발명은 가이드를 따라 이송되는 직선운동 테이블에 있어서, 상기 테이블에 고정되는 몸체와, 상기 몸체에 내장되어 상기 가이드와 접촉됨이 없이 상기 테이블을 지지하도록 자기력을 발생하는 전자석 및 상기 몸체에 내장되어 상기 가이드와의 변위를 측정하는 센서로 구성되며, 상기 몸체는 두랄루민을 가공하여 상기 전자석과 센서가 각각 한 쌍씩 장착된 모듈구조로 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 자기 베어링 모듈의 전자석에 의하여 테이블이 자기 부상된 상태에서 완전한 무마찰로 인해 적은 구동력으로도 정밀한 직선 운동을 얻을 수 있으며, 자기 베어링 모듈에 내장된 센서에 의하여 테이블의 변위를 측정함으로써 외부 하중이나 외란 등에 대하여 능동적으로 작용하게 된다.
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公开(公告)号：KR1019990050903A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970070095
申请日：1997-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 개시된 초정밀 장비는 자기 베어링 모듈에 내장되는 변위 센서에 관한 것이다. 본 발명은 가이드를 따라 이송하는 테이블에 고정되는 몸체와, 상기 몸체에 내장되어 상기 가이드와 접촉됨이 없이 상기 테이블을 지지하도록 자기력을 발생하는 전자석으로 구성되는 자기베어링 모듈에 있어서, 상기 가이드와의 변위를 측정하는 센서부 및 상기 몸체에 내장되어 상기 센서부의 상측이 개방되도록 감싸는 가드로 구성된다. 상기 센서부는 원형판의 비접촉 정전용량 센서로 형성되며, 상기 센서부는 상기 가드에 안착되도록 그 상측의 외주면에 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 십자홈이 형성된다. 상기 가드는 상기 몸체에 마련된 함몰부에 안착되도록 그 상측의 외주면에 복수개의 홈을 갖는 걸림턱이 형성되고, 그 저면에 배선공 및 복수개의 관통공이 형성된다. 따라서, 본 발명의 비접촉 변위 센서로 적용되는 원형판의 정전용량 센서는 변위 측정시 테이블의 각종 교란 요소들이 변위 신호에 혼입되는 것을 방지하고, 테이블 기하학적 중심의 위치 변화를 정확히 측정하기 위해서는 대상물의 평균 변위를 감지할 수 있으며, 아울러 센서부에 뾰족한 첨점이 없어 비선형적인 전자장 분포가 없고 축대칭 형상으로 인하여 기울어짐의 영향을 배제할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1019990050900A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970070092
申请日：1997-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 개시된 초정밀 장비는 노이즈 방지용 배선을 갖는 자기 베어링 모듈에 관한 것이다. 본 발명은 자기력을 발생하는 전자석이 내장되는 몸체와, 상기 몸체의 상기 전자석 근방에 내장되는 가드와, 그리고 상기 가드에 내장되어 그 변위를 측정하는 센서부로 구성되는 자기 베어링 모듈에 있어서, 상기 센서부가 다른 도체의 영향을 받지 않도록 상기 센서부의 배선을 위한 센서선, 상기 가드로부터 배선되는 가드선 및 상기 몸체로부터 배선되는 접지선이 각각의 배선을 감싸도록 하는 삼동축선으로 구성된다. 상기 삼동축선은 상기 가드선이 상기 센서선을 감싸고, 상기 접지선이 상기 가드선을 다시 감싸도록 구성되며, 상기 몸체는 그 일측에 상기 삼동축선이 외부로 인출되도록 배선공이 마련된다. 따라서, 접지와 센서선 사이에 기생정전용량이 발생하는 것을 방지함과 아울러, 센서선에 유입되는 외부의 노이즈를 방지함으로써 테이블의 정확한 변위를 측정하고 외부 하중이나 외란 등에 대해 테이블이 능동적으로 작용하도록 한다.
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公开(公告)号：KR1019990035583A
公开(公告)日：1999-05-15
申请号：KR1019970057407
申请日：1997-10-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B66C13/02
Abstract: 본 발명은 웨이퍼를 가공하는 반도체 제조 장치에 가스를 공급할 때 사용되는 가스 저장용기에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 가스 저장용기의 연결수단에 과도한 회전우력을 가하여 연결수단이 파손되거나 또는 분리되지 않는 등의 손실을 방지할 수 있는 가스 저장용기에 관한 것이며, 이를 위하여 종래의 가스 저장용기의 연결수단에 더하여 연결수단의 일단에 회전우력을 측정할 수 있는 계측장치를 형성한 구조를 개시하고 또한 계측장치와 연결된 측정 값의 출력수단을 분리형 또는 일체형으로 나눈 구조를 개시하며, 이러한 구조를 통하여 가스 저장용기의 연결수단을 결합함으로써 연결수단의 파손에 따른 가스의 누출을 방지하고 안전하고 쾌적한 작업환경을 형성할 수 있고, 연결수단을 강제로 분리할 때 생기는 손실 등을 방지하여 결과적 으로 공정의 효율을 향상한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019990027992A
公开(公告)日：1999-04-15
申请号：KR1019970050531
申请日：1997-09-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: F04D1/02
Abstract: 본 발명에 그리스 레벨 센서가 설치된 진공 펌프에 관한 것으로, 베어링의 윤활을 위하여 공급되는 그리스 양의 부족에 따른 펌핑 불량을 방지하기 위하여 상방향으로 흡입구가 형성되며, 좌우 방향으로 배기구가 설치된 원통형 몸체와; 흡입구로 흡입된 입자를 배기하기 위한 회전 원반을 포함하는 복수개의 원반과; 원반의 회전 원반에 결합되어 회전 원반을 회전시키는 회전축을 포함하는 모터와; 회전축의 일끝단에 결합되어 회전축을 지지하는 베어링과; 원통형 몸체의 하부에 설치되며, 베어링에 그리스를 공급하는 그리스 박스와; 그리스 박스의 하부에 설치되며, 그리스 박스로 그리스를 공급하는 오일 박스; 및 오일 박스의 외측에 오일 박스에 담긴 그리스 양을 체크하기 위해 설치된 그리스 레벨 센서;를 포함하는 진공 펌프를 제공한다.
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公开(公告)号：KR1019970053122A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950059397
申请日：1995-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 크라이어 펌프가 구비된 반도체 제조 장비에 있어서, 상기 크라이어 펌프내의 콜드 헤드로 갑자기 뜨거운 질소 가스가 유입됨으로 인한 급속 온도 상승 현상을 방지하기 위하여, 히터에 공급되는 질소의 온도를 3단계로 분리 투입하므로써, 상기 크라이어 펌프의 수명을 연장시킬 뿐만 아니라, 펌핑 비율(Pumping Rate)을 향상시키는 반도체 장비의 세정 장치 및 방법에 관한 것이다. 시간이 지나고, 반도체 제조 공정이 진행됨에 따라 크라이어 펌프내의 코올드 헤드에 부착된 이물질을 제거하기 위한 세정 공정에 있어서, 상기 크라이어 펌프로 상온의 질소 가스를 5분간 주입한 다음, 상기 크라이어 펌프로 40℃의 온도로 데워진 질소 가스를 10분간 주입한 후, 상기의 크라이어 펌프로 60℃의 온도로 데워진 질소 가스를 30분간 주입하여 상기 크라이어 펌프내의 코올드 헤드에 부착된 이물질을 제거한다. 이때, 상기의 질소 가스를 데우는 역활을 수행하는 것은 질소가스를 크라이터 펌프에 주입하기 전에 구비된 제1질소 가스 히터, 제2질소 가스 히터, 제3질소 가스 히터, 제4질소 가스 히터에 의하여 수행된다. 또한, 상기의 질소 가스 히터가 시간과 온도를 스스로 조절하며서, 주입되는 것을 히터 콘트롤러에 의하여 수행된다.
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公开(公告)号：KR100280754B1
公开(公告)日：2001-03-02
申请号：KR1019970070094
申请日：1997-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 개시된 초정밀 장비는 예비 베어링을 갖는 자기 베어링 모듈에 관한 것이다. 본 발명은 가이드를 따라 이송되는 직선운동 테이블용 자기 베어링 모듈에 있어서, 상기 테이블에 고정되는 몸체와, 상기 몸체에 내장되어 상기 가이드와 접촉됨이 없이 상기 테이블을 지지하도록 자기력을 발생하는 전자석과, 상기 몸체의 상기 전자석 근방에 내장되어 상기 가이드와의 변위를 측정하는 센서 및 상기 몸체로부터 소정 높이로 돌출되어 상기 전자석 및 센서를 보호하는 예비 베어링으로 구성된다. 상기 몸체는 상기 예비 베어링이 고정되도록 그 일측에 예비 베어링 지지부가 마련되고, 상기 예비 베어링 지지부에 체결되어 상기 예비 베어링을 고정시키는 보조 지지부가 구비되며, 상기 예비 베어링은 상기 몸체의 3면에 형성된 상기 전자석과 센서를 보호하도록 각각의 면에 대응하여 형성된다. 따라서, 상기 예비 베어링에 의하여 상기 자기 베어링 모듈에 마련된 전자석 및 센서를 가이드면의 마찰로부터 보호하게 된다.
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公开(公告)号：KR1019990050901A
公开(公告)日：1999-07-05
申请号：KR1019970070093
申请日：1997-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 개시된 초정밀 장비는 직선 운동 테이블용 자기 베어링 제어기에 관한 것이다. 본 발명은 자기 베어링으로 지지되는 직선운동 테이블에 있어서, 상기 자기 베어링의 센서로부터 유입된 변위 신호의 노이즈를 제거하는 입력신호 보정부와, 상기 입력신호 보정부로부터 출력되는 신호를 각각의 연산기를 통하여 합산함으로써 시스템에 대한 귀환제어를 실행하는 PID 연산부와, 상기 PID 연산부로부터 출력된 신호를 증폭/합산하여 테이블의 지지 안정성을 확보하고, 그 위상 지연을 감소시키는 합산 및 위상 보상부와, 상기 합산 및 위상 보상부로부터 출력된 신호를 통하여 제어기의 연산과정에서 발생하는 노이즈 및 전류의 진동 현상을 막아주는 저역 통과 필터 및 오프셋 조절부 및 상기 저역 통과 필터 및 오프셋 조절부의 전압신호를 전류신호로 변환하여 상기 자기 베어링의 제어전류를 출력하는 전류 증폭부로 구성된다. 따라서, 자기 베어링 전용의 제어기를 통하여 컴퓨터에 과부하가 걸리는 것을 방지하고, 정확한 테이블의 변위를 측정함으로써 외부 하중이나 외란 등에 대해 테이블이 능동적으로 작용하도록 한다.
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公开(公告)号：KR1019970052153A
公开(公告)日：1997-07-29
申请号：KR1019950059350
申请日：1995-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/265
Abstract: 본 발명은 웨이퍼에 불순물이온을 주입하는 이온주입시스템에 있어서 진공처리장치의 프로세스챔버와 진고펌프 사이에 접속된 포어라인밸브 및 라핑라인 밸브의 제어장치에 관한 것으로서, 프로세스챔버에 접속된 라핑라인에 설치된 라핑라인 밸브(20)를 제어하여 대기압상태에서 저진공상태로 유지하기 위해 사용되는 메커니컬 펌프와, 상기 프로세스챔버에 접속된 포어라인에 설치된 포어라인 밸브(10)를 제어하여 프로세스챔버의 저진공상태를 고진공상태로 유지하기 위해 사용되는 디퓨젼 펌프를 구비하고, 그리고 상기 라핑라인 밸브(20)로 제공되는 제어신호라인에 설치된 공기압 절환밸브(30)를 구비하고, 그리고 상기 공기압 절환밸브(30)로 제공되는 라핑라인 밸브(20)의 에어제어신호(CS2)가 상기 포어라인 밸브(10)로 제공되는 고진공에어제어신 호(CS1)를 받는 상기 공기압 절환밸브(30)에 의해서 배기되게 하는 구조를 갖는다. 상술한 지공처리장치에 의하면, 프로세스챔버와 진공펌프사이에 접속되어 있는 포어라인 밸브와 라핑라인 밸브가 동시에 오픈되지 않도록 하여 진공펌프가 트립되지 않고 그리고 진공펌프의 오일이 프로세스챔버내로 역류되지 않도록 할 수 있다.
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