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公开(公告)号:KR1019970054008A
公开(公告)日:1997-07-31
申请号:KR1019950050682
申请日:1995-12-15
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/108
Abstract: 셀 어드레이 영역과 주변회로 영역과의 단차를 적정하게 유지하면서 셀 커패시턴스를 증대시킬 수 있는 원통형 구조의 하부전극을 가지는 커패시터 제조방법이 개시되었다. 본 발명은 반도체 기판의 소정 영역을 노출시키는 평탄화층 패턴 및 제1 식각 저지층 패턴이 형성된 기판 전면에 도전막을 형성하고 상기 콘택홀의 상부에 형성된 도전막의 상의 소정 영역에 제2 식각 저지층 패턴을 형성하는 단계, 상기 제2 식각 저지층을 식각 마스크로하여 도전막 패턴을 형성하는 단계, 상기 도전막 패턴을 노출시키는 절연막 패턴을 형성하는 단계, 상기 절연막 패턴의 표면보다 낮은 높이를 갖도록 변형된 도전막 패텬을 형성하는 단계, 상기 절연막 패턴의 측벽에 스페이서를 형성하는 단계, 및 하부전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 커패시터 제조방법을 제공한다. 본 발명에 의하면 넓은 유효 커패시터 면적을 가지는 원통형 하부 전극을 형성하므로써 셀 어레이 영역과 주변회로 영역과의 단차를 적정하게 유지하여 후속 공정 시의 패턴불량 및 단차 도포성을 좋게하는 동시에 셀 커패시턴스를 증대시킬 수 있다.
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公开(公告)号:KR1020140028191A
公开(公告)日:2014-03-10
申请号:KR1020120093258
申请日:2012-08-24
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: F24F1/0007 , F04D29/56 , F24F13/08
Abstract: Provided is an improved indoor unit of an air conditioner, wherein the indoor unit is to improve a suction structure, a discharge structure, and an air flow path structure in the indoor unit in order to improve the operation efficiency of the indoor unit, in order to reduce the noise of the indoor unit, and in order to miniaturize the size of the indoor unit; and is to control the discharge direction of air discharged from the indoor unit in order to discharge the air to a wide indoor space. An indoor unit of an air conditioner according to the present invention comprises: a housing including a front panel having multiple openings, and a rear panel coupled to the rear side of the front panel and having multiple inlets; at least one heat exchanger placed inside the housing; multiple mixed flow fan units including a diffuser having an outlet exposed to the front side of the front panel through the opening, a duct coupled to the diffuser and guiding air, which exchanges heat through the heat exchanger after sucked through the inlet, to the outlet, a mixed flow fan allowing the air to forcibly flow from the inlet to the outlet, and a driving motor driving the mixed flow fan; and multiple fixing frames arranged inside the housing and to which the ducts of the mixed flow fan units are coupled, wherein the ducts coupled to the fixing frames are able to rotate, and the mixed flow fan units coupled to the fixing frames discharge the air in respectively different discharge directions up and down.
Abstract translation: 本发明提供一种改进的空调机的室内机,其中,为了提高室内机的运行效率,室内机为了提高室内机的吸入结构,排气结构和空气流路结构,按顺序 为了降低室内机的噪音,为了使室内机的尺寸小型化, 并且控制从室内机排出的空气的排出方向,以将空气排出到宽的室内空间。 根据本发明的空调的室内单元包括:壳体,包括具有多个开口的前面板和与前面板的后侧连接并具有多个入口的后面板; 至少一个热交换器放置在壳体内; 多个混流风扇单元,包括具有通过开口暴露于前面板前侧的出口的扩散器,连接到扩散器的导管和引导空气,其在通过入口被吸入之后将热量通过热交换器传递到出口 ,允许空气强制地从入口流到出口的混流风扇,以及驱动混流风扇的驱动电机; 以及布置在所述壳体内并且所述混合风扇单元的管道联接到其上的多个固定框架,其中联接到所述固定框架的所述管道能够旋转,并且联接到所述固定框架的所述混合风扇单元将所述空气排出 分别不同排放方向上下。
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公开(公告)号:KR1019970054124A
公开(公告)日:1997-07-31
申请号:KR1019950066918
申请日:1995-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/108
Abstract: 셀 캐패시터의 표면적을 증태시켜 셀 캐패시턴스를 증대시키는 방법에 대해 기재되어 있다.
이는 셀 캐패시터의 스토리지 전극의 평면도를 각 모서리 내부의 각이 90°보다 크지 않은 삼각형으로 형성하는 것을 특징으로 한다. 상기 삼각형의 모양은 셀 캐패시턴스를 더욱 증대시키기 위하여 끝부분의 모양을 변형하거나 더미패턴을 삽입하는 것이 가능하다.
따라서, 종래의 사각형의 평면도를 갖는 스토리지 전극에 비해 캐패시터의 표면적을 증대시킬 수 있으므로, 셀 캐패시턴스를 증대시킬 수 있다.-
公开(公告)号:KR1019940002995A
公开(公告)日:1994-02-19
申请号:KR1019920013564
申请日:1992-07-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/76
Abstract: 본 발명은 반도체 장치의 소자분리방법에 관한 것으로, 필드산화막 형성을 위한 로내의 바람직한 열산화 공정조건에 있어서, 온도상승, 온도 하강 프로파일 및 저온안정 프로파일 동안에는 질소분위기를 유지하고, 고온 안정 프로파일 동안에는 습식산화 분위기를 유지하여 열산화 하는 것을 특징으로 한다. 따라서 상기한 본 발명의 필드산화막 형성공정조건에 의하면 필드산화막의 특성을 단일, 안정하게 형성시킬 수 있고, 필드산화막의 생산성, 생산수율, 신뢰성 및 산화막 절연파괴와 관련한 누적불량률을 크게 향상시키며 버즈비크 형상을 개선할 수 있다.
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