公开(公告)号：KR1020070041814A

公开(公告)日：2007-04-20

申请号：KR1020050097320

申请日：2005-10-17

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 홍병유 ,  박용섭 ,  최원석

IPC: C23C16/27

Abstract: 다이아몬드상 카본 필름(Diamond Like Carbon Film: 이하 "DLC 필름"이라 함)을 코팅하는 장치 및 그 코팅 방법에 관한 것으로서, 플렉시블 기판을 공중에 지지하는 수단, 지지 수단이 설치된 진공 챔버, 진공 챔버의 내부를 코팅에 적합한 진공 상태로 유지시키는 진공 수단, 가스공급 수단, 전원공급 수단, 및 플렉시블 기판 위에 소정의 원소로 된 다이아몬드 상 카본 필름을 적층하는 적층 수단으로 구성을 마련한다.
상기와 같은 플렉시블 기판 DLC 필름 코팅 장치 및 그 방법은 기본의 CVD(Chemical Vapor Deposition) 종류가 아닌 상온에서 증착이 가능한 sputter 공정을 이용하며, 플렉시블 기판에 대해 열과 플라즈마의 영향을 최소화하기 위해 단시간 증착을 하며, CFUBM(Closed Field Unbalanced Magnetron) sputter 공정으로 대면적 증착과 높은 증착율에 의한 균일 증착이 가능하기 때문에 산업화 응용에 더욱 효과적이다. 본 발명의 또 다른 효과는 플렉시블 기판위에 DLC 필름을 코팅하여 마모나 부식에 의한 영향을 줄이는 것이다.
플렉시블 기판, DLC, 다이아몬드상 카본 코팅, CFUBM, 박막, sputter