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公开(公告)号：KR100987324B1
公开(公告)日：2010-10-12
申请号：KR1020080041111
申请日：2008-05-02
Applicant: 서강대학교산학협력단
CPC classification number: G01N31/22 , G01N21/783
Abstract: 본 발명은 (a) 가스채색층(gasochromic layer); 및 (b) 상기 채색층 상에 증착된 팔라듐(Pd) 및 백금(Pt) 포함하는 촉매층을 포함하는 수소 센서용 박막 및 이를 포함하는 수소센서에 관한 것이다.
본 발명의 수소센서는 1000 사이클 이상에서도 반응을 하는 크게 개선된 내구성을 나타내며, 크게 개선된 감도를 나타낸다. 유력한 대체 에너지원인 수소에너지 확대로 수소에너지의 안전한 이용에 본 발명의 수소센서는 수소 누출 검지 광센서로 이용될 수 있으며 시장성이 유망하다.
가스채색, 팔라듐, 백금, 텅스텐 산화물, 수소 센서-
22.发明公开롤투롤 공정을 위한 화학기상 증착법을 이용한 유연 기재 상의 이황화 몰리브덴 나노박막 또는 이황화 텅스텐 나노박막 제조방법 审中-实审用于通过化学气相沉积在柔性衬底上制备二硫化钼纳米管或二硫化钨纳米管以用于卷对卷工艺的方法
公开(公告)号：KR1020170133628A
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020160064622
申请日：2016-05-26
Applicant: 성균관대학교산학협력단 , 서강대학교산학협력단
IPC: H01L21/285 , C23C16/30 , C23C16/54 , C23C16/02 , C23C16/448 , H01L21/02 , H01L29/06 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/28556 , C23C16/0209 , C23C16/305 , C23C16/448 , C23C16/545 , H01L21/02205 , H01L21/0228 , H01L21/324 , H01L29/0665 , H01L2924/01074 , H01L2924/10722
Abstract: 유연기재상의이황화몰리브덴막 또는이황화텅스텐막의제조방법, 및상기이황화몰리브덴막 또는이황화텅스텐막을반도체층으로서포함하는, 전계효과트랜지스터또는광센서에관한것이다.
Abstract translation: 柔性基板上的二硫化钼膜或二硫化钨膜，以及包含二硫化钼膜或二硫化钨膜作为半导体层的场效应晶体管或光学传感器。
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公开(公告)号：KR101016609B1
公开(公告)日：2011-02-22
申请号：KR1020080104668
申请日：2008-10-24
Applicant: 서강대학교산학협력단
Abstract: 장시간 가스 노출에 대한 센서의 성능 및 내구성 테스트를 수행할 수 있는 센서 테스트 장치가 개시된다. 가스에 반응하는 센서를 테스트하기 위한 센서 테스트 장치는, 센서를 장착하기 위한 센서 장착부, 서로 병렬로 연결되는 복수개의 가스저장탱크를 포함하며 센서 장착부를 통해 센서로 가스를 공급하는 가스공급부, 가스공급부로부터 공급되는 가스의 질량유량을 제어하기 위한 질량식 유량조절기를 포함하고, 가스가 공급되는 동안 가스저장탱크 중 가스를 공급하는 가스저장탱크의 가스 잔량이 일정 이하로 소진되면 가스저장탱크 중 다른 가스저장탱크로부터 가스가 연속적으로 공급된다.
센서, 센서장착부, 가스공급부, 질량식 유량조절기, 수소, 연속-
公开(公告)号：KR1020100045643A
公开(公告)日：2010-05-04
申请号：KR1020080104668
申请日：2008-10-24
Applicant: 서강대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A device for testing a sensor is provided to accurately test physical properties and characteristics of a sensor by continuously supplying gas to the sensor. CONSTITUTION: A device for testing a sensor comprises a sensor mounting part(100), a reactant gas supply part, and a transfer gas supply part. The sensor mounting part is used for installing a sensor. The reactant gas supply part stores reactant gas, and has multiple gas storage tanks. The transfer gas supply part supplies transfer reactionless gas, and is controlled by an MFC(300).
Abstract translation: 目的：提供一种用于测试传感器的设备，以通过向传感器连续供应气体来精确测量传感器的物理特性和特性。 构成：用于测试传感器的装置包括传感器安装部分（100），反应气体供应部分和转移气体供应部分。 传感器安装部分用于安装传感器。 反应气体供给部存储反应气体，具有多个储气罐。 转移气体供给部供给转移无反应气体，由MFC（300）控制。
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