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公开(公告)号：KR1020060078762A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040118081
申请日：2004-12-31
Applicant: 제일모직주식회사
IPC: H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02
Abstract: 본 발명은 금속산화물, 수산화 화합물, 유기 화합물, 지방산(Fatty acid)와 식물성 오일(vegetable type oil)이 포함된 계면활성제, 및 초순수를 포함하는 것을 특징으로 하는 CMP 슬러리 조성물에 관한 것이다.
본 발명에 따른 CMP 슬러리 조성물 및 그 제조방법에 의하면, CMP 슬러리 조성물 제조시에 지방산(Fatty acid) 및 식물성 오일(vegetable type oil) 이 포함된 계면활성제를 첨가하고, 상온에서 12시간 이상 안정화 공정을 거침으로서 CMP 공정의 결함 발생률을 낮추고, 연마 균일도를 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
CMP, 슬러리, 금속산화물, 수산화 화합물, 유기 화합물, 지방산(Fatty acid) 와 식물성 기름(vegetable type oil)이 포함된 계면활성제Abstract translation: 本发明涉及一种CMP浆料组合物包括金属氧化物，氢氧化物化合物，有机化合物，脂肪酸（脂肪酸）和植物油（植物油型）的表面活性剂包括，和超纯水。
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公开(公告)号：KR101178717B1
公开(公告)日：2012-08-31
申请号：KR1020080131261
申请日：2008-12-22
Applicant: 제일모직주식회사
IPC: C09K3/14
Abstract: 본 발명은 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물 및 이의 제조 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 초순수, 연마제, 계면활성제, 및 pH 조절제를 포함하는 CMP 슬러리 조성물에 있어서, 상기 계면활성제로 비이온성 계면활성제 및 제미니형 계면활성제를 사용하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물에 관한 것이다.
본 발명의 CMP 슬러리 조성물은 다결정 실리콘에 대한 연마 속도가 우수하고, 연마 정지막인 산화막에 대비하여 다결정 실리콘에 대한 연마 선택비가 우수할 뿐만 아니라 연마 균일도가 우수하므로 다결정 실리콘 연마 공정에 유용하다.
다결정 실리콘, CMP, 슬러리, 비이온성 계면활성제, 제미니형 계면활성제, 연마 속도, 연마 선택비, 연마 균일도Abstract translation: 本发明特别地，超纯水，研磨剂，表面活性剂，并在CMP浆料组合物，包括pH调节剂，非离子表面活性剂和双子作为比用于他们对多晶硅研磨制备的CMP浆料组合物和方法的表面活性剂 使用表面活性剂作为用于抛光多晶硅的CMP浆料组合物。
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公开(公告)号：KR1020120090107A
公开(公告)日：2012-08-17
申请号：KR1020100138005
申请日：2010-12-29
Applicant: 제일모직주식회사
Abstract: PURPOSE: A thermoplastic resin composition is provided to be applied to production of various molded products, because of excellent thermal stability, scratch resistance, impact resistance, and transparence. CONSTITUTION: A thermoplastic resin composition comprises 40-90 weight% of methyl(meth)acrylate resin with weight average molecular weight of 50,000-200,000 g/mol, 5-30 weight% of methyl(meth)acrylate resin with weight average molecular weight of 5-30 weight%, and 5-30 weight% of an acrylic graft copolymer. The methyl(meth)acrylate resin is a polymer of 50-100 weight% of methylmethacrylate and 0-50 weight% of a monofunctional unsaturated monomer capable of polymerizable with the methylmethacrylate.
Abstract translation: 目的：提供热塑性树脂组合物，用于生产各种模制产品，因为具有优异的热稳定性，耐刮擦性，耐冲击性和透明度。 构成：热塑性树脂组合物包含40-90重量％的重均分子量为50,000-200,000g / mol的（甲基）丙烯酸甲酯甲酯，5-30重量％的（甲基）丙烯酸甲酯甲酯，重均分子量为 5-30重量％和5-30重量％的丙烯酸接枝共聚物。 （甲基）丙烯酸甲酯树脂是甲基丙烯酸甲酯50-100重量％和能与甲基丙烯酸甲酯可聚合的0-50重量％单官能不饱和单体的聚合物。
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公开(公告)号：KR1020120089941A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：KR1020100138634
申请日：2010-12-30
Applicant: 제일모직주식회사
Abstract: PURPOSE: A composition for forming methacrylic resin is provided to have excellent transparence and thermal stability without using a separate thermal stabilizer by comprising polymethylacrylate resin or polymethyl(meth)acrylate resin with low molecular weight. CONSTITUTION: A composition for forming methacrylic resin comprises 0.1-5.0 parts by weight of chain transfer agent based on 100.0 parts by weight of alkyl methacrylate. The copolymerizable functional unsaturated monomer is one or more selected from methacrylic acid esters, acrylic esters, acid anhydrides, hydroxy group-containing ester, acrylamides, methacrylamides, a nitrile-based monomer, and a styrene-based monomer. The chain transfer agent is a mixture of a thiol-containing first chain transfer, and a halogen-containing second chain transfer.
Abstract translation: 目的：提供用于形成甲基丙烯酸树脂的组合物以具有优异的透明性和热稳定性，而不需要通过包含聚甲基丙烯酸酯树脂或具有低分子量的聚甲基丙烯酸甲酯树脂来使用单独的热稳定剂。 构成：用于形成甲基丙烯酸树脂的组合物包含基于100.0重量份的甲基丙烯酸烷基酯0.1-5.0重量份的链转移剂。 可共聚的官能不饱和单体是选自甲基丙烯酸酯，丙烯酸酯，酸酐，含羟基的酯，丙烯酰胺，甲基丙烯酰胺，腈类单体和苯乙烯类单体中的一种或多种。 链转移剂是含硫醇的第一链转移和含卤素的第二链转移的混合物。
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公开(公告)号：KR101134015B1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：KR1020080134025
申请日：2008-12-26
Applicant: 제일모직주식회사
Abstract: 본 발명에 따른 폴리카보네이트 수지 조성물은 (A) 폴리카보네이트 수지 60～99 중량% 및 (B) (B-1) C
1 -C
8 메타크릴산 알킬 에스테르류, C
1 -C
8 아크릴산 알킬 에스테르류 또는 이들의 혼합물 1～80 중량%와 (B-2) C
6 -C
30 메타크릴산 아릴 에스테르류, C
6 -C
30 아크릴산 아릴 에스테르류 또는 이들의 혼합물 20～99 중량%를 공중합하여 제조된 (메타)아크릴산 에스테르계 공중합체 또는 이들 공중합체의 혼합물 1～40 중량%로 이루어지는 기초수지 100 중량부; (C) 인산 에스테르 화합물 또는 그 혼합물 1～30 중량부; 및 (D) 할로겐 치환 폴리카보네이트 올리고머 0.1～30 중량부를 포함한다. 상기 폴리카보네이트 수지 조성물은 투명성 및 난연성이 뛰어날 뿐만 아니라, 내스크래치성 및 유동성이 우수하다.
폴리카보네이트 수지, (메타)아크릴산 에스테르계 공중합체, 인산 에스테르 화합물, 할로겐 치환된 폴리카보네이트 올리고머, 투명성, 난연성, 내스크래치성, 유동성-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100079694A
公开(公告)日：2010-07-08
申请号：KR1020080138239
申请日：2008-12-31
Applicant: 제일모직주식회사
IPC: C09K3/14
Abstract: PURPOSE: A ceria oxide CMP slurry composition is provided to use the composition for removing ILD and STI primitive stage, and to secure the high performance of polishing a pattern. CONSTITUTION: A ceria oxide CMP slurry composition contains a pyrrolidone compound selected from the group consisting of polyvinyl pyrrolidone, 2-pyrrolidone, 1-methyl-2-pyrrolidone, 2-pyrrolidone-5-carboxylic acid, 1-vinyl-2-pyrrolidone, 1-cyclohexyl-2-pyrrolidone, 1-octyl-2-pyrrolidone, and their mixture. 0.005~10wt% of pyrrolidone compound is mixed with the total amount of slurry composition. The pH of the slurry composition is 3~6.5.
Abstract translation: 目的：提供二氧化铈CMP浆料组合物，用于除去ILD和STI原始阶段的组合物，并确保高性能的抛光图案。 构成：二氧化铈CMP浆料组合物含有选自聚乙烯吡咯烷酮，2-吡咯烷酮，1-甲基-2-吡咯烷酮，2-吡咯烷酮-5-羧酸，1-乙烯基-2-吡咯烷酮， 1-环己基-2-吡咯烷酮，1-辛基-2-吡咯烷酮及其混合物。 将0.005〜10重量％的吡咯烷酮化合物与浆料组合物的总量混合。 浆料组成的pH为3〜6.5。
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公开(公告)号：KR100923459B1
公开(公告)日：2009-10-27
申请号：KR1020070139150
申请日：2007-12-27
Applicant: 제일모직주식회사
IPC: C09D133/08 , C09D133/00 , C09D5/16
Abstract: 본 발명의 발수, 발유성이 우수한 무도장용 방오 공중합체는 불소화 알킬(메타)아크릴레이트 20∼50 중량%, 알킬실란(메타)아크릴레이트 10∼30 중량%, 스티렌 10∼50 중량% 및 아크릴로니트릴 3∼10 중량%를 포함하는 단량체 혼합물을 중합하여 형성된다. 상기 무도장용 방오 공중합체는 열가소성 수지에 첨가제 형태로 포함되어 우수한 발수, 발유성 및 방오성을 발현하기 때문에 추가 UV 코팅이 필요없으며, 따라서, 전자재료 외장재에 특히 바람직하게 적용될 수 있다.
무도장, 방오, 발수, 발유, 접촉각, 불소, 반응성 실리콘-
公开(公告)号：KR1020090070972A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：KR1020070139150
申请日：2007-12-27
Applicant: 제일모직주식회사
IPC: C09D133/08 , C09D133/00 , C09D5/16
CPC classification number: C09D133/16 , C09D5/1668 , C09D133/20
Abstract: A non-coating antifouling copolymer is provided to show excellent water and oil repellency and antifouling property when applied to a thermoplastic resin, to suppress the degradation of heat resistance or mechanical properties, and to ensure excellent dispersion stability without bubbling. A method for manufacturing a non-coating antifouling copolymer comprises the steps of: injecting a chain transfer agent and a polymerization initiator to a monomer mixture, wherein the monomer mixture is fluorinated alkyl(meth)acrylate 20~50 weight%, alkylsilane (meth)acrylate 10~30 weight%, styrene 10~50 weight% and acrylonitrile 3~10 weight%; and injecting a polyalkylacrylate-acrylic acid in the mixture and then suspension-polymerizing them. The chain transfer agent is used in the amount of 0.02-10 parts by weight based on the monomer mixture 100.0 parts by weight. The polyalkylacrylate-acrylic acid is put in the amount of 0.05~0.2 parts by weight based on the monomer mixture 100.0 parts by weight.
Abstract translation: 本发明提供一种无涂层防污共聚物，用于在热塑性树脂上施用时具有优异的拒油拒油性和防污性，抑制耐热性或机械性能的降低，并且在不起泡的情况下确保优异的分散稳定性。 一种无涂层防污共聚物的制造方法，其特征在于，在单体混合物中注入链转移剂和聚合引发剂，其中，单体混合物为氟代烷基（甲基）丙烯酸酯20〜50重量％，烷基硅烷（甲基） 丙烯酸酯10〜30重量％，苯乙烯10〜50重量％，丙烯腈3〜10重量％ 并在混合物中注入聚丙烯酸烷基酯丙烯酸，然后将它们悬浮聚合。 基于100.0重量份的单体混合物，链转移剂的用量为0.02-10重量份。 聚丙烯酸烷基酯 - 丙烯酸的添加量相对于单体混合物100.0重量份为0.05〜0.2重量份。
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公开(公告)号：KR100740898B1
公开(公告)日：2007-07-19
申请号：KR1020050066317
申请日：2005-07-21
Applicant: 제일모직주식회사
IPC: H01L21/304
Abstract: 본 발명은 실리카를 사용함과 동시에 pH 조절제로 수산화암모늄(NH
4 OH)을 사용하며 암모늄염을 첨가하여 반도체 웨이퍼의 절연막 연마속도 증가를 특징으로 하는 CMP용 슬러리 조성물에 관한 것으로서, 본 발명에 의해 연마성능이 우수하고 산화막에 대한 연마 속도가 빠른 CMP용 슬러리 조성물을 제공할 수 있다.
금속산화물 미분말, pH조절제, 암모늄염, 절연막 연마 속도, CMP용 슬러리 조성물-
公开(公告)号：KR100726488B1
公开(公告)日：2007-06-12
申请号：KR1020050085193
申请日：2005-09-13
Applicant: 제일모직주식회사
IPC: C08F279/04
Abstract: 알파알킬스티렌과 시안화비닐 화합물로부터 SAN 수지를 중합하는 공정에 있어서, 관능기가 3개 이상인 다관능기 공중합성 단량체를 함께 투입하여 중합함으로써 제조되는 내열성 및 가공성이 우수한 비선형 구조의 알파-알킬 스티렌-시안화비닐 공중합체 수지 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 상기 다관능기 공중합성 단량체는 불포화결합을 3개 이상 함유한 아크릴레이트계 다관능기 함유 공중합성 단량체 또는 이들의 혼합물이다.
알파알킬스티렌, SAN 수지, 내열성, 현탁중합, 다관능성 불포화 단량체
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