Abstract:
본 발명은 스펙트럼 보간을 이용한 3차원 RF 이미징 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 수초 동안에 수천 내지 수만의 아날로그 신호를 생성하여 3차원 공간에 자신의 주파수 응답을 투영하는 3차원 RF 이미징 방법에 관한 것이다. 본 발명은 1/m 비고조파 성분 혹은 제로 패딩 기술의 스펙트럼(주파수) 보간을 통해 FFT의 실수 주파수 성분의 손실 내지 왜곡을 최소화하고 제한된 시간 내에 검출한 신호 정보를 최대한 활용함으로써 FFT 결과가 저주파에 몰리는 것을 최소화하여, 3D RF 이미징에 있어서 피크 주파수의 정확성과 거친 이미지 품질을 개선할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 X-선 CT 및 레이저 표면 검사를 이용하는 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것으로서, 특히 CT 검사부, 레이저 검사부 및 방사선 차폐부를 포함하는 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 장치 및 방법에 의하면, X-선 CT를 레이저 표면 검사와 결합하여 피검사체의 내부 및 표면을 더 효과적으로 검사할 수 있다. 또한, X-선으로 인한 레이저 검출부의 오작동을 방사선 차폐부에 의하여 방지함으로써, 피검사체에 대한 더 정확한 검사 결과를 얻을 수 있다.
Abstract:
A technological objective of the present invention is to provide a color lighting control method of a vision system having a plurality of lightings, which can quickly search for a voltage value for obtaining an optimal product image. According to a solution disclosed in claim 1 of the present invention, as described above, the present invention is advantageous in that a voltage value for obtaining an optimal product image for a vision system having a plurality of lightings can be quickly searched. Thus, the inspection speed for a product can be greatly improved, and the product inspection time can be reduced, thereby improving the process yield. The present invention can more quickly search for the voltage value to more quickly obtain the optimal image, especially when the number of lightings is increased.
Abstract:
The present invention relates to a laser interference lithography device wherein the device comprises a reflection mirror for reflecting laser outputted from a laser light source into a particular direction; a space filter for diffusing the light reflected from the reflected mirror; a tilting mirror part for forming interference fringes on a substrate by reflecting the light diffused through the space filter at three mirrors disposed at particular angles; and a moving stage for controlling the incidence angle of light coming into the substrate by settling the substrate and moving into particular direction. A two-dimensional pattern can be formed at the substrate by disposing the three tilting mirrors at the upper end of the substrate and controlling the angle of the three tilting mirrors and the moving stage.
Abstract:
본 발명은 밀리미터파를 이용하여 대상물을 3차원 스캐닝하는 장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 밀리미터파 3차원 스캐닝 장치는, 지지면에 직교하게 설치되어 2차원 좌표계를 형성하는 제1ㆍ제2선형가이드; 상기 제2선형가이드의 길이 방향을 따라 왕복 이송되며 상기 제2선형가이드의 하측에 회전 가능하게 수직으로 설치되는 스캐닝로드; 상기 제1선형가이드에 대해 상기 제2선형가이드를 왕복 이송하는 제1구동기; 상기 제2선형가이드에 대해 상기 스캐닝로드를 왕복 이송하는 제2구동기; 상기 제2선형가이드에 대해 상기 스캐닝로드를 회전시키는 제3구동기; 상기 스캐닝로드에 설치되며, 밀리미터파를 상기 대상물에 송ㆍ수신하여 거리 정보를 생성하는 스캐닝부; 및 상기 스캐닝부가 상기 대상물을 향하면서 그 주위를 선회하게 상기 제1ㆍ제2ㆍ제3구동기를 제어하고, 상기 거리 정보, 상기 2차원 좌표계에서의 상기 스캐닝로드의 위치 정보와 회전 정보를 통해 상기 대상물의 3차원 이미지 정보를 산출하는 제어부;를 포함하되, 상기 제어부는, 상기 대상물을 예비적으로 스캔하여 얻은 예비 정보를 통해, 스캐닝이 수행되는 동안 상기 대상물의 표면과 상기 스캐닝부의 거리가 소정의 기준 범위 내로 유지되게 상기 제1ㆍ제2구동기를 작동시키고, 스캐닝이 수행되는 동안 상기 대상물의 표면에 반사된 밀리미터파가 수직을 중심으로 한 소정의 각도 범위 내로 상기 스캐닝부에 입사하도록 상기 제3구동기를 제어하도록 구비되며, 상기 예비 정보는, 상기 대상물의 표면과 상기 스캐닝부 간의 거리 정보 및 상기 스캐닝부에서 바라본 상기 대상물의 중심 방향에 대한 상기 대상물 표면의 각도 정보를 각각 포함한다. 본 발명에 의하면, 스캐닝부를 지지하는 스캐닝로드가 제1ㆍ제2선형가이드로 이루어지는 2차원 좌표계에서 수치 제어를 통해 회전하면서 대상물에 대해 가까워지거나 멀어지게 그 주위를 선회할 수 있도록 구비되어, 다양한 크기와 형상을 갖는 대상물에 대해, 대상물의 표면과 스캐닝부 간의 거리가 소정의 기준 범위 내로 유지되는 상태로 스캐닝을 수행할 수 있으므로, 막부재에 감싸진 대상물의 3차원 스캐닝을 위해 레이저 등에 비해 상대적으로 직진성이 약하고 전송 손실이 많은 밀리미터파를 이용하더라도 대상물의 표면과 스캐닝부 간의 먼 거리에 의한 스캐닝 감도 저하나, 대상물의 복잡한 형상으로 인해 밀리미터파가 스캐닝부와는 전혀 다른 방향으로 반사됨에 의한 스캐닝 감도 저하를 효과적으로 방지할 수 있어 막부재에 감싸진 다양한 크기와 형상을 갖는 대상물에 대한 3차원 스캐닝을 고감도로 수행할 수 있다.
Abstract:
본 발명의 피스톤 헤드에 베어링부재가 구비된 하중 지지용 유체 댐퍼는, 지지물에 설치되어 하중물의 하중을 지지하고, 지지물과 하중물 간에 전달되는 진동을 흡수 제거하는 장치로서, 일측 또는 양측으로 개방된 개방구를 갖는 중공부가 내부에 형성되며, 상기 하중물과 상기 지지물 중 어느 하나에 설치된 실린더, 외측 둘레면에 수용홈이 형성되고, 상기 중공부 내부에서 이동될 수 있도록 상기 외측 둘레면이 상기 중공부 내주면으로부터 소정 거리 이격되도록 구비되어 상기 중공부를 제1 및 제2공간으로 구분하는 헤드, 상기 수용홈에 회전 가능하도록 수용되어 상기 중공부 내주면과 접촉되는 베어링부재, 및 상기 개방구를 통해 상기 실린더의 외측으로 돌출되게 상기 헤드에 결합되며 상기 하중물과 상기 지지물 중 다른 하나에 고정된 로드를 포함하는 피스톤체, 탄성 재질로 이루어지며, 중심부가 상기 로드에 의해 관통된 상태로 상기 로드에 고정되고, 상기 개방구에 설치되어 상기 중공부를 밀폐시키는 탄성실링체, 상기 제1 및 제2공간을 이동하도록 상기 중공부 내부에 충진되는 유체 및 상기 실린더를 감싸도록 설치되어 하중을 지지하는 공기스프링을 포함하되, 상기 탄성실링체는 상기 피스톤체의 이동에 따라 신장되거나 탄성에 의해 복원되는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
본 발명은 검사 대상체에 전원을 공급하는 복수의 프루브를 포함하는 프루브 어레이와, 고정된 상기 대상체의 전기광학 검사를 위한 목표 위치에 상기 프루브 어레이를 이송하여 근접시키는 제2 스테이지부와, 상기 복수의 프루브 중 프루브 하나씩 순차적으로 구동시키기 위한 신호를 제공하는 신호처리 및 제어부, 그리고 상기 대상체의 칩로부터 수광된 출력광에 대한 광 특성을 분석하고 상기 프루브에서 출력되는 전원에 대한 특성을 분석하는 광/전기 분석부를 포함하는 전기광학 검사장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따르면, 고속으로 대상체에 대한 전기광학 검사를 할 수 있으므로 고속의 데이터 확보가 이루어질 수 있게 하고, 고해상도의 정밀 측정일수록 측정 시간 단축 효과가 증대되어 생산 공정의 검사장비로서 활용 가치를 더욱 높이게 한다.
Abstract:
본 발명은 발광소자에서 발생하는 빛 에너지를 최대한 손실없이 모두 수광부로 수집되게 하여 발광소자의 광특성측정을 개선할 수 있는 프로브 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. 본 발명은 전술한 과제를 해결하기 위해, 발광소자 검사용 프로브 장치로서,발광소자에 일단이 연결된 전원부의 타단이 연결되는 프로브와, 상기 프로브가 고정되며 광투과성 소재로 이루어지는 고정부재와, 상기 고정부재가 하부에 고정되며 발광소자로부터 발생되는 빛을 모으기 위한 집광장치와,상기 집광장치에 설치되고 이 집광장치로 투입된 빛이 수렴되며 광분석장치와 연결되는 수광부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성으로 인해 본 발명의 프로브 장치에서는 발광소자에 발생하는 빛이 가늘고 얇게 형성된 프로브와 광투과성 소재로 형성되는 고정부재를 통과하면서 광학 구형으로 형성된 집광장치를 통해 수광부로 수집됨으로써 발광소자에서 발생한 빛의 손실이 최소화되면서 수광부로 유입되어 광분석장치에서의 광특성 측정결과가 개선되는 효과를 가지게 된다.