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公开(公告)号：KR101634535B1
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：KR1020140119186
申请日：2014-09-05
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본출원은전자빔방출장치내에서반사되거나산란되는전자가하우징내에서재반사되는것을차단하여보다안정적인작동이가능한반사전자차단구조체가구비된전자빔방출장치에관한것으로서, 본출원의일 실시예에따르면전자빔이가속되는공간을형성하고, 타측에가속된전자빔이방출되는방출구가형성된하우징, 상기하우징내 일측에배치되며, 전자를방출하는캐소드, 상기하우징내에서상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자를가속하는애노드및 상기하우징내측에배치되며, 상기하우징의방출구주위로부터애노드측으로연장되도록형성되고, 상기하우징의방출구주위에서반사된 2차전자및 산란전자가하우징내측으로반사되는것을차단하는반사전자차단구조체를포함하는반사전자차단구조체가구비된전자빔방출장치가개시된다.
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公开(公告)号：KR101634538B1
公开(公告)日：2016-06-30
申请号：KR1020140150266
申请日：2014-10-31
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본출원은상세하게는전자빔방출장치의전자빔이방출되는방출구를형성하며, 방출구주위를누수없이보다안정적으로냉각시킬수 있는냉각플레이트가구비된전자빔방출장치에관한것으로서, 본출원에따르면, 전자빔이가속되는공간을형성하는하우징, 상기하우징내 일측에배치되며, 전자를방출하는캐소드, 상기하우징내에서상기캐소드로부터타측으로이격되어위치되며, 상기캐소드로부터방출된전자를가속하는애노드, 상기애노드에의해가속된전자가하우징외부로방출되는방출구가중앙에형성되며, 내부에냉각수유로가형성된냉각플레이트를포함하며, 상기냉각수유로는내주면둘레에분할선또는접합선이없는연속면을형성하는냉각플레이트가구비된전자빔방출장치가개시된다.
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24.发明授权파일의 공유 및 보안 유지를 위한 사용자 단말, 파일 서버, ＤＲＭ 서버 및 이를 포함하는 협업 허브 시스템 및 그 협업 방법 有权用户终端文件服务器用于常规使用和安全和协作的系统的服务器，包括终端文件服务器DRM服务器及其方法
公开(公告)号：KR101550391B1
公开(公告)日：2015-09-08
申请号：KR1020130079565
申请日：2013-07-08
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 파일의공유및 보안유지를위한사용자단말, 파일서버, DRM 서버및 이를포함하는협업허브시스템및 그협업방법이개시된다. 파일서버; 파일정보를관리하고, 암호화키 및복호화키를제공하는 DRM 서버; 복수의종류의원본파일의파일정보를상기 DRM 서버로송신하고, 상기원본파일을단일종류의경량엔지니어링파일로변환하고, 상기 DRM 서버로부터암호화키를수신하여상기변환된경량엔지니어링파일을암호화하고, 암호화된경량엔지니어링파일을상기파일서버로업로드하는제1 사용자단말; 상기파일서버로부터암호화된경량엔지니어링파일을수신하고, 수신된경량엔지니어링파일에대한사용자정보를상기 DRM 서버로제공하고, 상기 DRM 서버로부터복호화키를수신하고수신된복호화키를이용하여상기수신된경량엔지니어링파일을상기원본파일로변환하는제2 사용자단말을구성한다.
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公开(公告)号：KR101194379B1
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：KR1020100016405
申请日：2010-02-23
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G06F19/00
Abstract: 본 발명은 기업 간 협업 프로세스 실행을 지원하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것으로서, 기업 간 협업 프로세스 실행을 지원하기 위한 시스템은 기업 간 협업 프로세스 실행 지원을 위한 협업 프로세스를 모델링하고, 상기 협업 프로세스의 모델링이 완료되면 협업 프로세스의 실행 및 제어를 수행함으로써 기업 간 협업 프로세스 실행을 지원할 수 있으며, 협업 프로세스 보안, 불완전 프로세스 실행, 협업 프로세스 재실행 또는 후보 프로세스 선택(동적 선택) 기능의 협업 프로세스 실행 기능을 제공함으로써, 협업 프로세스 실행 시 발생 가능한 다양한 업무의 변동 상황에 체계적이고 유연하게 대응할 수 있고, 실시간을 반영할 수 있는 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101146636B1
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：KR1020100077328
申请日：2010-08-11
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: Y02P90/30
Abstract: 본 발명은 금형을 설계ㆍ조립하는 금형업체 및 상기 금형업체로부터 의뢰받은 다수의 금형부품을 가공하는 복수의 가공업체의 상호 협력에 의한 금형 제조공정에서 금형의 검사정보를 제공하는 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 금형 제조공정의 검사정보 제공방법은, 관리서버는 금형업체 단말기 또는 가공업체 단말기가 접속하면, 상기 금형부품별로 구분된 관리목록을 제공하는 단계; 상기 금형업체 단말기는 설계도면상에 주요 품질관리지점인 복수의 품질포인트를 지정하고 상기 복수의 품질포인트에 각각 대응되게 입력된 검사기준정보를 상기 금형부품별로 상기 관리목록에 등록하는 단계; 상기 가공업체 단말기는 상기 관리목록에서 상기 검사기준정보를 확인하고, 이에 따라 상기 금형부품별로 검사를 수행하여 상기 관리목록에 검사결과정보를 등록하는 단계; 및 상기 금형업체 단말기는 상기 관리목록에서 상기 검사결과정보를 확인하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 의하면, 금형 제조공정에 있어 검사기준정보, 검사결과정보 등의 검사정보를 설계도면상에 지정된 품질포인트에 각각 대응되게 설계도면상에 입력하여 금형업체 담당자와 가공업체 담당자 간에 공유함으로써, 주요 품질관리지점과 각 지점별 검사기준값, 검사결과값 등을 신속하고 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라, 해당 설계도면파일을 각 금형부품별로 관리서버와 인터넷을 통해 공유함으로써 그 편의성과 금형부품 제조공정의 효율을 극대화시킬 수 있는 금형 제조공정의 검사정보 제공방법에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR101028696B1
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：KR1020090018715
申请日：2009-03-05
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 소재로 제작되어 있는 다층구조의 미세홀 중심을 보다 효과적으로 얼라인 하기 위하여 파장의 폭이 작은 단파장의 적외선을 이용하여 촬영된 렌즈의 영상에 의하여 얼라인 상태를 판단하고, 얼라인 오차를 수정하는 적외선을 이용한 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 측정 및 수정방법에 관한 것이다.
본 발명의 다층구조의 미세홀 얼라인 오차 수정방법은, (a) 적외선을 방출하는 IR 광원의 조사에 의해 렌즈세트를 통하여 1차 렌즈위에 2차 렌즈를 올려놓고, 상하 이송 스테이지를 통하여 상기 1차 렌즈의 투과 이미지와 상기 2차 렌즈의 반사이미지(또는 투과이미지)를 촬영하는 단계(S10); (b) 상기 촬영된 1차 및 2차 영상이미지를 통하여 화이트 밸런스 값의 중간점을 검출하는 단계(S30); (c) 상기 1차 및 2차 영상의 중심을 검출하는 단계; 및 (d) 상기 검출된 중심을 통하여 1차 렌즈의 중심에 2차 렌즈의 중심을 이동하도록 하여 미세홀을 가진 렌즈 얼라인 간의 오차를 수정하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
IR 광원, 렌즈세트, 얼라인-
公开(公告)号：KR100975137B1
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：KR1020080041204
申请日：2008-05-02
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/677 , B82Y30/00
CPC classification number: B28D5/0082 , H02N2/02 , H02N2/04
Abstract: 본 발명은 보다 미세한 이동이 가능하고, 강성이 향상된 이송부를 갖는 고강성 듀얼 서보 나노스테이지에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따른 스테이지는, 작업대상물이 놓여지는 작업대, 회전력을 제공하는 모터, 상기 모터에 의해 회전되면서 상기 작업대를 이송시키는 샤프트, 상기 작업대와 치합된 샤프트; 상기 샤프트를 회전시키는 모터, 내부에 상기 샤프트의 일단이 삽입되는 중공이 형성되며, 상기 샤프트와 모터의 사이에 구비되고, 신축함으로써 상기 샤프트를 축방향으로 선형이동시키는 선형이동부, 상기 샤프트가 상기 선형이동부에 의해 이동된 거리만큼 신축하는 신축부를 포함하여 이루어질 수 있다.
스테이지, 피에조, 신축-
公开(公告)号：KR100947359B1
公开(公告)日：2010-03-15
申请号：KR1020080040525
申请日：2008-04-30
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: B26F1/22
Abstract: 본 발명은 구조가 간단하여 신뢰성이 있고 경제적이며, 회전과 멈춤을 반복적으로 하는 회전부재에 설치되며 내부에 공간부가 형성된 회전체와, 공간부에 내장되는 질량체를 이용하여 회전부재의 관성회전력에 의한 오버런을 방지 할 수 있는 오버런 방지디스크 및 이를 이용한 펀칭장치에 관한 것이다.
본 발명은 주기적으로 회전 및 멈춤을 반복하는 회전부재와 동축상으로 착탈가능하게 설치되며, 내부에 공간부가 형성된 회전체; 및 회전체의 공간부에 내장되어, 회전부재의 관성회전력이 발생하지 않도록 자율이동되어 반력을 형성함으로써 회전부재가 오버런되는 것을 방지하는 다수의 질량체를 포함한다.
회전부재, 오버런, 관성력, 회전체, 질량체, 공간부-
公开(公告)号：KR100869055B1
公开(公告)日：2008-11-17
申请号：KR1020080035832
申请日：2008-04-17
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: An apparatus for measuring alignment accuracy of the center axis of a rotating unit supporting opposite ends and a center axis alignment method using the same are provided to ensure clear standards for the center axis alignment by measuring the alignment accuracy of the center axis with high precision. An apparatus for measuring the alignment accuracy of a pair of center axes which are arranged apart from each other support both sides of an object to rotate includes a pair of light emitting units(101,201) which are provided on the exterior of a pair of center axes(100,200), rotate with the center axes and emit straight beam in a certain particular direction, and a plane detection unit(300) which forms a certain plane and senses the locus according to the rotation of the light emitting units. The plane detection unit has detection parts on both sides in order to sense the beam from the light emitting units at the same time.
Abstract translation: 提供一种用于测量支撑相对端的旋转单元的中心轴的对准精度和使用其的中心轴对准方法的装置，以通过以高精度测量中心轴的对准精度来确保中心轴对准的清晰标准。 用于测量彼此分开布置的一对中心轴的对准精度的装置支撑物体旋转的两侧包括一对发光单元（101,201），其设置在一对中心轴的外部 （100,200），与中心轴一起旋转并沿特定方向发射直线束，以及平面检测单元（300），其形成一定平面并根据发光单元的旋转感测轨迹。 平面检测单元在两侧具有检测部分，以便同时感测来自发光单元的光束。
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