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公开(公告)号：WO2022050453A1
公开(公告)日：2022-03-10
申请号：PCT/KR2020/011914
申请日：2020-09-04
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: H01L21/66 , G01R1/073 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/687
Abstract: 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치를 제공한다. 본 발명은 프로브 카드, 웨이퍼, 개별척을 카트리지로 결합하거나 상기 카트리지를 분해하는 작업공간을 구비하는 본체 챔버; 상기 카트리지가 배치되는 배치부를 관통형성한 본체 챔버의 상판에 구비되며, 상기 카트리지가 이동되어 수용되는 내부공간을 구비하는 상부 챔버; 상기 배치부에 위치하는 카트리지의 일부를 클램핑하여 구속하거나 언클램핑하여 해제하는 록킹 모듈; 을 포함하여, 상기 록킹 모듈에서 언클램핑된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 검사 유닛 측으로 공급되거나 상기 검사 유닛에서 검사완료된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 상기 상부 챔버에 공급되어 상기 록킹 모듈에서 클램핑 고정된다.
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公开(公告)号：WO2012002622A1
公开(公告)日：2012-01-05
申请号：PCT/KR2010/007628
申请日：2010-11-02
IPC: A61B6/04
CPC classification number: A61B6/4435
Abstract: 본 발명은 개폐모듈, 개폐모듈 제어방법, 그리고 이를 이용한 다차원 촬영이 가능한 이미징 장치에 관한 것이다. 본 이미징 장치는 통공된 원판 형상이고 상기 통공된 원판 형상의 중심을 회전축으로 회전 이동되는 회전체, 그리고 통공된 원판 형상이고 상기 회전체의 이동이 상기 회전 이동만으로 제한되도록 상기 회전체의 일면에 타면이 연결되는 지지체를 포함하되, 상기 지지체는 일부가 상기 회전축 방향으로 분리된 후 상기 회전축을 중심으로 미리 정해진 각도만큼 회전 이동되는 지지체개폐부를 포함하고, 상기 회전체는 일부가 상기 지지체개폐부와 일체적으로 거동되는 회전체개폐부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 회전 시 발생되는 진동을 완화할 수 있고, 두께나 폭이 보다 슬림(slim)해져 차지하는 공간이 줄어들게 되므로 촬영대상에 보다 많은 공간이 할애될 수 있으며, 회전체 및 지지체의 측면이 선택적으로 개폐될 수 있어 개방된 측면 공간을 통해 촬영대상의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种打开模块，一种用于控制打开模块的方法以及使用该打开模块的多维拍摄成像装置。 成像装置包括具有通孔的圆板形状的转子，具有用于转子的旋转轴的通孔的圆板的中心和具有通孔的圆板形状的支撑件 ，支撑件的另一个表面连接到转子的一个表面，以限制转子的移动，使得转子只能旋转。 支撑件包括在支撑开口部分的一部分沿旋转轴线的方向分离之后相对于旋转轴线以预定角度旋转的支撑开口部分。 转子包括其一部分与支撑开口部一体地操作的转子开口部。 根据本发明，可以减少旋转期间发生的振动。 此外，可以使成像装置更薄或更窄，以减少由此占据的空间。 因此，由于成像装置可以确保用于拍摄对象的更大的空间，所以可以选择性地打开或关闭转子和支撑件的侧表面。 因此，可以容易地使用由开放的侧面限定的空间来布置要拍摄的对象。
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公开(公告)号：WO2023074947A1
公开(公告)日：2023-05-04
申请号：PCT/KR2021/015322
申请日：2021-10-28
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 멀티 프로버용 카트리지 락킹장치를 제공한다. 본 발명은 복수의 탐침을 갖는 프로브 카드를 포함하는 카드조립체와, 웨이퍼가 올려져 배치되는 척조립체를 포함하는 카트리지에서 상기 카드조립체와 척조립체를 락킹하는 장치에 있어서, 상기 카드조립체의 하부단과 상기 척조립체의 상부단을 상호 걸림연결하여 상기 카드조립체, 웨이퍼 및 척조립체를 일체화시키는 잠금력을 발생시키는 락킹부; 상기 척조립체에 고정설치되는 고정부재와 상기 고정부재에 상하이동가능하게 구속되는 가동부재와의 사이에 배치되어 상기 가동부재를 카드조립체 측으로 탄력지지하는 적어도 하나의 탄성체를 갖추어 상기 카드조립체와의 접촉시 상기 탐침과 웨이퍼사이의 거리를 유지하면서 상기 탐침이 웨이퍼에 탄력적으로 접하도록 탄성력을 발생시키는 탄성스토퍼를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2023074942A1
公开(公告)日：2023-05-04
申请号：PCT/KR2021/015277
申请日：2021-10-28
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 멀티 프로버용 카트리지 이송 장치를 제공한다. 본 발명은 제1구동원에 의해서 본체프레임을 검사챔버의 폭방향과 나란한 Y축방향으로 이동시키는 제1이송부; 제2구동원에 의해서 내부프레임을 검사챔버의 높이방향과 나란한 Z축방향으로 이동시키는 제2이송부; 제3구동원에 의해서 왕복대를 Y축방향과 직교하는 X축방향으로 이동시키는 제3이송부; 및 상기 왕복대에 구비되는 제1서브레일과 활주이동가능하게 조립되는 상부캐리어판을 갖추고 상기 상부캐리어판을 Z축방향으로 이동시키는 제1서브구동원을 갖추며, 상기 상부캐리어판에 구비되는 제2서브레일과 활주이동가능하게 조립되는 하부캐리어판을 갖추며, 카트리지의 선,후단에 각각 관통형성된 제1,2암공과 대응하여 선택적으로 걸림연결되는 제1,2암을 선,후단에 각각 구비하는 하부캐리어판을 X축방향으로 이동시키는 제2서브구동원을 갖추어 상기 제1,2암에 구속된 카트리지를 X축방향으로 이송시키는 핸들러;를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2020111690A1
公开(公告)日：2020-06-04
申请号：PCT/KR2019/016249
申请日：2019-11-25
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G01R31/28 , G01R1/073 , H01L21/683
Abstract: 멀티 프로버용 척 조립체 및 채널이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 멀티 프로버용 척 조립체는 웨이퍼를 지지하는 척; 척 상부에 결합되는 프로프 카드 구조체; 척 하부에서 척을 히팅하는 히터; 히터의 하부에 히터로부터 이격 배치되는 도전성 가드판 및, 히터 및 가드판이 내부에 위치되도록 척 하부에 위치되는 몸체부를 포함하며, 프로프 카드 구조체 및 몸체부가 기계적으로 결합되어 카트리지형 구조를 갖도록 형성된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2009134031A2
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/KR2009/002015
申请日：2009-04-17
IPC: H01L21/677
CPC classification number: B28D5/0082 , H02N2/02 , H02N2/04
Abstract: 본 발명은 보다 미세한 이동이 가능하고, 강성이 향상된 이송부를 갖는 고강성 듀얼 서보 나노스테이지에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따른 스테이지는, 작업대상물이 놓여지는 작업대, 회전력을 제공하는 모터, 상기 모터에 의해 회전되면서 상기 작업대를 이송시키는 샤프트, 상기 작업대와 치합된 샤프트; 상기 샤프트를 회전시키는 모터, 내부에 상기 샤프트의 일단이 삽입되는 중공이 형성되며, 상기 샤프트와 모터의 사이에 구비되고, 신축함으로써 상기 샤프트를 축방향으로 선형이동시키는 선형이동부, 상기 샤프트가 상기 선형이동부에 의해 이동된 거리만큼 신축하는 신축부를 포함하여 이루어질 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及刚性的双伺服纳米级，其允许更精细的运动并且包括具有改进的刚性的移动平台。 根据本发明的一个方面的舞台包括放置待加工物体的工作平台，提供旋转动力的电动机，在由所述电动机旋转的同时使所述工作平台移动的轴，轴齿轮 所述工作平台和旋转所述轴的电动机。 所述台架还包括直线运动部件，其中形成有所述轴的一端插入的中空部，设置在所述轴和马达之间，所述轴和马达通过伸缩收缩而沿轴向线性移动所述轴; 通过所述线性移动部件使所述轴伸展和收缩相同距离的部分。
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公开(公告)号：KR101061930B1
公开(公告)日：2011-09-02
申请号：KR1020080129551
申请日：2008-12-18
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 다중 모터 제어 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 이 시스템은 복수의 모터에 대한 모터 제어 신호를 생성하는 모션 제어기, 그리고 복수의 모터를 동작시키기 위한 구동 신호를 각각 제공하는 복수의 모터 앰프 모듈, 모션 제어기로부터 통신망을 통하여 모터 제어 신호를 수신하고 복수의 모터 앰프 모듈 중 모터 제어 신호가 전달될 모터 앰프 모듈을 결정하는 통신 아답타 모듈, 그리고 통신 아답타 모듈과 복수의 모터 앰프 모듈을 연결하는 백보드를 포함하는 적어도 하나의 다중 모터 드라이버를 포함한다. 본 발명에 의하면, 시스템 구축 비용이 절감되고 공간을 절약할 수 있으며 유지 보수가 용이하고 시스템을 효율적으로 관리할 수 있다.
모터, 모터 드라이버, 모션 제어기, 백보드, 통신망Abstract translation: 本发明涉及一种多电机控制系统和方法，该系统包括用于操作运动控制器提供驱动信号的多个马达放大器，和多个电机以产生用于多个电动机的每个模块的电机控制信号， 包括白色板，用于从运动控制器通过通信网络接收一个马达控制信号，并连接通信适配器模块，并且通信适配器模块和用于确定多个马达放大器模块的多个马达放大器模块传递，从马达放大器模块的马达控制信号 至少有一个多电机驱动器。 根据本发明，可以降低系统建设成本，节省空间，便于维护，并且可以有效地管理系统。
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公开(公告)号：KR1020100070826A
公开(公告)日：2010-06-28
申请号：KR1020080129551
申请日：2008-12-18
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: PURPOSE: A control system and a method for multiple motors are provided to drive a plurality of motors through a multiple motor by interlinking one motion controller through the communications network to the multiple motor driver. CONSTITUTION: A motion controller(100) generates a motor control signal to a plurality of motors(400). More than one multiple motor driver(300) comprises a plurality of motor amplifier modules, a communications adaptor module, and back board. The motor amplifier module offers the driving signal for activating the motor. A communications adaptor module decides the motor amplifier module which receives a motor control signal among a plurality of motor amplifier modules by receiving the motor control signal from the motion controller through the communications network(200). The back board interlinks the communications adaptor module with plurality of motor amplifier modules.
Abstract translation: 目的：提供一种用于多个电动机的控制系统和方法，以通过将一个运动控制器通过通信网络与多个电动机驱动器相互连接来通过多个电动机驱动多个电动机。 构成：运动控制器（100）向多个马达（400）产生马达控制信号。 多个电动机驱动器（300）包括多个电动机放大器模块，通信适配器模块和背板。 电机放大器模块提供用于启动电机的驱动信号。 通信适配器模块通过从通信网络（200）接收来自运动控制器的电动机控制信号来决定多个电动机放大器模块之间接收电动机控制信号的电动机放大器模块。 后板将通信适配器模块与多个电动机放大器模块相互连接。
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公开(公告)号：KR100948947B1
公开(公告)日：2010-03-23
申请号：KR1020080004839
申请日：2008-01-16
Applicant: 한국생산기술연구원
IPC: G01S13/06
Abstract: 본 발명은 이동체의 위치 추정 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 장치는, 이동체의 상단에 부착된 위치 인식 표지를 촬상하고 위치 인식 표지의 중심에 위치한 역반사체의 좌표를 추출하는 카메라부와 역반사체에 레이저 빔을 조사하고 역반사체로부터 반사된 레이저 빔을 수신하는 레이저 거리계를 포함하는 센서 인식부와, 센서 인식부에 부착되어 레이저 거리계가 역반사체를 향하도록 조절하는 팬/틸트 구동축 및, 레이저 거리계가 역반사체를 향하도록 팬/틸트 구동축을 조절하고 레이저 거리계가 미리 설정된 기준축과 이루는 각도와 레이저 빔의 송수신 시간을 기초로 이동체의 위치를 구하는 제어부를 포함한다. 본 발명에 따르면 하나의 위치 추정 장치를 통하여 이동체의 위치를 추정할 수 있으므로 경제적이다. 또한 카메라와 레이저 거리계를 이용함으로써, 이동체의 위치를 고속으로 정확하게 추정할 수 있다.
이동체, 위치 추정 장치, 위치 인식 표지, 역반사체-
公开(公告)号：KR1020090115371A
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：KR1020080041203
申请日：2008-05-02
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: PURPOSE: A nano stage with a driver in the center is provided to perform precise transfer without a moment by making the center of gravity coincide with the point of application. CONSTITUTION: An object to be processed or measured is fixed in a workbench(110). A base(120) supports the workbench movably. A driver(130) passes through the center of gravity and transfers the worktable. A ball screw(132) is positioned in the center of the workbench to pass through the center of gravity. A driving motor rotates the ball screw. A displacement detector(140) measures an amount of the transfer of the workbench.
Abstract translation: 目的：提供具有中心驱动器的纳米级，通过使重心与应用点一致，实现精确的传递，无需时间。 构成：要处理或测量的物体固定在工作台（110）中。 基座（120）可移动地支撑工作台。 驾驶员（130）通过重心移动工作台。 滚珠丝杠（132）位于工作台的中心以通过重心。 驱动电机旋转滚珠丝杠。 位移检测器（140）测量工作台的传送量。
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