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公开(公告)号:KR1020200133958A
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:KR1020190059299
申请日:2019-05-21
Applicant: 한국세라믹기술원
Inventor: 박운익
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/67
Abstract: 패터닝장치가제공된다. 상기패터닝장치는, 타겟기판이준비되는타겟기판준비부, 상기타겟기판을이동시키는타겟기판이동부, 및상기타겟기판이동부로부터상기타겟기판을제공받아, 상기타겟기판상에패턴을형성하는패터닝부를포함하되, 상기패터닝부는, 제1 방향, 및상기제1 방향과직각방향인제2 방향으로이동되며, 상기타겟기판이배치되는스테이지, 및상기제1 및제2 방향과직각방향인제3 방향으로연장되고, 상기제3 방향으로직선이동됨에따라상기타겟기판과접촉및 분리되는마스터패턴을포함하는마스터기판이장착되는패터닝모듈을포함할수 있다.
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公开(公告)号:KR102172214B1
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:KR1020180141727
申请日:2018-11-16
Applicant: 한국세라믹기술원 , 재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단
IPC: H01L21/027 , H01L21/3213 , H01L21/02 , H01L21/56 , H01L21/324
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公开(公告)号:KR101901146B1
公开(公告)日:2018-09-21
申请号:KR1020170153052
申请日:2017-11-16
Applicant: 한국세라믹기술원
CPC classification number: G01D21/02 , B65G43/02 , B65G2203/0275 , B65G2207/40 , G08C17/02 , H02N2/18
Abstract: 화력발전소의컨베이어이송장치등에대한안전사고방지모니터링을실시간으로실시하기위해넓은영역의감시포인트에대한설치가가능하고무선으로구현이가능한자가발전 IoT 센서모듈및 이를갖는안전사고방지모니터링시스템에대하여개시한다. 본발명에따른자가발전 IoT 센서모듈은이송장치에장착되어사용되는자가발전 IoT 센서모듈로서, 상기이송장치의작동에의해발생하는진동에너지를전기에너지로변환하기위한압전에너지하베스터; 상기이송장치의작동시발생하는열 및진동에의한온도및 진동주파수를측정하기위한센싱회로; 상기센싱회로에의해측정된온도및 진동주파수데이터를무선으로송신하기위한무선송신부; 를포함하며, 상기센싱회로및 무선송신부는상기압전에너지하베스터에의한자가발전에의해생성된전기에너지를전달받아작동하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号:KR101750709B1
公开(公告)日:2017-06-27
申请号:KR1020160072189
申请日:2016-06-10
Applicant: (주) 아이엔아이테크 , 한국세라믹기술원
IPC: H01L41/083 , H01L41/047 , H01L41/187 , H01L41/29 , H01L41/27 , H01L41/113 , H01L41/09
CPC classification number: H01L41/083 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/27 , H01L41/29
Abstract: 본발명은플렉서블압전소자구조체에관한것이고, 또한이러한플렉서블압전소자구조체의제조방법에관한것이다. 또한, 본발명은이러한플렉서블압전소자구조체를이용한센서등을추가적으로제공하고있다. 본발명에따른플렉서블압전소자구조체는센서로이용이가능하며태권도의전자호구로도이용이가능하다. 또한, 본발명에따른플렉서블압전소자구조체는압전액츄에이터(actuator)들로도이용이가능하다.
Abstract translation: 本发明涉及柔性压电元件结构,并且还涉及制造这种柔性压电元件结构的方法。 此外,本发明还提供了一种使用这种柔性压电元件结构的传感器。 根据本发明的柔性压电器件结构可以用作传感器,并且还可以用作跆拳道的电子拖轮。 而且,根据本发明的柔性压电器件结构可以用作压电致动器。
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