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公开(公告)号：KR101921477B1
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：KR1020160091746
申请日：2016-07-20
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L21/02 , H01L21/56 , H01L21/324
Abstract: 본발명은, 복수개의돌기부가형성된기판상부에상기돌기부의높이보다작은두께를이루도록나노파티클을코팅하는단계와, 상기나노파티클의코팅층위로노출되어있는돌기부의단부를씨드(seed)로하여질화물을성장시키는단계및 상기질화물의성장온도보다낮은온도로하강시켜성장된질화물과상기돌기부사이의격자상수및 열팽창계수차이에의해성장된질화물과상기돌기부의단부사이가자가분리되게하는단계를포함하는질화물기판의제조방법에관한것이다. 본발명에의하면, 공정이매우간단하면서도재현성이매우높고, 고품질의질화물기판을얻을수가있으며, 질화물성장에사용된기판은나노파티클을선택적으로습식공정방법으로식각하여제거하고재사용할수 있어생산비용을절감할수 있다.
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公开(公告)号：KR20180009877A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：KR20160091740
申请日：2016-07-20
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01B3/02 , C01B3/04 , C25B1/00 , C25B11/04 , H01L21/02 , H01L21/027 , H01L29/16 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02E60/364 , H01B3/02 , C01B3/042 , C25B1/003 , C25B11/0405 , C25B11/0478 , H01L21/02315 , H01L21/0274 , H01L29/1606 , H01L31/0224
Abstract: 본발명은, 기판과, 상기기판상에구비된 GaN층과, 상기 GaN층의상부일부에구비된패턴화된그래핀층(patterned graphene layer)과, 상기패턴화된그래핀층이위치하지않는영역의상기 GaN층상부와상기패턴화된그래핀층상부에서성장되어형성된 (Ga,In)계질화물을포함하며, 상기패턴화된그래핀층상부에형성된 (Ga,In)계질화물과상기 GaN층상부에형성된 (Ga,In)계질화물은서로다른형태를갖는특징으로하는광전극재료및 그제조방법에관한것이다. 본발명에의하면, 습식공정방법으로전사된그래핀층이패턴화되어있으며, 패턴화된그래핀층에의해전자가상대전극으로이동하는통로역할을하게할 수있고, 상기패턴화된그래핀층을통해서전류과밀문제를해소할수 있으며, 3차원형태로성장된 (Ga,In)계질화물의표면적증가로광전류를향상시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种包括衬底，设置在衬底上的GaN层，设置在GaN层的上部的一部分上的图案化的石墨烯层和图案化的石墨烯层的GaN衬底 在GaN层的顶部和该图案化是基于生长在被钉扎顶部上形成（GA，在），并且包括氮化物，形成在该氮化物和GaN层顶部类型（GA，在）该图案化是被钉扎层形成在上 （Ga，In）氮化物彼此不同及其制造方法。 根据本发明，转移到湿处理方法中的是被钉扎层被图案化，由钉扎层的图案化是能够使通路用于电子移动到对置电极，通过销层所述图案是当前 可以解决过校正问题，并且可以通过增加以三维形式生长的（Ga，In）型氮化物的表面积来改善光电流。
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公开(公告)号：KR1020170077480A
公开(公告)日：2017-07-06
申请号：KR1020150187399
申请日：2015-12-28
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은 LiO-AlO-SiO계투명결정화유리및 그제조방법에관한것으로서, 보다상세하게는유리조성으로서 LiO, AlO, SiO를기본조성으로갖는 LAS계유리에있어서, 상기 LAS계유리에는 TiO및 ZrO가더 첨가되고, 베타상의스포듀민이주결정상을이루며, 상기베타상의스포듀민의결정크기는가시광영역의파장의하한값의크기를초과하지않는것을특징으로하는 LiO-AlO-SiO계투명결정화유리를제공한다. 이상과같은본 발명에따르면, 리튬알루미노실리케이트계유리를이용하여열 시차분석을통해핵생성온도별최적결정성장온도를설정하여결정성장의성장을억제하여투명도가매우높은 LiO-AlO-SiO계투명결정화유리를제조할수 있는작용효과가기대된다.
Abstract translation: 更具体地，本发明涉及具有基本组成为LiO，AlO和SiO作为玻璃组成的LAS基玻璃，其中LAS基玻璃包含TiO 2和ZrO 2 和它想出加入，构成轮辐露闵主要结晶相于β，于β晶粒尺寸辐条露水种子提供-基于LIO的AlO的SiO透明结晶化玻璃，其特征在于不超过可见光区域波长的下限尺寸 的。 根据本发明，通过使用铝硅酸锂玻璃，根据通过热视差分析的成核温度设定最佳晶体生长温度，以抑制晶体生长的生长，并且LiO-AlO-SiO系统 预计可以产生能够产生透明结晶玻璃的作用和效果。
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公开(公告)号：KR1020170033987A
公开(公告)日：2017-03-28
申请号：KR1020150132020
申请日：2015-09-18
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은질화갈륨기판의휨 방향에따라습식공정중에하나인에칭또는열처리를달리수행하여프리스탠딩질화갈륨기판의휨 현상을제어하는방법에관한것이다. 본발명은기판의휨 방향, 응력분포에따라습식공정중에하나인에칭또는열처리를달리하여프리스탠딩 GaN 기판의휨 현상을제어할수 있다. 본발명의방법에의해휨이제거된프리스탠딩 GaN 기판은낮은전위결함밀도와자기발열현상을보여주므로소자의전기적기계적특성을개선시킬수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种通过在湿法工艺期间根据氮化镓衬底的弯曲方向执行一次蚀刻或热处理来控制独立氮化镓衬底的翘曲的方法。 根据本发明，可以根据弯曲方向和基板的应力分布，通过湿法工艺期间的不同蚀刻或热处理来控制独立GaN衬底的弯曲现象。 通过本发明的方法去除偏转的独立GaN衬底表现出低位错缺陷密度和自发热现象，由此改善器件的电特性和机械特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102250306B1
公开(公告)日：2021-05-10
申请号：KR1020190096453
申请日：2019-08-08
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 질화갈륨나노와이어광전극과물 간의접촉면적을최대화하여수소발생반응을극대화시켜물분해효율을향상시키기위한전기화학적물분해용질화갈륨나노와이어광전극구조물제조방법에대하여개시한다.본발명에따른전기화학적물분해용질화갈륨나노와이어광전극구조물제조방법은 (a) 기판상에금속촉매층을형성하는단계; (b) 상기금속촉매층이형성된기판을 1차어닐링처리하여, 상기기판상에원형의금속나노파티클을형성하는단계; (c) 상기원형의금속나노파티클이형성된기판상에 Ga 박막층및 In 박막층을차례로형성하는단계; (d) 상기 Ga 박막층및 In 박막층이형성된기판을 2차어닐링하여다각형의합금나노파티클을형성하는단계; 및 (e) 상기다각형의합금나노파티클을시드로이용하여다각형의나노와이어를성장시켜질화갈륨나노와이어광전극을형성하는단계;를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR102233018B1
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：KR1020190087234
申请日：2019-07-18
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 압전변환효율을향상시킬수 있는적층형압전세라믹층을갖는초음파센서에대하여개시한다. 본발명에따른적층형압전세라믹층을갖는초음파센서는전도성케이스; 상기전도성케이스의일면에부착된압전소자; 상기압전소자와전기적으로연결된제1 리드선; 및상기전도성케이스와전기적으로연결된제2 리드선;을포함하며, 상기압전소자는링 형상을갖는복수의압전세라믹층을가지며, 상기복수의압전세라믹층은두께방향과교차하는직경방향으로적층된것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR102227999B1
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：KR1020200146633
申请日：2020-11-05
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 나노와이어발광구조물의내부에금속반사판을삽입함으로써, 금속반사판과나노와이어발광구조물이결합된일체형구조를갖도록설계된금속반사판일체형광소자및 그제조방법에대하여개시한다. 본발명에따른금속반사판일체형광소자제조방법은 (a) 기판의일면상에복수의나노와이어발광구조물을형성하는단계; (b) 상기복수의나노와이어발광구조물및 기판의노출면전체를덮도록금속물질을증착하여금속반사물질층을형성하는단계; (c) 상기금속반사물질층이형성된복수의나노와이어발광구조물및 기판을덮도록절연층을형성하는단계; (d) 상기절연층의일부두께가남겨지도록제거하여, 상기복수의나노와이어발광구조물을덮는금속반사물질층만을노출시키는단계; (e) 상기노출된복수의나노와이어발광구조물을덮는금속반사물질층만을선택적으로제거하여, 상기복수의나노와이어발광구조물및 절연층의하부에배치되는금속반사판을형성하는단계; 및 (f) 상기복수의나노와이어발광구조물의하부에배치된절연층을제거하여, 상기금속반사판을노출시키는단계;를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR20210017347A
公开(公告)日：2021-02-17
申请号：KR20190096454
申请日：2019-08-08
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 양면형중접합구조도입으로양면에서수소발생을일으키는것이가능하여수소생산을극대화할수 있는물분해수소생산용중접합광촉매및 그제조방법에대하여개시한다. 본발명에따른물분해수소생산용중접합광촉매는일면및 상기일면에반대되는타면을갖는기판; 상기기판의일면상에배치되며, 복수개가기둥구조로이격배치된제1 GaN 박막층; 및상기기판의타면상에배치되며, 복수개가나노와이어구조로이격배치된제2 GaN 박막층;을포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020210009976A
公开(公告)日：2021-01-27
申请号：KR1020190087234
申请日：2019-07-18
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 압전변환효율을향상시킬수 있는적층형압전세라믹층을갖는초음파센서에대하여개시한다. 본발명에따른적층형압전세라믹층을갖는초음파센서는전도성케이스; 상기전도성케이스의일면에부착된압전소자; 상기압전소자와전기적으로연결된제1 리드선; 및상기전도성케이스와전기적으로연결된제2 리드선;을포함하며, 상기압전소자는링 형상을갖는복수의압전세라믹층을가지며, 상기복수의압전세라믹층은두께방향과교차하는직경방향으로적층된것을특징으로한다.
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