Abstract:
본 발명은 진공전자소자에 적용을 위한 전계 인가형 미세패턴 2극 전극 구조에 있어서, 제작이 용이하면서도 가공 비용이 저렴하며 높은 가공 정밀도를 충족시킬 뿐만 아니라, 안정된 실리콘 광결정 격자를 통해 전자기파 처리에 있어서 특성 제어의 안정성을 확보할 수 있는 진공전자소자용 2극 전극 구조에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은, 계단형 렌즈를 이용한 고속 초점 면부 영상 스캔 장치로서, 광선을 발생시켜 방사하는 광원 소스; 상기 광원 소스의 하부에 위치하며 상기 광원 소스로부터 방사되는 광원을 집약하는 포커스 렌즈; 상기 광선의 경로 상에 위치하여 상기 광선의 경로를 변경시키며, 서로 대향되어 각각의 중심점을 기준으로 일정 각도 회전하는 제1 스캐닝 미러와 제2 스캐닝 미러; 및 상기 광선의 경로 상에서 스캔 대상물의 상부에 위치하며, 상기 스캔 대상물을 향하는 면이 그 중심부로부터 외면부로 갈수록 두께가 얇아지도록 계단형으로 형성된 계단형 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 계단형 렌즈를 이용한 고속 초점 면부 영상 스캔 장치이며, 이와 같은 본 발명에 의하면 두 개의 스캐닝 미러를 이용한 고속 이미지 스캔에 있어 스캐닝 미러의 회전에 따른 초점 영역에서의 초점 길이를 보상하기 위해 계단형 렌즈를 이용하여 동일한 초점거리를 얻을 수 있을 뿐만 아니라 동일한 초점 사이즈를 얻을 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A fast focal plane image scanning device using a stepped lens is provided to obtain information about the same focal distance using the stepped lens and obtain the same focal size. CONSTITUTION: A focus lens(200) is located in a lower portion of a light source unit(100). The focus lens integrates light sources of the light source unit. A first scanning mirror(300) and a second scanning mirror(400) vary the route of light. The first scanning mirror and the second scanning mirror revolve around each central point at a fixed angle. A stepped lens(500) is located on a scan target object(600). The thickness of the side of the stepped lens facing the scan target object gets thinner from the central portion of the side to the external surface of the side.
Abstract:
PURPOSE: An electron emission device and a manufacturing method thereof are provided to implement mass-production by including a grid structure made with an isotropic wetting process in a silicon wafer direction. CONSTITUTION: A photonic crystal resonator(62) includes a plurality of photonic crystals of a 2D photonic crystal structure. A grid(61) is formed on a silicon wafer corresponding to an electron emitting source. The electron emitting source is formed on the silicon wafer. The electron emitting source is formed at an empty space between photonic crystals. A waveguide(63) is formed at another empty space between the photonic crystals.
Abstract:
PURPOSE: An electron emitting apparatus is provided to improve the electric current density of an electron which is emitted from an emitter by forming a cathode into a convexo-concave shape after etching. CONSTITUTION: A cathode part(200) generates an electron and transfers the electron to a anode part(100). A substrate(210) etches a top silicon wafer as a convexo-concave shape. Photonic crystals are formed in a silicon crystal direction through an anisotropic wet process. An emitter(230) is formed in the upper side of the photonic crystals. The emitter is formed on among carbon nano-tubes, carbon films, carbon tubule nano-coils, and aluminum nitride nano-rods. A metal layer comprises a gold film.
Abstract:
PURPOSE: Method and device for analyzing spectrum for imaging using an antenna-integrated waveguide are provided to enable a user to select a range of frequency to be measured through amplifying or damping of a signal using a resonator or a filter in a waveguide. CONSTITUTION: A method for analyzing spectrum for imaging using an antenna-integrated waveguide is as follows. An antenna-coupled structure is formed to on one or both ends of the waveguide to focus electromagnetic waves. Using the structure, the electromagnetic waves focused by antenna pass through the waveguide or the sample of the end of the electromagnetic wave output of the waveguide, the electromagnetic waves emitting from the sample is detected, and spectrum is analyzed.
Abstract:
본 발명은 실리콘 웨이퍼의 비등방적 습식공정과 반도체 가공기술을 적용하여 제작된 금속 격자회로를 적용한 광대역, 고출력, 소형의 전자기파 발진소자인 스미스-퍼셀 자유전자레이저 소자의 제작 방법에 관한 것이다. 습식공정으로 제작된 회로를 적용한 스미스-퍼셀 자유전자레이저 소자의 제작을 위하여 실리콘 웨이퍼에 적용되는 비등방적 습식공정을 금속 격자 회로 제작에 적용하면, 선택적인 공정이 수월하고, 상대적으로 가격이 저렴하며, 높이가 큰 금속 격자 회로를 빠른 시간 안에 대량으로 제작이 가능하다. 또한, 공진기 형태의 구조를 갖는 격자회로 구조로 인하여 전자빔과의 상호작용 시 중요한 격자 회로 윗면에서의 전기장 세기를 증가시킬 수 있고, 이로 인해 발진 출력과 효율을 증가 시킬 수 있으며, 후방파 발진에 필요한 최소 전류를 감소시킬 수 있다. 스미스-퍼셀 자유전자레이저, 습식공정, 금속 격자 회로, 실리콘 웨이퍼
Abstract:
PURPOSE: A manufacturing method of a smith-cell free electron laser device for applying a grid circuit manufactured to the wet processing is provided to increasing the oscillation out and efficiency by increasing the electric field intensity at the important lattice upper side in interaction with the electronic beam. CONSTITUTION: A metal grid structure circuit(510) is used the smith-cell free electron laser device. An electro magnetic wave is created by using an electronic beam(522). An electron gun(521) of the cold cathode or the hot cathode radiates the electronic beam on the metal grid structure circuit. The electro magnetic wave is produced through the interaction of the metal grid structure circuit and electronic beam according to the principles of the smith-cell. The electronic beam emitting from the electron gun is absorbed in a collector(523) of the opposite side. The width of the lattices of the metal grid structure circuit, height, and the periodicity are controlled in order to occur the electro magnetic wave having the necessary frequency.