Abstract:
본 발명은 선형 가속기에 관한 것으로서, 구체적으로는 비대칭 돌출부를 갖는 공진기를 적용한 선형 가속기에 관한 것이다. 본 발명은 소정의 형상을 가지는 가속 공동; 상기 가속 공동의 입력 개구에 연결되는 입력 돌출부; 및 상기 가속 공동의 출력 개구에 연결되는 출력 돌출부를 포함하여 구성되며, 상기 입력 돌출부와 출력 돌출부는 비대칭의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 선형 가속기용 공진기를 개시하며, 본 발명에 의하여 가속 공동(accelerating cavity)에 연결되는 입력 돌출부와 출력 돌출부에 대하여 비대칭 형상을 적용함으로써, 상기 가속 공동 내의 전기장 분포를 조절하여 가속되는 하전 입자를 효율적으로 집속하고 전자빔의 에너지 퍼짐을 줄이며 전송 효율이 높은 선형 가속기를 구현하는 효과를 갖는다.
Abstract:
본 발명은 높은 주파수의 펄스형 전자빔을 방출하는 전자총 기반의 선형가속기로서, 전자의 집군(Bunching) 현상을 유도하는 구간을 없앨 수 있어, 높은 션트 임피던스(Shunt impedance)를 유지할 수 있으므로 가속관의 길이가 줄어들게 하고, 전자빔의 빔 손실이 없어 열적 구조적 안정성이 높기 때문에, 비용감소 효과가 있으며, 유지 보수적인 측면에서는 가속관의 수명을 연장시키는 효과가 있다.
Abstract:
다중 접합 반도체의 결함 검사 장치에 있어서, 광원, 슬릿 안테나 프로브, 평행광 조사부, 광 집속부, 광분배부, 제1 광검출부, 제2 광검출부, 영상 신호 생성부 및 영상 신호 분석부를 포함하며, 슬릿 안테나 프로브는, 광원으로부터 발생된 테라헤르츠 광을 가이딩하는 가이딩부; 및 가이딩부와 슬릿 안테나 프로브의 외부 공간 사이를 관통하는 슬릿을 포함하고, 슬릿에는, 가이딩부를 지나 슬릿을 통과하는 테라헤르츠 광의 반사 정도를 감소시키기 위한 반사 감소 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 접합 반도체의 결함 검사 장치가 개시된다.
Abstract:
본 발명은 진공전자소자에 적용을 위한 전계 인가형 미세패턴 2극 전극 구조에 있어서, 제작이 용이하면서도 가공 비용이 저렴하며 높은 가공 정밀도를 충족시킬 뿐만 아니라, 안정된 실리콘 광결정 격자를 통해 전자기파 처리에 있어서 특성 제어의 안정성을 확보할 수 있는 진공전자소자용 2극 전극 구조에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은, 계단형 렌즈를 이용한 고속 초점 면부 영상 스캔 장치로서, 광선을 발생시켜 방사하는 광원 소스; 상기 광원 소스의 하부에 위치하며 상기 광원 소스로부터 방사되는 광원을 집약하는 포커스 렌즈; 상기 광선의 경로 상에 위치하여 상기 광선의 경로를 변경시키며, 서로 대향되어 각각의 중심점을 기준으로 일정 각도 회전하는 제1 스캐닝 미러와 제2 스캐닝 미러; 및 상기 광선의 경로 상에서 스캔 대상물의 상부에 위치하며, 상기 스캔 대상물을 향하는 면이 그 중심부로부터 외면부로 갈수록 두께가 얇아지도록 계단형으로 형성된 계단형 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 계단형 렌즈를 이용한 고속 초점 면부 영상 스캔 장치이며, 이와 같은 본 발명에 의하면 두 개의 스캐닝 미러를 이용한 고속 이미지 스캔에 있어 스캐닝 미러의 회전에 따른 초점 영역에서의 초점 길이를 보상하기 위해 계단형 렌즈를 이용하여 동일한 초점거리를 얻을 수 있을 뿐만 아니라 동일한 초점 사이즈를 얻을 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A fast focal plane image scanning device using a stepped lens is provided to obtain information about the same focal distance using the stepped lens and obtain the same focal size. CONSTITUTION: A focus lens(200) is located in a lower portion of a light source unit(100). The focus lens integrates light sources of the light source unit. A first scanning mirror(300) and a second scanning mirror(400) vary the route of light. The first scanning mirror and the second scanning mirror revolve around each central point at a fixed angle. A stepped lens(500) is located on a scan target object(600). The thickness of the side of the stepped lens facing the scan target object gets thinner from the central portion of the side to the external surface of the side.