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公开(公告)号：KR1020060036154A
公开(公告)日：2006-04-28
申请号：KR1020040085182
申请日：2004-10-25
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N27/04
Abstract: 본 발명은 시료의 면 또는 비저항을 측정하는 시스템에 있어서 측정헤드의 누름하중을 쉽게 조절 할 수 있는 구조와 누름하중을 계측 할 수 있는 측정시스템에 관한 것이다. 측정시스템의 구조는 측정헤드를 유도지지구조물에 고정시켜 상하로 작동시키는 동작부와 유도지지구조물에 장착된 측정헤드의 고정 장치로 나누어 볼 수 있는데 기존 시스템의 경우는 측정헤드를 고정시키기 위한 고정 장치의 구조물과 측정헤드의 전체 무게가 측정시의 누름하중으로 동작되는 구조로 되어있다.
4탐침 또는 2탐침 측정방법을 이용한 면 저항 측정시스템은 실리콘 웨이퍼 와 엘시디 패널 등 각종 박막과 금속의 면 저항 측정에 널리 사용되고 있다. 이는 측정헤드의 탐침(tip)이 측정시료의 표면을 누른 상태에서 전기적 방법을 이용하여 시료의 면 저항을 측정하는 원리이다. 그러나 이러한 방법은 10 ㏁/sq 이상의 고저항 물질이나 두께가 얇은 박막의 면 저항을 측정할 때에는 측정헤드의 탐침이 측정시료의 표면에 접촉할 때 접촉저항이 발생하는데 이는 누름하중과 밀접한 관계가 있으며 기존의 방법으로는 정밀측정이 어렵다.
본 발명은 이러한 측정헤드의 누름하중을 측정시료에 따라서 쉽게 조절하여 측정할 수 있도록 하는 것으로 고정 지지물에 도르레를 설치하여 측정헤드의 전체 무게와 평형을 이루도록 반대편에 같은 무게의 추를 연결하는 구조가 주요 특징이다. 즉, 구조물에 고정된 측정헤드의 전체무게가 평형 되었으므로 시료에 따른 면 저항을 측정할 때에는 측정헤드 위에 추의 무게를 선택하여 올려놓고 측정하면 된 다. 그리고, 또 한 가지 방법은 하중 측정용 센서를 고정구조물에 부착시키고 측정헤드와 연결하여 측정시 측정헤드의 하중을 조절하는 계측용 측정시스템에 관한 것이다.
면 저항, 측정, 시료, 탐침-
公开(公告)号：KR101883199B1
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：KR1020160178906
申请日：2016-12-26
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은기준저항의저항값을통해대상저항의저항값오차를측정하여대상저항의저항값오차를조정하고, 측정부의저항측정기능의오차를조정할수 있도록하는이진배수저항증가를이용한저항값및 측정장치저항측정기능교정장치및 이를이용한저항교정방법에관한것으로서, 기준이되는설정값을갖는기준저항; 상기기준저항과대응되는저항값을가지며, 점차적으로증가되고, 동일한저항값을갖는한쌍의대상저항; 상기기준저항의양단및 대상저항에연결되어기준저항및 대상저항의저항값을측정하는측정부; 상기측정부에연결되어기준저항을측정한기준저항측정값과대상저항을측정한측정값을비교하는비교부; 상기비교부에서비교되는기준저항측정값과대상저항측정값을표시하는표시부및 상기표시부에표시되는기준저항측정값과대상저항측정값을저장하는저장부를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101104784B1
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：KR1020100127478
申请日：2010-12-14
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R27/08
Abstract: PURPOSE: A conductive thin film surface resistance measuring apparatus which uses a Van der Pauw method and a method thereof are provided to precisely measure the surface resistance of the thin film by a probe station apparatus. CONSTITUTION: A probe station mounts a surface resistance measurement specimen(1). Four points of the measurement specimen is connected to a probe in order to apply a Van der Pauw method. A current source(20) is connected to a current supply terminal of the probe station. The current source supplies current to the measurement specimen through the probe station. An A/D converter(30) is connected to a voltage measurement terminal of the probe station and amplifies measured voltage in the voltage measurement terminal. A CPU(40) controls current supply of the current source and computes surface resistance based on the resistance in a horizontal axis direction and vertical axis direction.
Abstract translation: 目的：提供使用Van der Pauw方法的导电薄膜表面电阻测量装置及其方法，以通过探针台装置精确测量薄膜的表面电阻。 构成：探头安装表面电阻测量样品（1）。 将测量样品的四个点连接到探针上以应用Van der Pauw方法。 电流源（20）连接到探针台的电流供应端。 电流源通过探测台向测量样品提供电流。 A / D转换器（30）连接到探测站的电压测量端，并放大测量电压中的测量电压。 CPU（40）控制电流源的电流，并且基于水平轴方向和垂直轴方向的电阻来计算表面电阻。
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公开(公告)号：KR1020110126878A
公开(公告)日：2011-11-24
申请号：KR1020100046373
申请日：2010-05-18
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An in situ calibration system for a current transformer at 50 Hz or 60 Hz is provided to directly calibrate a current transformer at 50 Hz or 60 Hz, thereby shortening calibration time. CONSTITUTION: A frequency conversion power supply device(10) converts a 50Hz or 60Hz frequency based on a usage purpose to adjust an output current. A transformer(20) generates a current. A standard current transformer(30) accurately checks an output current. A current transformer to be calibrated is equipment to be calibrated. A standard current comparator(50) is a calibrator. The standard current comparator generates a current which belongs to the current range of the current transformer to be calibrated at 50 Hz or 60 Hz.
Abstract translation: 目的：提供50 Hz或60 Hz电流互感器的原位校准系统，以直接校准50 Hz或60 Hz的电流互感器，从而缩短校准时间。 构成：变频电源装置（10）根据使用目的转换50Hz或60Hz频率以调整输出电流。 变压器（20）产生电流。 标准电流互感器（30）精确检查输出电流。 要校准的电流互感器是要校准的设备。 标准电流比较器（50）是校准器。 标准电流比较器产生属于要在50Hz或60Hz校准的电流互感器的电流范围的电流。
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公开(公告)号：KR1020110041129A
公开(公告)日：2011-04-21
申请号：KR1020090098173
申请日：2009-10-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: A calibration system for an mAs meter and calibration method using the calibration system are provided to measure and display a constant current generated in a constant current generating device and the voltage and current of power applied to the mAs meter to calibrate the mAs meter. CONSTITUTION: A calibration system for an mAs meter comprises a constant current generating device(10), a calibration device(20), and an mAs meter(30). The constant current generating device applies a constant current. The calibration device is connected to the constant current generating device. The calibration device measures and calculates applied currents and displays the measured and calculated values. An mAs meter receives power applied from the calibration device to calibrate an error displayed on the calibration device.
Abstract translation: 目的：提供使用校准系统的仪表和校准方法的校准系统，用于测量和显示恒定电流发生器件中产生的恒定电流以及施加到电流表上的电源电压和电流，以校准电流表。 构成：用于电表的校准系统包括恒流产生装置（10），校准装置（20）和电表（30）。 恒流发生装置施加恒定电流。 校准装置连接到恒流发生装置。 校准装置测量和计算施加电流并显示测量值和计算值。 mAs表接收从校准装置施加的电力，以校准校准装置上显示的错误。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020100049922A
公开(公告)日：2010-05-13
申请号：KR1020080108963
申请日：2008-11-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01F38/28
Abstract: PURPOSE: A system is provided to correct the ratio error and the phase error of a current transformer by confirming the demagnetizing state of the current transformer. CONSTITUTION: A current supplying device(10) supplies a current to a demagnetizing device(20). If a current transformer(50) is connected to the current supplying device, the demagnetizing device demagnetizes the flux of the current transformer by decreasing a current to 0A after reducing increasing a current more than 5A. A demagnetizing measuring device(30) measures the intensity of a current outputted from the demagnetizing device. A demagnetizing display device(40) displays a current outputted from the demagnetizing measure device.
Abstract translation: 目的：通过确认电流互感器的退磁状态，提供一个系统来校正电流互感器的比值误差和相位误差。 构成：电流供给装置（10）向去磁装置（20）供给电流。 如果电流互感器（50）连接到电流供给装置，则在减小电流大于5A的电流之后，通过将电流减小到0A来消磁电流变压器的磁通。 退磁测量装置（30）测量从退磁装置输出的电流的强度。 退磁显示装置（40）显示从去磁测量装置输出的电流。
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公开(公告)号：KR100953660B1
公开(公告)日：2010-04-20
申请号：KR1020080067689
申请日：2008-07-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R19/00
Abstract: 본 발명은 평행판 전극을 이용한 교류 초고전압 측정 장치에 관한 것으로 상세하게는 고전압 발생원의 전압교정용 교정장치로서, 고전압을 발생시키는 고전압 발생기와 연결되어 고전압 발생기에서 발생된 고전압의 기준전압을 측정하는 기준용 고전압 분압기의 분압비와; 상기 고전압을 발생시키는 고전압 발생기와 연결되어 개발된 고전압 분압기의 분압비를 상호 비교방식으로 교정하여 교류 고전압을 측정하는 장치를 포함하여 구성되는 평행판 전극을 이용한 교류 초고전압 측정장치에 관한 것이다.
교류 초고전압, 고전압 발생원, 평행판 전극, 교정, 고전압 분압기-
公开(公告)号：KR1020100007178A
公开(公告)日：2010-01-22
申请号：KR1020080067689
申请日：2008-07-11
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R19/00
CPC classification number: G01R19/155 , G01R1/04 , G01R1/28 , G01R15/04
Abstract: PURPOSE: A measurement apparatus of ac high voltage using parallel plates electrode is provided to measure the output voltage of the alternating current draft voltage generation circle. CONSTITUTION: The high voltage generator(10) occurs the high voltage. The standards high voltage divider(30) is connected to the high voltage generator. And the reference voltage of the high voltage is measured. The reference voltage measure system(34) measures the voltage-divided voltage in the standards high voltage divider. The parallel plate high voltage divider(20) measures the voltage which is connected to the high voltage generator and is created. The high voltage measure system(24) measures the high voltage which is connected to the parallel plate high voltage divider and is voltage-divided. The high voltage electrode(22) is installed In the bottom of the corona ring.
Abstract translation: 目的：提供使用平行板电极的交流高压测量装置，以测量交流电流产生电压的输出电压。 构成：高压发生器（10）发生高电压。 标准高压分压器（30）连接到高压发生器。 并测量高电压的参考电压。 参考电压测量系统（34）测量标准高压分压器中的分压电压。 并联板高压分压器（20）测量连接到高压发生器并产生的电压。 高压测量系统（24）测量连接到并联板高压分压器的高压，并分压。 高压电极（22）安装在电晕环的底部。
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公开(公告)号：KR1020090019947A
公开(公告)日：2009-02-26
申请号：KR1020070084261
申请日：2007-08-22
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/073 , G01R27/08 , G01R31/2601 , G01R31/2886
Abstract: A portable four point probe for measuring sheet resistance using dual configuration method is provided to perform accurate measurement regardless of size, shape, and measurement position of a sample. A portable four point probe is contacted on a surface of a sample. After a current is supplied to outside two pins, a voltage is measured by inside two pins. A first resistance is calculated. After a current is supplied to a first pin and a third pin of the portable four point probe, a voltage is measured in a second pin and a fourth pin. A second resistance is calculated. A sheet resistance is calculated by the first resistance and the second resistance.
Abstract translation: 提供了一种用于使用双重配置方法测量薄层电阻的便携式四点式探头，用于执行准确的测量，而不考虑样品的尺寸，形状和测量位置。 便携式四点探针在样品的表面上接触。 在两个引脚外部提供电流后，两个引脚内部测量电压。 计算第一个阻力。 在将电流提供给便携式四点探头的第一引脚和第三引脚之后，在第二引脚和第四引脚中测量电压。 计算第二个阻力。 通过第一电阻和第二电阻计算薄层电阻。
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公开(公告)号：KR100880395B1
公开(公告)日：2009-01-30
申请号：KR1020070064852
申请日：2007-06-29
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01R31/00
Abstract: 본 발명은 중전기기 산업체에 구비되어 전압변성기의 비오차와 위상각 오차를 측정하는 전압변성기 비교측정 장치의 현장 평가 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 산업체에서 활용되고 있는 전압변성기 비교 측정 장치가 올바로 작동이 되는지를 평가하기 위해 이동이 용이한 표준기를 이용하여 전압변성기 비교측정 장치를 구성하고 있는 산업체의 표준 전압변성기와 전압비교기 및 전압변성기용 부담을 각각 현장에서 직접 평가할 수 있는 방법에 관한 것이다.
전압변성기, 중전기기, 비교측정 장치, 부담, 현장
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