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公开(公告)号：KR1020110039687A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：KR1020090096641
申请日：2009-10-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/27 , G01N33/483 , G01B11/24
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for surface Plasmon resonance imaging ellipsometry are provided to enable a user to clearly and accurately observe the shape of samples and the attachment position of cells. CONSTITUTION: An apparatus for surface Plasmon resonance imaging ellipsometry comprises an elliptical polarized light supplying part and a surface plasmon resonance sensor. The an elliptical polarized light supplying part has a light source(10), a polarizer(12), and a phase delay unit. The polarizer generates linearly polarized light in the light source. The phase delay unit forms elliptical polarized light by phase-delaying the linearly polarized light emitted from the polarizer. The surface plasmon resonance sensor has a prism(21) and a metallic foil(23).
Abstract translation: 目的：提供一种用于表面等离子体共振成像椭偏仪的装置和方法，以使用户能够清楚和准确地观察样品的形状和细胞的附着位置。 构成：用于表面等离子体共振成像椭偏仪的装置包括椭圆偏振光供给部和表面等离子体共振传感器。 椭圆偏振光供给部分具有光源（10），偏振器（12）和相位延迟单元。 偏振片在光源中产生线性偏振光。 相位延迟单元通过相位延迟从偏振器发射的线性偏振光来形成椭圆偏振光。 表面等离子体共振传感器具有棱镜（21）和金属箔（23）。
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公开(公告)号：KR1020090049951A
公开(公告)日：2009-05-19
申请号：KR1020070116334
申请日：2007-11-14
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01B11/0641 , G01N21/211 , G01N21/8422 , G01J3/447
Abstract: The present invention relates to The present invention relates to an ellipsometer, and more particularly, to a linear focused-beam ellipsometer which linearly focuses a light on a specimen using a cylindrical optical system and then measures variation in polarization state of the reflected light. A light split by the beam splitting part is linearly focused onto a plurality of specimens and variation in polarization state of the reflected light is measured with respect to multiple angles of incidence. Therefore, it is possible to measure a plurality of specimens at the same time.
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24.发明公开
公开(公告)号：KR1020150025745A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：KR1020130103738
申请日：2013-08-30
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/211 , G01J4/04 , G01N2021/213 , G01N2201/061 , G01N2201/0633 , G01N2201/0683 , G01N2201/11 , G01J4/00 , G01N21/27
Abstract: 본 발명은 임의의 시료에 대한 뮬러 행렬 성분들 중에서 전부 또는 일부를 종래의 이중-광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기들의 광원의 잔류 편광 및 광검출기의 편광 의존성과 고차항의 푸리에 계수들의 측정값 때문에 생기는 측정 정확도 및 측정 정밀도의 문제점을 해결하기 위한 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기를 제공하고자 하는 것이다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供一种用于解决由常规双旋转元件穆勒矩阵椭偏仪的光源的剩余偏振光引起的测量精度和精度问题的旋转元件Mueller矩阵椭偏仪; 光检测器的极化依赖性; 以及特定样品的穆勒矩阵物质的全部或部分中的高阶傅里叶系数的测量值。
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公开(公告)号：KR101127210B1
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：KR1020090096641
申请日：2009-10-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/27 , G01N33/483 , G01B11/24
Abstract: 본 발명은 표면 플라즈몬 공명 결상 타원 계측기 및 표면 플라즈몬 공명 결상 타원 계측방법에 대한 것이다. 보다 구체적으로, 광을 P파와 S파의 조합으로 이루어진 선편광으로 방출하고, 방출된 선편광을 위상지연하여 타원 편광 입사광을 제공하는 타원 편광 제공부; 타원 편광 제공부에서 발생된 타원 편광 입사광이 입사되고, 타원 편광 입사광에 의해 표면 플라즈몬 공명이 여기되고, 플라즈몬 소장 장 내에 시료를 포함하며, 타원 편광 입사광이 반사되어 시료의 특성에 따라 편광된 반사광을 방출하는 표면 플라즈몬 공명 센서; 및 플라즈몬 공명 센서에서 방출된 반사광이 입사되고, 시료의 형상 및 플라즈몬 공명 센서의 공명 조건을 관찰할 수 있도록 반사광을 검출하는 검출수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 플라즈몬 공명 결상 타원 계측기이다.
결상 타원 계측기, 표면 플라즈몬 공명, 편광기, P파, S파, 위상지연수단, 프리즘, 금속박막, 세로발, 기질-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101029473B1
公开(公告)日：2011-04-18
申请号：KR1020080119912
申请日：2008-11-28
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/552 , G01N21/25 , G01N21/00
CPC classification number: G01N21/553 , G01N2021/212
Abstract: 본 발명은 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 관한 것으로, 다중입사면/다중입사각 측정법을 사용한 수직입사형 초점타원 계측기와 표면플라즈몬 공명을 일으키는 금속시료를 이용하여 표면 플라즈몬 공명각과 타원계측 위상변화를 동시에 검출하는 것을 특징으로 하며, 보다 상세하게는 편광자, 검광자를 이용한 초점타원계측기와 표면 플라즈몬 공명 센서부(혹은 고 개구수 대물렌즈, 굴절률 매칭물질, 금속박막이 증착된 유리기판)를 결합하여 실시간으로 표면 플라즈몬 공명(Surface Plasmon Resonance: SPR) 측정이 가능하도록 한 고감도 측정기술이다.
이를 위하여 본 발명의 초점타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치는 광원(10), 발생된 빛을 편광시키는 편광자(20), 편광된 빛을 분할하는 광분할기(30), 분할된 일부의 편광을 금속박막(42)에 집속시키는 대물렌즈(41.43), 상기 금속박막(42)으로부터 반사된 빛을 편광시키며 편광된 빛을 검출하는 검광수단(50), 편광된 빛의 진폭과 위상을 검출하여 각도변화에 의한 표면 플라즈몬 공명과 타원계측 위상변화를 동시에 검출하는 광검출기(60), 검출된 표면 플라즈몬 공명과 타원계측 위상변화를 연산처리하는 연산처리장치(70)를 포함하는 수직입사형 초점타원 계측기(미도시됨); 초점타원계측기의 대물렌즈(43)와 결합하여 편광된 빛의 각도변화에 의한 표면 플라즈몬 공명을 일으키는 금속박막(42)을 포함하는 표면 플라즈몬 공명 센서부(40); 표면플라즈몬을 일으키는 금속박막에 흡착 혹은 탈착을 일으키는 바이오 물질을 포함한 완충(Buffer)용액을 보급하는 유로장치(1); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명은 광의 진폭과 위상을 동시에 측정하여 표면 플라즈몬 공명 측정각과 타원계측 위상변화를 동시에 측정함으로써 바이오 물질의 접합특성 및 접합 동특성을 실시간으로 측정할 수 있으며, 위상변화가 민감한 최적의 표면 플라즈몬 공명(Surface Plasmon Resonance: SPR) 조건에서 측정할 수 있어 기존의 반사율만을 이용한 표면 플라즈몬 공명 측정보다 고감도 측정이 가능하게 된다.
수직입사형, 초점타원계측, 다중입사각, 다중입사면, 표면 플라즈몬 공명 측정장치, SPR, 고 개구수 대물렌즈, 굴절률 매칭 물질, 초점 타원계측기-
公开(公告)号：KR101012056B1
公开(公告)日：2011-02-01
申请号：KR1020080120134
申请日：2008-11-28
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/21 , G01N21/552
CPC classification number: G01N21/553 , G01N2021/212
Abstract: 본 발명은 다채널 타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다중입사각 측정법을 사용한 수직입사형 초점타원계측기와 표면 플라즈몬 공명 센서부(혹은 고 개구수 대물렌즈, 굴절률 매칭물질, 금속박막이 증착된 유리기판)를 결합하여 다채널 미세유로를 갖는 시료의 실시간 표면 플라즈몬 공명(Surface Plasmon Resonance: SPR) 측정이 가능하도록 한 고감도 측정기술이다.
이를 위하여 본 발명의 다채널 타원계측 표면 플라즈몬 공명 측정장치는 광원(10), 발생된 빛을 편광시키는 제 1 편광자(20), 편광된 빛을 분할하는 광분할기(30), 분할된 일부의 편광을 금속박막(42)에 집속시키는 대물렌즈(41.43), 상기 금속박막(42)으로부터 반사된 빛을 편광시키며 편광된 빛을 검출하는 편광검출부(50), 상기 편광검출부(50)에 의해 검출된 빛을 결상하는 결상기(60), 편광된 빛의 진폭과 위상을 검출하여 각도변화와 위치변화에 의한 다채널 표면 플라즈몬 공명과 타원계측 위상변화를 동시에 검출하는 광검출기(70), 검출된 표면 플라즈몬 공명과 타원계측 위상변화를 연산처리하는 연산처리장치(80)를 포함하는 수직입사형 초점타원 계측기(미도시됨);
초점타원계측기의 대물렌즈(43)와 결합하여 편광된 빛의 각도변화에 의한 표면 플라즈몬 공명을 일으키는 금속박막(42)을 포함하는 표면 플라즈몬 공명 센서부(40);
표면플라즈몬을 일으키는 금속박막에 흡착 혹은 탈착을 일으키는 바이오 물 질을 포함한 완충(Buffer)용액을 보급하는 다채널 유로장치(1);
를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명은 다채널을 갖는 시료의 측정이 용이하며, 광의 진폭과 위상을 동시에 측정하여 각도변화와 위치변화에 의한 다채널 표면 플라즈몬 공명 측정과 타원계측 위상변화를 동시에 측정함으로써 바이오 물질의 접합특성 및 접합 동특성을 실시간으로 측정할 수 있으며, 위상변화가 민감한 최적의 표면 플라즈몬 공명(Surface Plasmon Resonance: SPR) 조건에서 측정할 수 있어 기존의 반사율만을 이용한 표면 플라즈몬 공명 측정보다 고감도 측정이 가능하게 된다.
다채널, 초점타원계측, 표면 플라즈몬 공명, 측정장치, SPR, 고 개구수 대물렌즈, 굴절률 매칭 물질, 타원계측기-
公开(公告)号：KR1020100135121A
公开(公告)日：2010-12-24
申请号：KR1020090053593
申请日：2009-06-16
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/211 , G02B27/143
Abstract: PURPOSE: An ellipsometer using a half mirror is provided to analyze the exact property of matter by preventing optical interference due to a beam splitter. CONSTITUTION: An ellipsometer using a half mirror comprises a light source device(210), a polarized light device(220), a half mirror(230), an objective lens(240), an analyzer(260), and an optical detector(270). The polarized light device makes polarized light emitted from the light source device into a linear polarized light. The half mirror reflects the light passing through the polarized light device. The objective lens focuses light reflected from the half mirror to a specimen(250). The optical detector comprises a unit element for detecting the distribution of the intensity of the light passing through the analyzer.
Abstract translation: 目的：提供使用半反射镜的椭圆光度计，通过防止由于分束器引起的光学干扰来分析物质的确切属性。 构成：使用半反射镜的椭偏仪包括光源装置（210），偏振光装置（220），半反射镜（230），物镜（240），分析器（260）和光学检测器 270）。 偏振光装置使从光源装置发出的偏振光成为线偏振光。 半反射镜反射通过偏振光装置的光。 物镜将从半反射镜反射的光聚焦到样品（250）。 光学检测器包括用于检测通过分析器的光的强度分布的单位元件。
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公开(公告)号：KR1020090049954A
公开(公告)日：2009-05-19
申请号：KR1020070116340
申请日：2007-11-14
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초점 타원계측부에서 시편의 특성을 고속으로 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 보다 상세하게 측정하는 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 초점 타원계측부; 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 다시 원자 단위까지 측정하는 정밀측정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치를 제공한다. 상기 고속 대면적 정밀측정 장치는 초점 타원계측부에서 고속으로 시편의 광학적 특성을 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 다시 세밀하게 측정함으로써 시편의 광학적 특이점을 신속하고 정밀하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
타원계측기, SPM, 탐침-
公开(公告)号：KR1020050075094A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：KR1020040002880
申请日：2004-01-15
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/21
CPC classification number: G01J3/447 , G01J4/04 , G01N21/211 , G01N21/15 , G01N23/2076 , G03H2222/17
Abstract: An ellipsometry system and method using spectral imaging are provided. The ellipsometry system includes a light source group for projecting a white light collimated to a multi-point region defined on the surface of a sample, a light analysis group for polarizing a reflected white light to analyze it, and a spectral imaging group for dispersing and imaging the polarized white light. The white light collimated to the multi-point region is input to the spectral imaging group and dispersed by a light dispersing means by wavelengths such that the dispersed lights are imaged on one axis of an imaging plane by the points forming the multi-point region and imaged on the other axis of the imaging plane by wavelengths, to obtain optical data having information about the physical property of the points and wavelengths. Accordingly, a large amount of data can be obtained by wavelengths and points to improve rapidity and reliability of measurement.
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