증착용 불소계고분자 복합 타겟
    21.
    发明公开
    증착용 불소계고분자 복합 타겟 无效
    用于沉积的氟聚合物复合材料目标

    公开(公告)号:KR1020160092947A

    公开(公告)日:2016-08-05

    申请号:KR1020160010440

    申请日:2016-01-28

    Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明,用于射频(RF)溅射的氟聚合物复合靶在与施加电压相关的金属电极的粘合性方面优异,并且防止弯曲形成。 此外,通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此,氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿,同时显示出优异的沉积速率。 为此,通过模塑含有选自氟聚合物,导电性功能剂和金属化合物中的至少一种成分的混合物来制造含氟聚合物复合靶。

    증착용 불소계고분자 복합 타겟
    22.
    发明公开
    증착용 불소계고분자 복합 타겟 无效
    用于沉积的氟聚合物复合材料目标

    公开(公告)号:KR1020160092904A

    公开(公告)日:2016-08-05

    申请号:KR1020150131751

    申请日:2015-09-17

    Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明,用于射频(RF)溅射的含氟聚合物复合靶在与施加电压相关的金属电极的粘合中是优异的,并且防止弯曲形成。 此外,通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此,氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿,同时显示出优异的沉积速率。 为此,通过模塑含有选自氟聚合物,导电颗粒,导电聚合物,金属组分和金属化合物中的至少一种官能剂的混合物来制备含氟聚合物复合靶。

    은이 담지된 다공성 복합흡착제 및 그의 제조방법
    23.
    发明授权
    은이 담지된 다공성 복합흡착제 및 그의 제조방법 有权
    Ag浸渍的多孔抗菌吸附剂及其制备方法

    公开(公告)号:KR100865974B1

    公开(公告)日:2008-10-30

    申请号:KR1020070026944

    申请日:2007-03-20

    Abstract: 본 발명은 다공성 복합흡착제 및 그의 제조방법과 이로부터 제조된 필터에 관한 것이다.
    상기 다공성 복합흡착제는 유효금속을 담지하여 개질된 다공성 흡착체와 은이 담지된 항균 다공성 흡착체를 포함하는 것으로 유효금속을 담지하여 개질된 다공성 흡착체는 산 처리로 생성된 산화성 관능기로 유해가스 처리력이 증대되고, 은이 담지된 항균 다공성 흡착체는 은의 항균성을 나타내고 기존의 약한 흡착력으로 인하여 재탈착 되었던 문제를 방지하고 흡착제의 짧은 교체기를 해결하는 것이다.
    은, 다공성흡착제, 유효금속, 소성, 항균, 황화수소, 알데히드, 염화수소, 악취 유해가스, 산화처리

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