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公开(公告)号：KR1020160092947A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020160010440
申请日：2016-01-28
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于射频（RF）溅射的氟聚合物复合靶在与施加电压相关的金属电极的粘合性方面优异，并且防止弯曲形成。 此外，通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此，氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿，同时显示出优异的沉积速率。 为此，通过模塑含有选自氟聚合物，导电性功能剂和金属化合物中的至少一种成分的混合物来制造含氟聚合物复合靶。
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公开(公告)号：KR1020160092904A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020150131751
申请日：2015-09-17
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及用于沉积的氟聚合物复合靶。 根据本发明，用于射频（RF）溅射的含氟聚合物复合靶在与施加电压相关的金属电极的粘合中是优异的，并且防止弯曲形成。 此外，通过施加电导率也可以产生更加增强的等离子体。 因此，氟聚合物复合材料靶材防止含氟聚合物的电击穿，同时显示出优异的沉积速率。 为此，通过模塑含有选自氟聚合物，导电颗粒，导电聚合物，金属组分和金属化合物中的至少一种官能剂的混合物来制备含氟聚合物复合靶。
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公开(公告)号：KR101906301B1
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：KR1020170149120
申请日：2017-11-10
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: H01J37/3429 , C23C14/12 , C23C14/3414 , H01J37/3491
Abstract: 본발명에따른스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써산업적으로널리사용되는 DC 및 MF 전원방식으로도안정적으로플라즈마의형성이가능하여불소계고분자를효과적으로피착체에스퍼터링증착이가능한불소계고분자복합타겟을제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170126681A
公开(公告)日：2017-11-20
申请号：KR1020160057039
申请日：2016-05-10
Applicant: 한국화학연구원
IPC: G01N11/02 , G01N11/00 , G01N33/487
Abstract: 본발명은건조공정모사가가능한유변물성측정용지오메트리에관한것으로, 보다자세히는회전형레오미터와함께사용되어시료의건조과정중의유변물성을측정하는것으로, 종래에비해시료와접촉하는면적이넓고, 내구성이향상되어보다정확한힘을전달할수 있어저점도시료의유변물성측정에도용이하며, 원형의판 형태로, 상기레오미터의하단부에설치되고, 상측으로돌출형성된림돌출부(120) 및원의중심에서상측으로돌출형성된돌출부(121)를포함하며, 상기림돌출부(120)와돌출부(121) 사이에형성된수용부(110)에측정대상의시료가담기는하단툴(100) 및상기하단부와마주보는상단부에설치되고, 유변물성측정시하측끝단이상기시료에접촉하거나잠기는상단툴(200)을포함하며, 상기하단툴(100) 또는상단툴(200)은상기레오미터에의해회전하고, 상기레오미터의회전축에동축정렬되는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种几何形状用于干燥过程模拟是可能的流变性质测量，更详细地，一旦在与典型的流变仪结合通过测定样品，该区域的干燥过程的流变性能用与样品宽的常规接触比较中使用 边缘突起120设置在流变仪的下端并向上突出，边缘突起120的中心向上突出。 容纳待测试样品的下部工具100在形成于边缘突出部120和突出部121之间的容纳部分110中，以及下部工具100， 被设置在观看上端，当测得的流变性质包括在移相器样品，下部工具100或上部工具200并通过eunsanggi流变仪旋转的下端与上部工具200接触或浸渍，所述流变仪 在议会的前线 特征在于，所述轴向对准。
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公开(公告)号：KR1020170092758A
公开(公告)日：2017-08-14
申请号：KR1020160013829
申请日：2016-02-04
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은고경도특성을가지는투명하드코팅막및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게우수한투명성, 내스크레치성, 발수성, 방오성, 내지문성을부여할수 있는고경도특성의투명하드코팅막및 이의제조방법에관한것이다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170074008A
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：KR1020150182969
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국화학연구원
IPC: D06M15/277 , D06M11/74 , D06M15/00 , D06M11/42 , D06M11/46 , D06M11/47 , D06M11/48 , D06M11/49 , D06M11/83 , D06B1/14 , D06B3/10
Abstract: 본발명은수분에대한발수성이탁월한탄화불소박막을포함하는초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게본 발명은섬유직물에대한접착력이우수하고, 섬유직물표면에나노크기의두께로출력전압에상관없이스퍼터링법으로코팅하여섬유직물표면을초발수특성을가지도록가공된초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种超疏水涂料纤维和它们的制备方法，包括优异的碳氟化合物薄膜斥水，至厚度纳米尺寸纤维表面yiwoosu的，和粘附到本详细越发明纤维 无论输出电压如何，用溅射法涂覆的防水涂层纤维，以及在其表面上具有超疏水性能的防水涂层纤维及其制备方法。
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公开(公告)号：KR101817679B1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：KR1020150182969
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국화학연구원
IPC: D06M15/277 , D06M11/74 , D06M15/00 , D06M11/42 , D06M11/46 , D06M11/47 , D06M11/48 , D06M11/49 , D06M11/83 , D06B1/14 , D06B3/10
Abstract: 본발명은수분에대한발수성이탁월한탄화불소박막을포함하는초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것으로, 보다상세하게본 발명은섬유직물에대한접착력이우수하고, 섬유직물표면에나노크기의두께로출력전압에상관없이스퍼터링법으로코팅하여섬유직물표면을초발수특성을가지도록가공된초발수코팅섬유및 이의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020170140148A
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：KR1020170171497
申请日：2017-12-13
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C23C14/3407 , C23C14/06 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/08 , C23C14/12 , C23C14/14 , C23C14/3414 , C23C14/3471 , H01B1/04 , H01B1/124
Abstract: 본발명에따른 RF 스퍼터링용불소계고분자복합타겟은전압을인가하는금속전극과의접합력이우수하고, 휨발생을억제할수 있으며, 전도성을부여함으로써향상된플라즈마형성이가능하여불소계고분자의절연파괴를방지및 우수한증착율을나타낼수 있다.
Abstract translation: 用于RF氟化聚合物复合物靶溅射按照金属电极之间的本发明yiwoosu结合力用于施加电压，能够抑制翘曲，能够提高通过施加导电防止和含氟聚合物的优异的介电击穿形成的等离子体 可以指示沉积速率。
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公开(公告)号：KR1020170138722A
公开(公告)日：2017-12-18
申请号：KR1020160070885
申请日：2016-06-08
Applicant: 한국화학연구원
Abstract: 본발명은스퍼터링용불소계고분자복합타겟의부착방법및 이로부터제조된장치에관한것으로, 본발명에따르면전극면에접합되는불소계고분자복합타겟에전도성을부여함으로써전극과의접착력을획기적으로개선하였으며, 탭가공을통해강한에너지에의해발생되는타겟의변형을최소화하여보다안정적으로플라즈마형성이가능하고, 단시간내에대면적박막의제조가가능한롤투롤공정의구현을가능케한다.
Abstract translation: 本发明涉及从附着和溅射对象的基于氟的聚合物化合物中的方法制造的装置中，根据本发明的通过给导电性，其中键合到电极表面被显着地提高在电极之间的粘合力的含氟聚合物复合物靶， 通过使通过轻敲产生的强能量引起的靶的变形最小化，并且实现能够在短时间内制造大面积薄膜的卷对卷（roll-to-roll）工艺，可以更稳定地形成等离子体。
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