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公开(公告)号：KR101337967B1
公开(公告)日：2013-12-09
申请号：KR1020110068782
申请日：2011-07-12
Applicant: (주)세온
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본 발명은 굽힘 가공성을 가지는 저저항 고투과율 FTO 투명전도막 제조 방법으로, 불소가 도핑된 산화주석 투명전도막을 상압 CVD 및 스프레이 파이로졸법에 의하여 투명기판위에 증착하는 단계; 상기 불소가 도핑된 산화주석 박막을 air 분위기하에서 후 열처리하여 곡면가공 또는 굽힘성형하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020130008191A
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110068783
申请日：2011-07-12
Applicant: (주)세온
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a FTO(Fluorine Doped Tin Oxide) transparent conductive film with nonlinear continuous transfer device is provided to improve the uniformity of a thin film on a curved substrate by transferring a glass substrate to a pre-heating chamber, deposition chamber, and a annealing heat chamber by stages. CONSTITUTION: A pre-heating unit(2), a deposition unit(1), and an annealing heat chamber(3) are connected to a nonlinear transfer apparatus. The nozzle unit is attached to a complex shaped substrate at a right angle. An exhaust unit is installed at the side of a nozzle. The substrate is heated and surface-processed, and moved to the deposition unit. A FTO free cursor is sprayed through the nozzle of the deposition unit. The FTO free cursor reaches the substrate through the FTO free cursor. An even curved surface FTO film is formed. A curved substrate with FTO is rapidly cooled in an annealing heat unit. [Reference numerals] (2) Pre-heating unit; (3) Annealing part; (4) Air knife(Air curtain); (5) Tension device; (6) Mist supply; (7) Exhaust
Abstract translation: 目的：提供一种制造具有非线性连续转印装置的FTO（氟掺杂氧化锡）透明导电膜的方法，以通过将玻璃基板转移到预热室，沉积室来提高弯曲基板上的薄膜的均匀性 ，和退火加热室。 构成：预热单元（2），沉积单元（1）和退火加热室（3）连接到非线性传送装置。 喷嘴单元以直角连接到复杂形状的基板。 排气单元安装在喷嘴的侧面。 将衬底加热并进行表面处理，并移动到沉积单元。 FTO自由光标通过沉积单元的喷嘴喷射。 FTO自由光标通过FTO自由光标到达基板。 形成均匀的曲面FTO膜。 具有FTO的弯曲基板在退火加热单元中快速冷却。 （附图标记）（2）预热单元; （3）退火部件; （4）气刀（气帘）; （5）张力装置; （6）雾化供应; （7）排气
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公开(公告)号：KR101171265B1
公开(公告)日：2012-08-07
申请号：KR1020100055440
申请日：2010-06-11
Applicant: (주)세온
Abstract: 초유연 기판을 물리적으로 안정화시키고, 상기 물리적으로 안정화된 초유연 기판상 기상공정을 이용하여 투명전도막을 형성하는 방법. 상기 초유연 기판을 물리적으로 안정화시키는 방법은 (1) 누름, 하중, 물리적 체결과 같은 물리적 고정화
(2) 자기력, 전자기력과 같은 전자기력적 고정화, (3) 접착제, 바인더, 페이스트와 같은 화학적 고정화, (4) 감압, 진공과 같이 유체역학적 고정화 중 어느 하나의 기판 고정화 방법으로 안정화시킨 후, 초유연 기판상 투명전도막을 형성하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020110014290A
公开(公告)日：2011-02-11
申请号：KR1020090071847
申请日：2009-08-05
Applicant: (주)세온
Inventor： 송철규
IPC: C03C17/36
CPC classification number: C03C17/253 , C03C17/3678 , C03C23/007 , C03C2218/112
Abstract: PURPOSE: An apparatus for manufacturing a uniform fluorine-containing tin oxide thin film is provided to easily form an FTO thin film with improved electrical characteristics and properties under the atmospheric pressure. CONSTITUTION: An apparatus(300) for manufacturing a uniform fluorine-containing tin oxide thin film uses one method selected from spray coating, ultrasonic wave spray coating, or ultrasonic wave spray methods. The apparatus for manufacturing a uniform fluorine-containing tin oxide thin film includes a deposition chamber(320) so that an FTO precursor droplet flows into a substrate(325) in parallel and is deposited. The deposition chamber includes a spraying portion(322) and a discharging portion(324).
Abstract translation: 目的：提供一种制造均匀的含氟氧化锡薄膜的装置，以容易地形成在大气压下具有改善的电特性和性能的FTO薄膜。 构成：用于制造均匀的含氟氧化锡薄膜的装置（300）使用选自喷涂，超声波喷涂或超声波喷射法的一种方法。 用于制造均匀的含氟氧化锡薄膜的装置包括沉积室（320），使得FTO前驱液滴平行流入基板（325）并沉积。 沉积室包括喷射部分（322）和排放部分（324）。
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25.发明公开FTO/폴리이미드 필름 상 금속 배선 구조 및 FTO/폴리이미드 필름 상 금속 배선 방법 无效FTO / PolyImide膜的金属图案形成结构以及用于FTO / PolyImide膜的金属图案化方法
公开(公告)号：KR1020150033781A
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：KR1020130112686
申请日：2013-09-23
Abstract: 본발명은「폴리이미드유연기판에 FTO 투명전도막이코팅된 FTO/폴리이미드필름상에형성된금속배선구조로서, 상기 FTO/폴리이미드필름상에형성된라인형태의음각부; 상기음각부상에임의의간격과패턴으로형성되되상기폴리이미드유연기판의일정깊이까지파인다수개의홈; 및상기음각부및 상기다수개의홈에충전된금속;을포함하여구성되어, 상기금속이배선을이루되상기다수개의홈에충전된부분이핀형구조를이루고있는것을특징으로하는 FTO/폴리이미드필름상 금속배선구조」및 「(a) 폴리이미드유연기판에 FTO 투명전도막이코팅된 FTO/폴리이미드필름을준비하는단계; (b) 레이저스크라이빙(laser scribing)을통해상기 FTO 투명전도막을필요한부분만큼깎아내어라인형태의음각부를형성시키는단계; (c) 상기음각부상에임의의간격과패턴으로레이저를조사(照射)하여상기폴리이미드유연기판의일정깊이까지파인다수개의홈을형성시키는단계; 및 (d) 상기음각부및 상기다수개의홈에금속을충전시키는단계;를포함하는 FTO/폴리이미드필름상 금속배선방법」을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及在聚酰亚胺柔性基板上涂覆有FTO透明导电膜的FTO /聚酰亚胺膜上形成的金属布线结构。 FTO /聚酰亚胺膜上的金属图案形成结构包括：形成在FTO /聚酰亚胺膜上的线状的凹部; 多个凹槽以一定的图案形成并以一定的间隔形成在凹部上，并在聚酰亚胺柔性基板上凹陷一定的深度; 和填充在凹部和凹槽中的金属。 因此，金属形成布线并且填充在凹槽中的部分是销状结构。 另外，在FTO /聚酰亚胺膜上提供金属配线方法，其特征在于，包括以下步骤：（a）在聚酰亚胺柔性基板上制备涂布有FTO透明膜的FTO /聚酰亚胺膜; （b）通过激光划线将FTO透明膜与所需部分相切形成线状凹部; （c）通过以一定的图案和一定的间隔将激光照射到凹部来形成在聚酰亚胺柔性基板上凹陷一定深度的多个凹槽; 和（d）在所述凹部和所述槽中填充金属。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140140683A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：KR1020130061243
申请日：2013-05-29
Applicant: (주)세온
IPC: H01B13/00
CPC classification number: H01L31/1884 , H01L31/022466 , Y02E10/50
Abstract: 불소가 도핑된 고투과율의 산화 주석 박막 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 불소가 도핑된 고투과율의 산화 주석 박막 제조 방법은 SnCl
4 ㆍ5H
2 O, SnCl
2 및 SnCl
2 ·2H
2 O 중 어느 하나와 NH
4 F, HF 및 acetyl fluoride 중 어느 하나를 용매에 혼합하여 F/Sn의 몰비가 0.4~1.4인 프리커서(precursor) 용액을 제조하는 단계; 및 기판 상에 상기 제조된 상기 프리커서 용액을 분사하여 상기 기판 상에 불소가 도핑된 산화 주석 박막(FTO)을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 프리커서 용액을 제조하는 단계는 물에 5~20%의 에탄올을 포함하는 용매를 이용하여 상기 프리커서 용액을 제조함으로써, 가시 광선 영역 뿐만 아니라 자외선 영역과 적외선 영역에서의 투과율을 높이고, 헤이즈(haze)를 향상시킬 수 있다.Abstract translation: 公开了一种制造具有高透射率的氟掺杂氧化锡膜的方法。 根据本发明实施方案的制造具有高透射率的氟掺杂氧化锡膜的方法包括以下步骤：通过混合一种方法制备摩尔比F / Sn在0.4-1.4范围内的前体溶液 SnCl_4·5H_2O，SnCl_2和SnCl_2·2H_2O，NH4F，HF和乙酰氟中的一种与溶剂; 以及通过将前体溶液喷涂在基材上而在基材上形成氟掺杂的氧化锡膜（FTO），其中通过在前体的制备步骤中使用含有5-20％的乙醇水溶液来制备前体溶液 溶液，因此可以增加紫外线区域和红外区域的透射率以及可见光区域，并且可以提高雾度。
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公开(公告)号：KR101385235B1
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：KR1020120086692
申请日：2012-08-08
IPC: B23K26/36 , H01B13/00 , H01L31/18 , H01L31/042
CPC classification number: Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 레이저 빔을 이용하여 기판 위에 코팅된 투명전도막을 선폭 30㎛ 이하의 도선이 형성되도록 패터닝하는 방법에 관한 것이다.
본 발명은 「(a) 투명전도막이 코팅된 기판을 준비하는 단계; (b) 광폭(廣幅) 레이저 빔으로 남겨져야 하는 투명전도선 부분 주위에 여유면을 두고 상기 투명전도막을 깎아내는 단계; (c) 협폭(狹幅) 레이저 빔으로 상기 여유면을 깎아내는 단계; 를 포함하는 레이저 스크라이빙 기술을 이용한 투명전도막 미세 패터닝 방법」을 제공한다.-
公开(公告)号：KR101279610B1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：KR1020110040093
申请日：2011-04-28
Applicant: (주)세온
IPC: H01L21/205 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/40
Abstract: 투명 하드기판 및 플렉시블 기판 코팅 방법에 있어서, 두 개의 롤이 수평으로 배치되고, 한 롤에서 필름이 공급되고 다른 롤에서 필름이 감기는 장치를 구비하고, 상기 롤과 롤이 이루는 평면과 동일한 평면의 90도 방향에 원료급기 및 배기노즐을 설치하고, 기판의 진행방향에 대하여 평면의 90도 방향에서 원료가 공급되고, 급기 노즐과 배기 노즐의 중심위치를 연결한 선이 기판이 위치한 면의 위치와 일치되고, 이에따라 상하면에 균일하게 원료가스가 공급되어 양면이 동일한 두께의 막을 코팅하는 단계로 구성되는 단계를 가짐에 따라, 투명 하드 기판 및 플렉시블 기판의 양면에 동시에 세라믹 코팅을 수행하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020130063891A
公开(公告)日：2013-06-17
申请号：KR1020110130509
申请日：2011-12-07
Applicant: (주)세온
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a low resistance-high transmittance flexible FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) transparent conductive film having a carbon nanotube is provided to coat a previously formed carbon nanotube composite material as a functional layer, thereby improving an adhesive force between a plastic substrate and a metal oxide thin film. CONSTITUTION: A method for manufacturing a low resistance-high transmittance flexible FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) transparent conductive film having a carbon nanotube includes the following steps: a step of coating a carbon nanotube composite material layer as a functional layer on a heat resistant polymer film substrate; a step of coating a metal oxide film on a polymer film having the carbon nanotube; and a step of forming the FTO transparent conductive film on the composite material layer. The carbon nanotube composite material layer is coated by one of a spray coating method, a spin coating method, the casting method of a doctor blade, a gravure coating method, and a roll-to-roll coating method. A ratio between the weight of the carbon nanotube and the total weight of an alkali developable polymer and a photopolymer compound is 1:10 to 1:1000 based on a solid content.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造具有碳纳米管的低电阻 - 高透光性柔性FTO（氟掺杂氧化锡）透明导电膜的方法，以涂覆预先形成的碳纳米管复合材料作为功能层，由此提高了 塑料基板和金属氧化物薄膜。 构成：制造具有碳纳米管的低电阻 - 高透射率柔性FTO（氟掺杂氧化锡）透明导电膜的方法包括以下步骤：将碳纳米管复合材料层作为功能层涂覆在热层上的步骤 耐高温膜基材; 在具有碳纳米管的聚合物膜上涂覆金属氧化物膜的步骤; 以及在复合材料层上形成FTO透明导电膜的步骤。 碳纳米管复合材料层通过喷涂法，旋涂法，刮刀的浇铸法，凹版涂布法和辊对辊涂布法中的一种进行涂布。 基于固体成分，碳纳米管的重量与碱显影性聚合物和光聚合物的总重量之比为1:10〜1:1000。
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公开(公告)号：KR1020130008190A
公开(公告)日：2013-01-22
申请号：KR1020110068782
申请日：2011-07-12
Applicant: (주)세온
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/042 , H01B1/08
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a FTO(Fluorine Doped Tin Oxide) transparent conductive film with bending machinability is provided to improve electric characteristics, light transmittance, surface morphology, and film crystallinity. CONSTITUTION: A FTO transparent conductive film is doped with fluorine. The FTO transparent conductive film is deposited on a transparent substrate. The FTO transparent conductive film is deposited by atmospheric CVD(Chemical Vapor Deposition) and spray pyrosol methods. A tin oxide thin film is thermally processed under an AIR mood. A tin oxide thin film is surface-machined or bend-formed. [Reference numerals] (AA) Temperature; (BB) Time; (CC) Temperature rising; (DD) Retention; (EE) Slow cooling
Abstract translation: 目的：提供具有弯曲加工性的FTO（氟掺杂氧化锡）透明导电膜的制造方法，以改善电特性，透光率，表面形态和膜结晶度。 构成：FTO透明导电膜掺杂氟。 FTO透明导电膜沉积在透明基板上。 通过大气CVD（化学气相沉积）和喷雾热解法沉积FTO透明导电膜。 氧化锡薄膜在AIR气氛下热处理。 氧化锡薄膜被表面加工或弯曲形成。 （标号）（AA）温度; （BB）时间; （CC）升温; （DD）保留; （EE）缓慢冷却
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