적층 장치 및 적층 방법
    27.
    发明公开
    적층 장치 및 적층 방법 失效
    层压设备和层压方法

    公开(公告)号:KR1020010086385A

    公开(公告)日:2001-09-10

    申请号:KR1020017003015

    申请日:1999-09-10

    Abstract: 전사층으로서의 드라이 필름 레지스트의 적층 방법을 수행하는 적층 장치로서, 기판 이송부 (15), 기판 예열부 (8), 적층부 (9 및 10), 기판간 필름 처리부 (3), 필름 공급부 (2), 필름 축적부 (4), 베이스 필름 연속 박리부 (12, 13), 및 커버 필름 연속 박리부 (5) 를 포함하는 장치에서, 적층은 한 쌍의 롤 (9 및 10), 에 의해서 수행되며, 부위 15 는 이송롤이고, 베이스 필름은 적층후 기판으로 부터 박리되며, 베이스 필름 박리용 가이드롤 (12) 은, 기판의 이송 방향에서, 적층롤의 전방에 위치되며, 가이드롤은 수직방향 또는 측방향으로 이동이 자유로워서, 권취되는 베이스 필름과 기판 표면 사이의 각도, 즉, 베이스 필름의 박리 각도가 임의의 각도로 변할 수 있다.

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