DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZUR MESSUNG EINES DRUCKS
    21.
    发明申请
    DRUCKSENSOR UND VERFAHREN ZUR MESSUNG EINES DRUCKS 审中-公开
    压力传感器和方法测量压力

    公开(公告)号:WO2017060012A1

    公开(公告)日:2017-04-13

    申请号:PCT/EP2016/070644

    申请日:2016-09-01

    Applicant: EPCOS AG

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drucksensor (1) mit einem Grundkörper, der ein piezoelektrisches Material (13) und zumindest zwei in dem piezoelektrischen Material (13) angeordnete Innenelektroden (3, 4) aufweist, die derart angeordnet sind, dass zwischen den zumindest zwei Innenelektroden (3, 4) eine Spannung entsteht, wenn ein Druck auf eine für eine Druckbeaufschlagung vorgesehene Seitenfläche (9, 10) des Grundkörpers (2) einwirkt.

    Abstract translation: 本发明涉及一种压力传感器(1)具有基体,压电材料(13)和在所述压电材料的至少两个(13),设置内部电极(3,4),其被布置为使得所述至少两个内电极之间 (3,4)的电压时,施加的压力,以一个用于基体的压力侧表面(9,10)(2)产生。

    PLASMAGENERATOR UND VERFAHREN ZUR EINSTELLUNG EINES IONENVERHÄLTNISSES
    22.
    发明申请
    PLASMAGENERATOR UND VERFAHREN ZUR EINSTELLUNG EINES IONENVERHÄLTNISSES 审中-公开
    等离子发生器和方法用于设置ION关系

    公开(公告)号:WO2017029099A1

    公开(公告)日:2017-02-23

    申请号:PCT/EP2016/068094

    申请日:2016-07-28

    Applicant: EPCOS AG

    CPC classification number: H05H1/2475 H05H2001/2481

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Plasmagenerator (1), der einen piezoelektrischer Transformator (2), der zur Ionisation eines Prozessgases geeignet ist, eine Ionenseparationselektrode (7), und eine Ansteuerschaltung (8), die dazu geeignet ist, an die Ionenseparationselektrode (7) ein Potential anzulegen, aufweist. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Einstellung des Verhältnisses von positiven zu negativen Ionen in einem von einem Plasmagenerator (1) erzeugten Plasma.

    Abstract translation: 本发明涉及一种等离子体生成器(1),包括一个压电变压器(2),适用于一工艺气体,离子分离电极的离子化(7),和一个驱动电路(8),其适于将所述离子分离电极(7) 应用具有潜在的。 本发明还涉及一种用于调节(1)中产生等离子体的等离子体发生器中的一个的正负离子的比率的方法。

    PIEZOELEKTRISCHER TRANSFORMATOR
    23.
    发明申请
    PIEZOELEKTRISCHER TRANSFORMATOR 审中-公开
    压电变压器

    公开(公告)号:WO2016012282A1

    公开(公告)日:2016-01-28

    申请号:PCT/EP2015/065886

    申请日:2015-07-10

    Applicant: EPCOS AG

    Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Transformator (1), der in Längsrichtung (L) in einen Eingangsbereich (2) und einen Ausgangsbereich (3) unterteilt ist, wobei im Eingangsbereich (2) Elektroden (4) und piezoelektrisches Material (5) abwechselnd gestapelt sind und an die Elektroden (4) im Eingangsbereich (2) eine Wechselspannung anlegbar ist, wobei der Ausgangsbereich (3) piezoelektrisches Material (9) aufweist, das bei im Eingangsbereich (2) angelegter Wechselspannung den Aufbau eines elektrischen Feldes bewirkt, wobei der piezoelektrische Transformator (1) eine ausgangsseitige Stirnseite (10), die vom Eingangsbereich (2) wegweist, und seitliche Kanten (13), die in Längsrichtung (L) verlaufen, aufweist, und wobei der piezoelektrische Transformator (1) dazu ausgestaltet ist, an der ausgangsseitigen Stirnseite (10) Atome oder Moleküle zu ionisieren und dabei eine Ionisation von Atomen oder Molekülen an den seitlichen Kanten (13) zu vermeiden.

    Abstract translation: 本发明涉及在输入区域的纵向方向(L)的压电变压器(1)(2)和输出区(3)被分开,其中,在所述输入区域(2)的电极(4)的压电材料(5)交替地层叠 和被施加到电极(4)的AC电压可以在入口区域(2)被施加,其中,所述输出区域(3)的压电材料(9),其在入口(2)施加的交流电压产生的电场的结构中,其特征在于,所述压电 变压器(1)的输出侧的端面(10)的面向在纵向方向(L)延伸的入口区域(2),以及横向边缘(13)的距离,并且其中,所述压电变压器(1)适于将所述 输出侧的端面(10),用于电离原子或分子和避免在横向边缘(13)的原子或分子的离子化。

    PIEZOELEKTRISCHER TRANSFORMATOR UND GEGENELEKTRODE
    24.
    发明申请
    PIEZOELEKTRISCHER TRANSFORMATOR UND GEGENELEKTRODE 审中-公开
    压电变压器,并领导

    公开(公告)号:WO2015067388A1

    公开(公告)日:2015-05-14

    申请号:PCT/EP2014/068172

    申请日:2014-08-27

    Applicant: EPCOS AG

    CPC classification number: H01L41/107 H01L41/047 H05H2001/2481

    Abstract: Es wird ein piezoelektrischer Transformator (10) mit einer Oberflächenstruktur angegeben, die zumindest ein hervorstehendes Oberflächenstruktursegment (5) aufweist, wobei der piezoelektrische Transformator eine Kontur (3) aufweist und geeignet ist, im Zusammenwirken mit einer Gegenelektrode (10) zur Erzeugung eines Plasmas, ein Gas zu entladen, wobei die Oberflächenstruktur so ausgebildet ist, dass die Gasentladung an einer Vielzahl von Entladungsinitiationspunkten (6) auf der Kontur (3) einsetzt. Eine Breite des Oberflächenstruktursegments (5) kleiner ist als die Breite des piezoelektrischen Transformators (1).

    Abstract translation: 本发明提供具有表面结构,其包括至少一个凸出表面结构段(5),其中,所述压电变压器具有这样的轮廓(3),并且适于在与用于产生等离子体的反电极(10)合作的压电变压器(10), 排出的气体,其特征在于,以使在多个放电起始点(6)的气体放电的轮廓(3)中使用被形成的表面结构。 表面结构段(5)的宽度比所述压电变压器(1)的宽度小。

    PIEZOELEKTRISCHER TRANSFORMATOR
    27.
    发明公开
    PIEZOELEKTRISCHER TRANSFORMATOR 审中-公开
    PIEZOELEKTRISCHER变压器

    公开(公告)号:EP3172772A1

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:EP15738051.0

    申请日:2015-07-10

    Applicant: Epcos AG

    Abstract: The present invention relates to a piezoelectric transformer (1), which is divided in the longitudinal direction (L) into an input region (2) and an output region (3), wherein electrodes (4) and piezoelectric material (5) are alternately stacked in the input region (2) and an alternating voltage can be applied to the electrodes (4) in the input region (2), wherein the output region (3) comprises piezoelectric material (9) that brings about the buildup of an electrical field when alternating voltage is applied in the input region (2), wherein the piezoelectric transformer (1) has an output-side end face (10), which faces away from the input region (2), and lateral edges (13), which run in the longitudinal direction (L), and wherein the piezoelectric transformer (1) is designed to ionize atoms or molecules at the output-side end face (10) and thereby avoid ionization of atoms or molecules at the lateral edges (13).

    Abstract translation: 本发明涉及一种压电变压器(1),它沿纵向(L)分成输入区(2)和输出区(3),其中电极(4)和压电材料(5)交替地 堆叠在输入区域(2)中并且交变电压可以施加到输入区域(2)中的电极(4),其中输出区域(3)包括压电材料(9),该压电材料引起电气 当输入区域(2)中施加交流电压时,所述压电变压器(1)具有远离输入区域(2)的输出侧端面(10),并且侧向边缘(13) 其沿纵向方向(L)延伸,并且其中压电变压器(1)被设计成在输出侧端面(10)处使原子或分子电离并由此避免在侧向边缘(13)处的原子或分子的离子化, 。

    VERFAHREN ZUR ABSTIMMUNG EINER RESONANZFREQUENZ EINES PIEZOELEKTRISCHEN BAUELEMENTES
    28.
    发明公开
    VERFAHREN ZUR ABSTIMMUNG EINER RESONANZFREQUENZ EINES PIEZOELEKTRISCHEN BAUELEMENTES 有权
    程序投票选举压电器件的响应频率

    公开(公告)号:EP2297798A1

    公开(公告)日:2011-03-23

    申请号:EP09765822.3

    申请日:2009-06-15

    Applicant: Epcos AG

    Abstract: The invention relates to a method for tuning a resonant frequency of a piezoelectric component (1), the latter having a transducer that extends in three spatial directions, the resonant frequency depending on an extension in at least one of the spatial directions and/or on a material-dependent elasticity modulus. The transducer comprises a layered structure with at least two first electrodes (21) and at least one second electrode (22), arranged between the two first electrodes. In said method, a d.c. voltage is applied to at least one of the first two and the at least one second electrode, which leads to a modification of the resonant frequency as a result of a modification to the extension in the one spatial direction and the elasticity modulus. A control voltage with an excitation frequency is applied, said excitation frequency substantially corresponding to the modified resonant frequency. This generates an oscillation of the piezoelectric component.

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