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发明专利
FORMING OXIDES OF SILICON FROM ORGANOMETALLIC SOLUTIONS 未知

公开(公告)号：AU6929087A

公开(公告)日：1987-09-10

申请号：AU6929087

申请日：1987-02-26

Applicant: IBM

Inventor： DAVID LAWRENCE DANIEL

IPC: C03C3/085 , C03B8/02 , C03B19/12 , C03B20/00 , C03C3/091 , C03C3/097 , C03C10/00 , C03C10/08 , C04B35/195 , C04B35/626 , C04B35/18 , C04B35/20

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