公开(公告)号：JP6907522B2

公开(公告)日：2021-07-21

申请号：JP2016243826

申请日：2016-12-15

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野坂 直矢 ,  若松 剛史 ,  阿部 翼 ,  松村 裕史 ,  滝本 嘉夫 ,  木村 徹

IPC: C08G8/24 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  G03F7/26 ,  G03F7/11

公开(公告)号：JP6711104B2

公开(公告)日：2020-06-17

申请号：JP2016085581

申请日：2016-04-21

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 松村 裕史 ,  若松 剛史 ,  野坂 直矢 ,  阿部 翼 ,  滝本 嘉夫

IPC: G03F7/40 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027 ,  G03F7/11

公开(公告)号：JPWO2018074534A1

公开(公告)日：2019-08-29

申请号：JP2017037766

申请日：2017-10-18

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 野坂 直矢 ,  若松 剛史 ,  阿部 翼 ,  松村 裕史 ,  滝本 嘉夫 ,  中藤 慎也 ,  酒井 一憲

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  C08F38/00 ,  C08F16/00 ,  C07C35/44 ,  C07C33/28 ,  G03F7/11

Abstract: 本発明は、下記式(1)で表される基を有する化合物と、溶媒とを含有するレジスト下層膜形成用組成物である。下記式(1)中、R 1 は、炭素数2〜10の(m+n)価の有機基であって、互いに隣接する2個の炭素原子を有し、上記2個の炭素原子の一方にヒドロキシ基又はアルコキシ基が、他方に水素原子結合している。L 1 は、エチンジイル基又は置換若しくは非置換のエテンジイル基である。R 2 は、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。nは、1〜3の整数である。*は、上記化合物における上記式(1)で表される基以外の部分との結合部位を示す。mは、1〜3の整数である。

公开(公告)号：JP6288090B2

公开(公告)日：2018-03-07

申请号：JP2015528248

申请日：2014-07-16

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 栗田 俊輔 ,  木村 徹 ,  滝本 嘉夫 ,  高梨 和憲

IPC: G03F7/40 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3065 ,  G03F7/11

CPC classification number: G03F7/32 ,  C09K13/00 ,  G03F7/0043 ,  G03F7/0757 ,  G03F7/20 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/31122

公开(公告)号：JPWO2016185888A1

公开(公告)日：2018-03-01

申请号：JP2017519099

申请日：2016-04-27

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 藤田 賢治 ,  滝本 嘉夫 ,  ▲鄭▼ 康巨

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/304

Abstract: 本発明は、重合体及び極性溶媒を含有する基板パターン倒壊抑制用処理材である。また、本発明は、上記基板パターン倒壊抑制用処理材を、パターンが形成された基板に塗布し、乾燥する工程を含む基板の処理方法である。上記重合体としては、親水性重合体が好ましい。上記重合体は、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アミド基、アミノ基、スルホ基及びアルデヒド基から選ばれる少なくとも1種の官能基を有することが好ましい。上記重合体は、ビニル系重合体、多糖類、ポリエステル、ポリエーテル及びポリアミドから選ばれる少なくとも1種であることが好ましい。

公开(公告)号：JP6281490B2

公开(公告)日：2018-02-21

申请号：JP2014525853

申请日：2013-07-17

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 元成 正之 ,  滝本 嘉夫 ,  溝口 勝久 ,  松村 裕史 ,  中藤 慎也 ,  香村 和彦 ,  村上 暁

IPC: H01L21/027 ,  C07C69/76 ,  C07C251/68 ,  C08G8/10 ,  G03F7/11

CPC classification number: C07C69/76 ,  C07C69/80 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  H01L21/0271

公开(公告)号：JP6146305B2

公开(公告)日：2017-06-14

申请号：JP2013538506

申请日：2012-10-02

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 香村 和彦 ,  峯岸 信也 ,  森 隆 ,  保田 慶友 ,  滝本 嘉夫 ,  中藤 慎也 ,  木村 徹

IPC: G03F7/26 ,  H01L21/027 ,  G03F7/11

CPC classification number: H01L21/3081 ,  G03F7/094 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/033 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31138

公开(公告)号：JP5910500B2

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：JP2012536407

申请日：2011-09-22

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 峯岸 信也 ,  村上 暁 ,  松村 裕史 ,  香村 和彦 ,  滝本 嘉夫 ,  中藤 慎也 ,  保田 慶友

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/42 ,  G03F7/26

CPC classification number: G03F7/004 ,  C08G8/08 ,  C08G8/22 ,  C08G8/28 ,  C09D161/06 ,  G03F7/094 ,  G03F7/11 ,  G03F7/26 ,  G03F7/40