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公开(公告)号：CN1892981A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610083489.9
申请日：2006-05-30
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02F1/134363 , G02F1/13439
Abstract: 一种根据本发明的平板显示器件的制造方法包括在基板上提供薄膜；在薄膜上提供具有槽和突起的软模；使软模的突起与薄膜接触；以及在薄膜上涂敷疏水聚合树脂以对薄膜构图。
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公开(公告)号：CN1886031A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200510126152.7
申请日：2005-11-30
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
CPC classification number: B29C59/022 , B29C35/02 , B29C59/026 , B29C59/14 , B29C71/04 , B29C2035/0827 , B29C2059/023 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明公开了一种采用软模形成精细图案的方法，该方法包括采用软模在基板上形成精细图案；通过等离子体对其上形成有精细图案的基板进行处理；以及在其上形成有精细图案的基板上沉积无机膜和有机膜至少其中之一。
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公开(公告)号：CN1883958A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200510132686.0
申请日：2005-12-20
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
CPC classification number: B29C33/40 , B29C33/3857 , B29C33/424
Abstract: 公开了一种制造软模的方法，其中无论用于形成软模的母模的尺寸如何，工艺匹配程度都很高。用于制造软模的方法包括：在夹具上放置母模；在所述夹具中形成预聚物层；将背板基底附着到所述预聚物层上；选择性地固化所述预聚物层以选择性地形成聚合物层；从所述夹具和所述母模剥离所述聚合物层和所述预聚物层；并且去除未固化的预聚物层。
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公开(公告)号：CN1877452A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200510132211.1
申请日：2005-12-22
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor： 金珍郁
IPC: G03F7/20 , H01L21/027 , G03F7/26
CPC classification number: B29C59/026 , B29C2059/023 , Y10S425/81
Abstract: 本发明公开了一种用于制造平板显示器的方法和装置。通过采用软模而不采用光刻工序的构图工序构图薄膜层。在基板上顺序形成薄膜层和抗蚀剂。通过采用软模向抗蚀剂施加压力形成预定抗蚀剂图案。该抗蚀剂具有大于或等于2D的偶极距μ值，或者具有小于6(cal/cm3)1/2或者大于11(cal/cm3)1/2的溶解参数值。
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公开(公告)号：CN1710488A
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：CN200510075066.8
申请日：2005-06-08
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor： 金珍郁
CPC classification number: H01L27/12 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L27/1292
Abstract: 一种用于形成图案的方法包括在基板上形成蚀刻对象层；在蚀刻对象层上施加抗蚀剂，其中抗蚀剂包括光引发剂以及包含乙烯基官能团和亲水官能团的液态预聚物；使用具有形成在其中的印记的模板成形抗蚀剂；以及在模板对应于印记成形抗蚀剂的同时使抗蚀剂硬化以形成抗蚀图案。
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公开(公告)号：CN1641423A
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN200410102771.8
申请日：2004-12-27
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
CPC classification number: H01J9/24 , B29C33/38 , B29C33/42 , B29C35/00 , B29C59/00 , G02F1/13439 , H05K3/061 , H05K2203/0108 , H05K2203/1189
Abstract: 本发明涉及一种适合于采用不需要照相工艺的构图工序的平板显示器件及其制造方法，从而降低其处理时间和使构图缺陷最小化。根据本发明一个实施例的平板显示装置的制造方法和制造装置在薄膜上涂布蚀刻剂，并且通过将具有可渗透结构的软模压到蚀刻剂上在薄膜上形成蚀刻剂图案。
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公开(公告)号：CN101295132A
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200710308356.1
申请日：2007-12-29
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/00 , G03F7/004 , H01L21/84 , H01L29/786
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02B5/201 , G02F1/133516 , G03F7/0007
Abstract: 本发明公开了一种用于制备薄膜图案的装置，在其中可以延长托架寿命并且由此可以实现费用节省。该装置包括围绕由聚二甲基硅氧烷构成的托架的印刷辊；布置在印刷辊周围的用于注入抗蚀剂溶液的注射喷嘴；和包括凹槽/凸起图案的印刷板，凹槽具有与特定薄膜相同的形状，凸起布置在没有凹槽的区域中，其中抗蚀剂溶液包括基础聚合物、载体溶剂、增粘剂和表面活性剂。本发明还公开了一种用于以该装置制备薄膜图案的方法。
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公开(公告)号：CN101101914A
公开(公告)日：2008-01-09
申请号：CN200710123030.1
申请日：2007-06-22
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: H01L27/12 , H01L23/522 , H01L21/84 , H01L21/768 , G02F1/1362
Abstract: 本发明公开了一种阵列基板、具有其的LCD器件、以及采用IPP制造阵列基板的方法。所述方法包括：采用第一模型在基板上形成栅线和栅极，在基板和栅线上方形成栅绝缘层，在栅绝缘层的第一部分上形成第一平面层，采用第二模型在栅绝缘层的第二部分上形成半导体层，在第一平面层上方形成第二平面层，采用第三模型在第二平面层上形成数据线以及在半导体层上形成源极和漏极，采用第四模型形成具有接触孔的钝化层，以及采用第五模型在钝化层上形成像素电极，所述像素电极经由接触孔电连接到所述漏极。
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公开(公告)号：CN101086615A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710108968.6
申请日：2007-06-08
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor： 金珍郁
CPC classification number: G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明披露了一种印刷抗蚀剂及其制备方法和利用该印刷抗蚀剂的图案化方法，所述印刷抗蚀剂在施加到印辊上之后依次转印到印刷板和基板上，其中所述印刷抗蚀剂包含至少一个结合至粘性诱导性乙烯基的聚合物主链。所述印刷抗蚀剂表面具有粘性而不会完全干燥，因而使得可以恰当地将所述印刷抗蚀剂转印到印刷板和基板上。
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公开(公告)号：CN101078880A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710106134.1
申请日：2007-05-24
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor： 金珍郁
CPC classification number: G03F7/2002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/004 , G03F7/0046 , G03F7/027 , H01L21/3127
Abstract: 一种用于形成图案的组合物包括：按重量计大约1％到大约10％的液态预聚物；按重量计大约40％到大约60％的具有亲水基的丙烯酸酯；按重量计大约10％到大约20％的粘度调节剂；按重量计大约1％到大约5％的光引发剂；和添加剂。
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