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公开(公告)号：CN106662431A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580042360.0
申请日：2015-07-08
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
Abstract: 物镜(20)将来自落射光源(12)的白色光分离为两个光束，使一方照射透明膜(3)的表面并使另一方照射参照镜(24)，获得来自两面的反射光的干涉光。控制用计算机(40)使物镜(20)定位到透明膜(3)的上方后，使透明膜(3)和物镜(20)沿着上下方向相对移动的同时，拍摄多张干涉光的图像。控制用计算机(40)在CCD相机(30)的拍摄周期内，按拍摄顺序向拍摄的多张的图像附上图像编号，并对构成图像的各像素执行：求出多个亮度成为波峰的图像编号的第1阶段处理和拍摄多张图像后根据多个亮度成为波峰的图像编号来检测透明膜(3)的膜厚或凹凸部的高度的第2阶段处理。
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公开(公告)号：CN105899909A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201580004131.X
申请日：2015-01-09
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
IPC: G01B11/06 , G01B11/30 , G02F1/1335
Abstract: 高度检测部在使凹凸部和物镜沿上下方向发生相对移动的同时对图像进行拍摄，基于针对构成所拍摄的图像的多个像素的每一个求出的焦点位置，来对凹凸部的高度进行检测。高度检测部执行第一阶段的处理和第二阶段的处理，其中：在所述第一阶段的处理中，在摄像装置的拍摄周期内，针对构成拍摄的图像的多个像素的每一个，将拍摄的图像的亮度最大的定位装置的位置设为焦点的候选位置；在所述第二阶段的处理中，在摄像装置对全部的图像进行拍摄后，针对构成在通过第一阶段的处理求出的焦点的候选位置的前后拍摄到的图像的多个像素的每一个，以在前后拍摄到的图像的多个亮度为基础求出对比度，基于该对比度求出焦点位置，并基于该焦点位置来对凹凸部的高度进行检测。
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公开(公告)号：CN108291802B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201680066070.4
申请日：2016-11-08
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
IPC: G01B11/06
Abstract: 高度检测装置(1)一边相对于膏膜(53)在光轴方向上移动双光束干涉物镜(4)一边根据Z载台(7)的位置依次将白光的亮度从第一等级变化为第二等级，并拍摄干涉光的图像，针对拍摄到的图像的每个像素，检测在白光的亮度被设定为第一等级或第二等级的期间中干涉光的强度成为最大的Z载台(7)的位置，以作为焦点位置，并基于检测结果来获得膏膜(53)的高度。
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公开(公告)号：CN108603751B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201780010383.2
申请日：2017-01-10
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种能准确地测量目标物体的形状的形状测量装置及使用该形状测量装置制造待涂覆目标物体的方法。根据本发明的形状测量装置，通过向目标物体照射白光并使用来自目标物体的反射光来测量目标物体的形状。其包括光源、双光束干涉物镜、成像装置、观察光学系统、定位装置、控制装置。控制装置对于由成像装置获得的多个图像中的每个单位区域，计算在多个图像中基于亮度的评估值达到最大时的双光束干涉物镜的位置作为单位区域的焦点位置，并基于多个图像中的每个单位区域的焦点位置来测量目标物体的形状。控制装置使用多个图像中的每个单位区域的亮度、以及与该单位区域的亮度和该单位区域相邻的多个单位区域的亮度之差相关的值，作为评估值。
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公开(公告)号：CN106662431B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580042360.0
申请日：2015-07-08
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
Abstract: 物镜(20)将来自落射光源(12)的白色光分离为两个光束，使一方照射透明膜(3)的表面并使另一方照射参照镜(24)，获得来自两面的反射光的干涉光。控制用计算机(40)使物镜(20)定位到透明膜(3)的上方后，使透明膜(3)和物镜(20)沿着上下方向相对移动的同时，拍摄多张干涉光的图像。控制用计算机(40)在CCD相机(30)的拍摄周期内，按拍摄顺序向拍摄的多张的图像附上图像编号，并对构成图像的各像素执行：求出多个亮度成为波峰的图像编号的第1阶段处理和拍摄多张图像后根据多个亮度成为波峰的图像编号来检测透明膜(3)的膜厚或凹凸部的高度的第2阶段处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105899909B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201580004131.X
申请日：2015-01-09
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
IPC: G01B11/06 , G01B11/30 , G02F1/1335
Abstract: 高度检测部在使凹凸部和物镜沿上下方向发生相对移动的同时对图像进行拍摄，基于针对构成所拍摄的图像的多个像素的每一个求出的焦点位置，来对凹凸部的高度进行检测。高度检测部执行第一阶段的处理和第二阶段的处理，其中：在所述第一阶段的处理中，在摄像装置的拍摄周期内，针对构成拍摄的图像的多个像素的每一个，将拍摄的图像的亮度最大的定位装置的位置设为焦点的候选位置；在所述第二阶段的处理中，在摄像装置对全部的图像进行拍摄后，针对构成在通过第一阶段的处理求出的焦点的候选位置的前后拍摄到的图像的多个像素的每一个，以在前后拍摄到的图像的多个亮度为基础求出对比度，基于该对比度求出焦点位置，并基于该焦点位置来对凹凸部的高度进行检测。
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公开(公告)号：CN110140021A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201780081240.0
申请日：2017-11-28
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
Abstract: 本发明提供一种测量基板上的透明材料的膜厚的方法。在基板上，将第一对象物(透明材料)涂布到第一基板表面上，并将第二对象物(透明材料)涂布到第二基板表面上。该方法包括：测量第一对象物的前表面相对于第一基板表面在未涂布第一对象物的位置处的第一相对高度；测量第一对象物的前表面相对于第一对象物的后表面的第二相对高度；基于第一相对高度和第二相对高度计算透明材料的折射率(S10)。该方法还包括使用第二对象物的前表面相对于第二对象物的后表面的第三相对高度以及计算出的折射率来测量第二对象物的膜厚(S20)。
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公开(公告)号：CN103630542A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310377121.3
申请日：2013-08-26
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 大庭博明
Abstract: 本发明的缺陷检测装置包括：摄像头，该摄像头拍摄基板并输出电信号；以及图像处理装置，该图像处理装置中输入有由摄像头输出的电信号。图像处理装置使用从电信号中得到的多个信号各自的图像对比度中较大的对比度，来检测基板的缺陷部。由于使用多个信号各自的图像对比度中较大的对比度来检测缺陷部，因此即使对于在被区分为各信号之前的图像中与正常部之间的对比度较小的缺陷部，也能够检测出缺陷部，而不会使灵敏度显著降低。
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公开(公告)号：CN102201355A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110050773.7
申请日：2011-02-24
Applicant: NTN株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , G01N21/956 , B65G49/06 , H01L21/66
Abstract: 一种缺陷修正装置(1)，配置有供玻璃基板(99)装载的一对基板端支承台3。在一对基板端支承台(3)之间的区域内配置有多个基板支承用滚轮机构(4)，这些基板支承用滚轮机构(4)从下方对玻璃基板(99)予以支承。基板支承用滚轮机构(4)安装有将所装载的玻璃基板(99)的下表面吸附并保持的基板吸附台(26)。藉此，能得到用更简易的结构来对基板进行保持的基板保持装置和应用该基板保持装置的缺陷修正装置。
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公开(公告)号：CN1289911C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN03119254.8
申请日：2003-03-07
Applicant: NTN株式会社
CPC classification number: F16C41/008 , B60T8/171 , B60T8/329 , F16C19/186 , F16C33/7886 , F16C41/004 , F16C41/007 , F16C2326/02 , G01P3/443 , Y10T307/74
Abstract: 本发明的课题在于提供在通过本身发电功能动作的同时，可对接近零速的极低速时的旋转进行检测，并且结构紧凑的旋转检测器和采用它的防锁制动装置。该旋转检测器包括发电机(4)，磁性传感器(23)和电源电路(24)。该发电机(4)具有定子(17)和转子(18)，该转子(18)为具有沿圆周方向并排的多个磁极的多极磁铁。上述磁性传感器(23)设置于该定子(17)，或支承该定子(17)的部件(1)上，对上述转子(18)的磁极进行检测。上述电源电路(24)为将发电机(4)的发出电力用作磁性传感器(23)的电源的电路。在上述定子(17)中，设置有无线的信号发送机构(5A)，该信号发送机构(5A)发送磁性传感器(23)的检测信号。该信号发送机构(5A)的电源也采用发电机(4)的发出电力。
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