公开(公告)号：AU6937074A

公开(公告)日：1975-11-27

申请号：AU6937074

申请日：1974-05-24

Applicant: SIEMENS AG

Inventor： GLASHAUSER WALTER

IPC: C23F1/00 ,  C23F1/02 ,  G03F7/26 ,  G03F9/00 ,  B41N1/24

公开(公告)号：DE2333284A1

公开(公告)日：1975-01-23

申请号：DE2333284

申请日：1973-06-29

Applicant: SIEMENS AG

Inventor： GLASHAUSER WALTER

IPC: C23F1/00 ,  C23F1/02 ,  G03F7/26 ,  G03F9/00

公开(公告)号：DE2151262A1

公开(公告)日：1973-04-19

申请号：DE2151262

申请日：1971-10-14

Applicant: SIEMENS AG

Inventor： GLASHAUSER WALTER

IPC: G03F1/56 ,  H05K3/00 ,  G03F1/00