公开(公告)号：JP2019111692A

公开(公告)日：2019-07-11

申请号：JP2017245620

申请日：2017-12-21

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 荒木 晃一 ,  田村 孝司

IPC: H01L21/56 ,  B29C33/34

Abstract: 【課題】 成形型を少ない部品点数で構成することが可能な樹脂成形装置を提供する。 【解決手段】 本発明の樹脂成形装置は、 成形型1000と、昇温ステージS1と、樹脂成形ステージS2と、エジェクトステージS4とを含み、 成形型1000は、一方の型200と他方の型100とを含み、 樹脂成形後の樹脂成形品1bを、一方の型200に固定された状態で他方の型100から離型することが可能であり、 一方の型200と他方の型100との少なくとも一方は、前記各ステージに対し着脱可能であるとともに、前記各ステージ間を移動可能であり、 昇温ステージS1は、成形型1000を昇温し、 樹脂成形ステージS2は樹脂成形を行い、 エジェクトステージS4は、樹脂成形品1bを成形型1000から離型させることを特徴とする。 【選択図】 図4

公开(公告)号：JP2018086739A

公开(公告)日：2018-06-07

申请号：JP2016229791

申请日：2016-11-28

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 田村 孝司 ,  奥西 祥人

IPC: B29C45/02 ,  B29C45/14 ,  H01L21/56 ,  B29C45/26

Abstract: 【課題】リードフレーム、基板等の支持部材の変形を抑制する。 【解決手段】第1型7と、第1型7に対向して配置される第2型8と、第1型7及び第2型8の少なくとも一方に設けられた弾性部材34と、上下方向に移動可能なように第1型7に設けられ、弾性部材34が取付けられた取付部材33とを備え、第1型7又は第2型8に支持部材25が配置され、第1型7及び第2型8を型締めすることで、取付部材33を上下方向に移動させ、第2型8側の対向面に弾性部材34を押圧して弾性変形させて、支持部材25の端面と第1型7又は第2型8とによって形成される隙間27を塞ぐ。 【選択図】図5

公开(公告)号：JP6236486B2

公开(公告)日：2017-11-22

申请号：JP2016043950

申请日：2016-03-07

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 田村 孝司 ,  奥西 祥人

IPC: B29C45/02 ,  B29C33/76 ,  H01L21/56

CPC classification number: H01L2224/16225 ,  H01L2924/181

公开(公告)号：JP2017143232A

公开(公告)日：2017-08-17

申请号：JP2016025379

申请日：2016-02-13

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 田村 孝司 ,  高田 直毅 ,  喜多 仁 ,  川本 佳久

IPC: B29C43/36 ,  B29C43/34 ,  B29C43/18 ,  H01L21/56

CPC classification number: B29C43/18 ,  B29C43/34 ,  B29C43/36 ,  H01L21/56 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/181

Abstract: 【課題】成形型の型面にフィルムを密着させ、そのフィルムに基板を密着させる。 【解決手段】樹脂封止装置において、上型8の型面に静電チャック15を設ける。静電チャック15を使用して、離型フィルム16とチップ17が装着された基板18とを、静電気に起因する引力によって順次に又は同時に引き付ける。このことにより、基板18と離型フィルム16とを密着させた状態で、上型8の型面に密着させて保持する。上型8と下型11とを型閉めすることにより、基板18と基板18に装着されたチップ17とを、キャビティ13内に満たされた溶融樹脂20に浸ける。平面視した場合に基板18がキャビティ13に含まれるので、基板18とチップ17とが溶融樹脂20に完全に浸かる。したがって、樹脂封止が終了した時点において、基板18及びチップ17の上面と側面とが硬化樹脂21によって覆われる。 【選択図】図3

公开(公告)号：JP2017035832A

公开(公告)日：2017-02-16

申请号：JP2015158641

申请日：2015-08-11

Applicant: TOWA株式会社

Inventor： 桃井 克徳 ,  田村 孝司

IPC: B29C33/18

Abstract: 【課題】離型フィルムにしわやたるみなどが発生しないようにして樹脂封止する。 【解決手段】下型11を、周面部材9と底面部材10とによって構成する。周面部材9の外周に沿って環状の外周吸着溝16を設ける。外周吸着溝16の内側に複数の主凹部18を形成する。複数の主凹部18に主吸着溝20を有する組み込み用の主部材21をはめ込んで装着する。主吸着溝20の断面は、開口部が幅広でV字形になるように形成される。外周吸着溝16の内面に離型フィルム15が吸着された状態において、離型フィルム15を主吸着溝20に吸着する。このことによって、離型フィルム15に均一な張力を加える。複数の主吸着溝20の内面に離型フィルム15が吸着された状態において、キャビティ13の型面に沿って離型フィルム15を吸着する。したがって、離型フィルム15にしわやたるみなどが発生することを防止できる。 【選択図】図2

Abstract translation: 甲皱纹和松弛脱模膜用树脂密封，从而不发生。 的下模11由周面件9和底部构件10形成。 沿外周面构件9上设置的环状的外周吸入槽16。 上形成多个的外周吸入槽16的内侧主凹槽18的。 由主部件21装配用于具有主抽吸槽20划分为多个主凹槽18的嵌入安装。 形成主吸入槽20的部分，使得开口是V形的带宽。 另外，在周缘抽吸槽16的内表面上的离型膜15被吸附到剥离薄膜15吸附到主吸入的状态下槽20。 这一事实，加入到均匀的张力在剥离薄膜15。 另外，在剥离膜15被吸引到所述多个主吸入槽20的内表面的状态下，沿吸附腔室13的模具表面的脱模膜15。 因此，可以防止皱纹和在剥离膜15发生下垂。 .The