成膜方法、成膜装置和结构体

    公开(公告)号:CN105220116B

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201510292827.9

    申请日:2015-05-28

    Abstract: 本发明提供能够提高形成的膜的致密性和附着性,形成即使在薄膜状态下也具有高绝缘耐压性的绝缘膜的成膜方法、成膜装置和结构体。本发明一个实施方式的成膜方法通过向容纳有电绝缘性原料粒子的封闭容器导入气体,生成上述原料粒子的气溶胶,经由与上述封闭容器连接的输送管,向与上述封闭容器相比维持在低压的成膜室输送上述气溶胶,从装配在上述输送管的前端的喷嘴向设置在上述成膜室中的靶喷射上述气溶胶,通过使上述原料粒子与上述靶碰撞,使上述原料粒子带正电,通过带电的上述原料粒子放电,生成上述原料粒子的微细粒子,使上述微细粒子堆积在设置在上述成膜室中的基材上。

    树脂涂布装置及树脂涂布完成的构件的制造方法

    公开(公告)号:CN106132565B

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:CN201580014320.5

    申请日:2015-02-16

    CPC classification number: B05D1/305 B05B15/68 B05C5/0254 B05D1/007

    Abstract: 本发明提供一种能使构件与涂布头之间的距离设成较大的树脂涂布装置及树脂涂布完成的构件的制造方法。树脂涂布装置(1)具备:载置要涂布树脂(13)的构件的载置台(12);对载置于载置台(12)的构件(11)吐出树脂(13)的涂布头(14);使涂布头(14)相对于载置台(12)相对性移动的移动装置(15);以及对载置台(12)与涂布头(14)之间施加电压的电源装置(17)。树脂涂布完成的构件的制造方法,将构件(11)载置于载置台(12),并将涂布头(14)配置于构件(11)的上方,维持对载置台(12)与涂布头(14)之间施加电压的状态,且在从涂布头(14)吐出树脂(13)的狀態下使涂布头(14)往沿着载置面(12f)的方向相对于载置台(11)相对性移动,从而进行对构件(11)涂布树脂(13)。

    复合粒子制造装置及复合粒子的制造方法

    公开(公告)号:CN103459009B

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201280015453.0

    申请日:2012-03-29

    CPC classification number: B05D1/007 B01J2/10 B05C19/06

    Abstract: 提供一种复合粒子制造装置及复合粒子的制造方法,可不多不少地添加用于调整粒子表面电荷的高分子电解质等调整剂,从而可提高操作性及制造效率。具有:贮存槽(1),贮存含有第1粒子或第2粒子的任意一种的液体;分散状态测定单元(2),测定贮存槽中贮存的液体中的粒子的分散状态;分散状态存储单元(33),将用于调整贮存槽内的液体中含有的粒子的表面电荷的调整剂添加到贮存槽内时,存储由分散状态测定单元测定的分散状态;信息输出单元(37),根据分散状态存储单元中存储的分散状态,输出表示上述贮存槽内的液体中的粒子的分散状态处于所需状态的信息。

    静电涂布装置及液体的涂布方法

    公开(公告)号:CN104284734A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201380025219.0

    申请日:2013-05-14

    Inventor: 上野勉

    Abstract: 一种静电涂布装置(100),其具备:筒状电极(1),其形成第一流路(F1),该第一流路(F1)的内表面由导电性的壁部形成;相对电极(20),其以遮住第一流路(F1)的轴线的延长线的方式配置;电源(30),其对筒状电极(1)与相对电极(20)之间施加电压;及液体供给部(40),其对第一流路(F1)供给液体,当将第一流路的轴方向长度设为L1、第一流路的内径设为D1时,L1/D1在35以上,第一流路的内径D1为0.5~2.0mm,第一流路的长度L1为20~100mm。

    静电喷涂系统的中间蓄留装置、其清洗方法及喷涂方法

    公开(公告)号:CN103301969A

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201310083710.0

    申请日:2013-03-04

    Abstract: 本发明提供一种能够高效清洗的静电喷涂系统的中间蓄留装置、其清洗方法以及喷涂方法。本发明的静电喷涂系统(1)的中间蓄留装置(10)设在颜色切换机构(20)与喷涂枪(60)之间,具有蓄留涂料的缸筒(11)、能够在缸筒(11)的缸室(14)中滑动的活塞(12)、和使活塞(12)驱动的伺服电机(13),所述中间蓄留装置具有:第一孔部(141),向缸室(14)开口,且与颜色切换机构(20)连接;第二孔部(142),向缸室(14)开口,且与喷涂枪(60)连接;和切换部,对从第一孔部(141)供给清洗液,并将清洗后的废液从第二孔部(142)排出,由此对缸室(14)进行清洗的第一清洗、和从第二孔部(142)供给清洗液,并将清洗后的废液从第一孔部(141)排出,由此对缸室(14)进行清洗的第二清洗进行切换。

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