一种减压干燥装置及方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107081248A

    公开(公告)日:2017-08-22

    申请号:CN201710288188.8

    申请日:2017-04-27

    CPC classification number: B05D3/0493 H01L21/67034

    Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置及方法,采用步进式腔室、分段减压方式对表面涂覆有光刻胶或绝缘树脂等材料的基板进行真空减压干燥。干燥装置采用隔板将干燥腔室分为至少两个子腔室,每个子腔室可实现单独控制待干燥基板的减压速度和传送速度,从而可以根据待干燥基板表面所涂覆材料的类型、以及不同的膜厚,对减压干燥工艺进行精确控制,获得均匀的减压干燥效果。另外,本发明提供一种减压干燥装置,待干燥基板在传送装置上处于运动状态,避免因待干燥基板和支撑销接触位置固定而导致的不良。

    一种基板真空干燥装置
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105710019A

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201610232396.1

    申请日:2016-04-14

    CPC classification number: B05D3/0493

    Abstract: 本发明提供一种基板真空干燥装置,属于显示技术领域,其可解决现有的真空干燥装置在光刻胶干燥固化过程中易导致光刻胶厚度不均匀,造成显示异常的问题。本发明的基板真空干燥装置包括腔室,腔室包括用于供基板出入腔室的腔门,所述腔室还联通气体管道,所述腔室内设有支撑板,用于承载基板。使用时,将基板移置支撑板上,支撑板支撑基板,基板不会产生形变,能够有效避免在光刻胶在真空干燥过程中出现光刻胶厚度不均匀。本发明的基板真空干燥装置适用于生产不同尺寸、型号的显示产品的基板。

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