公开(公告)号：CN106252255B

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201510798934.9

申请日：2015-11-18

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 倪学光 ,  陈纪任 ,  洪鹏程

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67115 ,  B05D1/60 ,  B05D3/067 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/56 ,  H01L21/67126

Abstract: UV固化装置包括处理室、设置在处理室上方的UV光源、设置在处理室和UV光源之间用以允许来自UV光源的UV光穿过且进入处理室的窗、设置在处理室和窗之间用以密封处理室的密封环、和设置在UV光源和密封环之间用以防止密封环暴露给UV光的光遮蔽装备。因此，密封环没有直接暴露给UV光，并且橡胶密封环的粘合不会被损坏。本发明还提供了UV固化方法。

公开(公告)号：CN108926868A

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201810520555.7

申请日：2018-05-28

Applicant: 环球展览公司

Inventor： G·麦格劳 ,  E·范登蒂洛阿特 ,  W·E·奎因 ,  S·佩凯尔德 ,  马修·金

IPC: B01D7/00

CPC classification number: C23C14/243 ,  B05D1/60 ,  C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/5012 ,  H01L51/5056 ,  H01L51/5072 ,  H01L51/5096 ,  H01L51/5206 ,  H01L51/5221 ,  B01D7/00

Abstract: 本申请涉及具有输出蒸气压的时间稳定性的升华单元。本发明提供针对升华单元的设计和布置，所述升华单元富含具有有机蒸气的惰性运载气体，使得所述有机蒸气的分压在时间上高度稳定。稳定性可通过经由一或多个坩埚控制沿固-气界面的局部蒸发速率来实现，进而减小由于资源耗尽而产生的较大顶部空间和降低的界面区域的影响。局部蒸发速率还可以使用温度分布或对流流动场来控制。

公开(公告)号：CN108580212A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201810382452.9

申请日：2018-04-26

Applicant: 东莞新劲电子有限公司

Inventor： 钟伟兴

IPC: B05D1/00 ,  C09D167/02 ,  C09D5/08 ,  C09D5/24

CPC classification number: B05D1/60 ,  C09D5/08 ,  C09D5/24 ,  C09D167/02

Abstract: 本发明公开了一种于电子墨水屏上形成防护涂层的工艺，其包括以下步骤：步骤1，对电子墨水屏的金手指进行包覆遮盖；步骤2，烘烤驱潮，去除电子墨水屏上的潮气，于50～60℃下，烘烤2～3h；步骤3，用夹扣夹住电子墨水屏金手指处的包覆物，将夹扣挂于金属架子上，将金属架子放入涂覆机中；步骤4，投料，进行气相沉积涂覆。本发明工艺简单，能够与电子墨水屏的表面形成厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损坏工件、有优异的电绝缘性和防护性的薄膜涂层，具有防潮、防霉、防腐、防水、防盐雾、防静电或防氧化等防护作用，延长电子墨水屏的使用寿命。

公开(公告)号：CN108474115A

公开(公告)日：2018-08-31

申请号：CN201680075857.7

申请日：2016-12-21

Applicant: 流慧株式会社

Inventor： 香取重尊 ,  广木一亮 ,  织田真也 ,  人罗俊实

IPC: C23C16/448 ,  B05D3/10 ,  H01L21/365 ,  H01L51/44 ,  H01L51/48

CPC classification number: B05D3/10 ,  B05D1/30 ,  B05D1/60 ,  B05D3/002 ,  C23C16/409 ,  C23C16/448 ,  C23C16/4481 ,  C23C16/4486 ,  H01L51/44 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 为了提供具有工业优势质量的薄膜的目的，本发明提出了一种成膜方法。本发明的方法的实施方式包括：将含有非质子溶剂(可以是内酯或内酰胺)的原料溶液变成雾或液滴(雾化步骤)，将雾或液滴携带至设置在成膜室的基体上(雾的运送步骤)，以及优选在250℃或以下的温度使雾或液滴反应，从而在基体上成膜(成膜步骤)。

公开(公告)号：CN104043566B

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201310681276.6

申请日：2013-12-12

Applicant: 三星显示有限公司 ,  纳里技术有限公司

Inventor： 朴宰彻 ,  李忠爀 ,  宋大镐 ,  崔洛初 ,  鱼庆恩 ,  吴旻贞 ,  李民雨 ,  裵相钧

IPC: B05C9/14 ,  B05C11/10

CPC classification number: C23C16/00 ,  B05D1/60

Abstract: 本发明提供一种涂覆装置。该涂覆装置包括蒸发部、热分解部、沉积室、真空泵和排气管。沉积室包括上部分、面对上部分的下部分以及将下部分和上部分彼此连接的侧壁部分，该侧壁部分包括入口、第一出口、第二出口、第三出口和第四出口。排气管包括连接到第一出口和第二出口的第一辅助管、连接到第三出口和第四出口的第二辅助管、连接到第一辅助管和第二辅助管的中间管、以及连接到中间管的主管。真空泵被配置为通过排气管从沉积室排出沉积材料的单体中的没有被沉积的部分。

公开(公告)号：CN104968494B

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201480007801.9

申请日：2014-02-05

Applicant: 东洋纺株式会社

Inventor： 江畑崇 ,  伊关清司

IPC: B32B27/00

CPC classification number: C23C14/24 ,  B05D1/60 ,  B05D7/04 ,  B05D2252/02 ,  C08J7/065 ,  C23C14/12 ,  C23C14/562

Abstract: 提供一种即使在将有机阻气层设置于塑料薄膜的表面的情况下，阻气性也优异的阻气膜。一种阻气膜，其特征在于，其在塑料薄膜的至少一个表面上具备含有1,3,5‑三嗪衍生物的有机阻气层，1,3,5‑三嗪衍生物在2,4,6位具有含硫基团作为取代基。

公开(公告)号：CN107406968A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680016858.4

申请日：2016-03-18

Applicant: 株式会社世可

Inventor： 金炫中 ,  金洪徹 ,  金正来 ,  申美爱 ,  李函娜 ,  李受妍

IPC: C23C14/12 ,  G06F3/041 ,  C09D5/14

CPC classification number: C23C14/12 ,  A01N25/10 ,  B05D1/60 ,  B05D5/00 ,  B05D5/083 ,  B05D2203/35 ,  B05D2350/63 ,  C23C14/06 ,  G06F3/041 ,  G06F2203/04103 ,  A01N35/02 ,  A01N43/16 ,  C09D5/14

Abstract: 本发明涉及一种同时实现抗菌性和防水/防油性的功能性涂层剂、该涂层剂的制备方法及利用该涂层剂的涂布方法，具体地，涉及一种用于触摸型显示器等智能设备的使用卫生而为防水/防油性纳米涂布赋予抗菌性的涂层剂的制备及利用真空沉积设备的涂布方法。

公开(公告)号：CN104936771B

公开(公告)日：2017-09-22

申请号：CN201380071001.9

申请日：2013-01-22

Applicant: 埃西勒国际通用光学公司

Inventor： G·富尔南

IPC: B29D11/00

CPC classification number: B05B7/0087 ,  B05B7/2483 ,  B05B12/04 ,  B05D1/60 ,  B05D3/0493 ,  B29D11/00865 ,  G02B1/12 ,  G02B1/18

Abstract: 本发明提供了一种用于使用预定涂覆组合物涂覆光学制品的机器，该机器包括一个真空室(8)，该真空室具有被配置成用于接纳所述光学制品的一个内部空间(31)；连接到所述真空室(8)上的一个真空泵(20)；一个喷雾器(40)，该喷雾器被配置成用于进行所述组合物的真空雾化处理以用于将该组合物沉积在所述真空室中的所述光学制品上；以及一个控制单元(2)，该控制单元被配置成用于控制所述真空泵；所述控制单元被配置成用于引起该真空泵从所述真空室中抽吸气体以便使该真空室达到所述真空雾化处理所需的一个预定所需压力，并且所述控制单元和所述喷雾器被配置成使为液体的所述预定涂覆组合物雾化成气雾剂微滴的薄雾并且引导所述微滴朝向所述光学制品的至少一个表面。

公开(公告)号：CN103545460B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201310285678.4

申请日：2013-07-09

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 李秀奂 ,  成沄澈 ,  金彩雄 ,  崔永默

IPC: H01L51/56 ,  H01L27/32

CPC classification number: H01L51/56 ,  B05D1/60 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  C23C14/56 ,  H01L27/32 ,  H01L27/326 ,  H01L51/0008 ,  H01L2227/323

Abstract: 一种有机层沉积设备，有机发光显示设备及其制造方法。该有机层沉积设备包括：包括第一运送单元和第二运送单元的运送单元、加载单元和卸载单元以及沉积单元。转移单元在第一运送单元与第二运送单元之间移动，并且附接到转移单元的基板在由第一运送单元转移时与沉积单元的多个有机层沉积组件隔开。有机层沉积组件包括公共层沉积组件和图案层沉积组件。

公开(公告)号：CN106457763A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580029504.9

申请日：2015-06-02

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 三村寿文 ,  铃木悠太 ,  永绳智史

IPC: B32B9/00 ,  B32B7/02

CPC classification number: C08J7/047 ,  B05D1/60 ,  B05D1/62 ,  B05D5/00 ,  B05D7/04 ,  B05D7/51 ,  C08J2383/16 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/086

Abstract: 本发明涉及阻气性层合体、其制备方法、由所述阻气性层合体构成的电子器件用部件和具备该电子器件用部件的电子器件，所述阻气性层合体具有：具有基材和改性促进层的基材单元，和在所述基材单元的改性促进层一侧形成的阻气层；所述阻气性层合体的特征在于：所述改性促进层在23℃下的弹性模量低于30GPa，所述基材单元在温度为40℃、相对湿度为90%下的水蒸气透过率为1.0g/(m2·天)以下，所述阻气层是对在所述基材单元的改性促进层一侧形成的含有聚硅氮烷系化合物的层的表面实施改性处理而形成的层。根据本发明，可提供阻气性和耐弯曲性优异的阻气性层合体等。