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公开(公告)号：CN101276053B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200810090311.6
申请日：2008-03-28
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , B81B2201/047
Abstract: 本发明提供一种微振荡器件及微振荡器件阵列，该微振荡器件包括框架、振荡部件以及连接部件，其中该振荡部件包括用以施加参考电位的第一驱动电极，该连接部件用以将该框架和该振荡部件彼此连接，该连接部件定义了该振荡部件的振荡运动轴。第二驱动电极，固定至该框架并与该第一驱动电极协作以产生用于该振荡运动的驱动力。该第一驱动电极包括第一端延伸部和第二端延伸部，该第一端延伸部和第二端延伸部彼此隔离，并在与该轴交叉的方向上延伸。该第二驱动电极处于该第一和第二端延伸部之间的一隔离距离之内。
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公开(公告)号：CN100549754C
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200610009215.5
申请日：2006-02-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0062 , B81B2201/033 , B81B2201/047 , B81B2203/0109 , B81B2203/058
Abstract: 一种微摆动元件包括框体、可移动功能部分以及用于连接框体与可移动功能部分的扭转连接部分。微摆动元件还包括第一和第二梳齿电极，用于产生使可移动功能部分绕扭转连接部分摆动运动的驱动力。第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿具有在摆动运动方向上叠置的第一导体、绝缘体和第二导体的叠层结构，其中第一导体和第二导体相互电连接。第二梳齿电极包括多个第二电极齿，在非工作状态下，第二电极齿不面向第一电极齿的第二导体，但是面向第一导体。第二电极齿在摆动运动的方向上长于第一导体。
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公开(公告)号：CN101329446A
公开(公告)日：2008-12-24
申请号：CN200810110958.0
申请日：2008-06-18
Applicant: JDS尤尼弗思公司
Inventor： 阿卜杜·贾里尔·K.·穆伊杜
CPC classification number: B81B3/004 , B81B2201/033
Abstract: 本发明公开了一种垂直梳状静电驱动器，其用来使微机电微镜装置绕倾斜轴或旋转轴旋转，该梳状驱动器的转子梳齿自微镜装置的子框架延伸，微镜装置包含预应力层，其用来使转子梳齿弯曲至与基底和镜面平台成一角度，使得平台、铰链、转子梳齿和定子梳齿可在同一层中形成，即同一蚀刻步骤。
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公开(公告)号：CN1821830A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610009215.5
申请日：2006-02-14
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0062 , B81B2201/033 , B81B2201/047 , B81B2203/0109 , B81B2203/058
Abstract: 一种微摆动元件包括框体、可移动功能部分以及用于连接框体与可移动功能部分的扭转连接部分。微摆动元件还包括第一和第二梳齿电极，用于产生使可移动功能部分绕扭转连接部分摆动运动的驱动力。第一梳齿电极包括多个第一电极齿，每个第一电极齿具有在摆动运动方向上叠置的第一导体、绝缘体和第二导体的叠层结构，其中第一导体和第二导体相互电连接。第二梳齿电极包括多个第二电极齿，在非工作状态下，第二电极齿不面向第一电极齿的第二导体，但是面向第一导体。第二电极齿在摆动运动的方向上长于第一导体。
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公开(公告)号：CN107077999A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580050418.6
申请日：2015-07-10
Applicant: 索尼公司
Inventor： 盛田伸也
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H1/0036 , B81B2201/033 , B81B2203/0136 , B81B2203/051 , H01H59/0009 , H01H2001/0042 , H01H2001/0063 , H01H2001/0078
Abstract: 为了可迅速执行开关的切换操作。根据本技术的开关装置的一个实施方式，可移动电极具有第一可移动电极片、第二可移动电极片和可移动接触点。所述第一固定电极包括第一固定电极片和第二固定电极片，所述第一固定电极片和所述第二固定电极片彼此相对且在所述第一固定电极片与所述第二固定电极片之间设置有所述第一可移动电极片，所述第一固定电极片以比所述第二固定电极片与所述第一可移动电极片之间的间隙窄的间隙与所述第一可移动电极片相对。所述第二固定电极包括第三固定电极片和第四固定电极片，所述第三固定电极片和所述第四固定电极片彼此相对且在所述第三固定电极片与所述第四固定电极片之间设置有所述第二可移动电极片，所述第三固定电极片以比所述第四固定电极片与所述第二可移动电极片之间的间隙窄的间隙与所述第二可移动电极片相对。所述第一固定接触点能够与通过所述可移动电极和所述第一固定电极之间的静电引力在第一方向上移动的所述可移动接触点接触。所述第二固定接触点能够与通过所述可移动电极和所述第二固定电极之间的静电引力在与所述第一方向相反的第二方向上移动的所述可移动接触点接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103717997B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201180072685.5
申请日：2011-08-09
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor： 成田胜俊
IPC: G01C19/5733 , B81B3/00
CPC classification number: G01B7/14 , B81B3/0086 , B81B2201/033 , G01C19/5733
Abstract: 本发明的位移量监视电极的构造在即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化也能将检测质量的振幅保持为恒定的目标振幅的基础上，分别由基部及从该基部沿着与基板平行的预定轴向延伸的电极指构成的梳齿状的、相对于基板被固定的固定电极和能在预定轴向上位移的可动电极以相互的电极指彼此啮合的方式相向配置，基于固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量来监视应以目标振幅驱动的检测质量的位移量，静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴向的位移量的变化灵敏度在该可动电极向该预定轴向的位移达到与检测质量的目标振幅对应的目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。
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公开(公告)号：CN102712460B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201080023341.0
申请日：2010-05-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , W·朔克 , J·穆霍 , Z·莱什詹
IPC: B81B3/00
CPC classification number: G02B26/0841 , B81B3/0021 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及一种微机械构件，包括一外部定子电极组件(28)和一通过至少一个外弹簧(81)与支架(55)相连的外部执行器电极组件(24)，通过在外部执行器电极组件(24)和外部定子电极组件(28)之间施加第一电压可绕第一旋转轴线(12)调整一可调元件(10)；该微机械构件还包括一内部定子电极组件(30)和一内部执行器电极组件(26)，该内部执行器电极组件带有第一梁(50)，该梁上布置有至少一个电极指(26a，26b)，通过在内部执行器电极组件(26)的至少一个电极指(26a，26b)与内部定子电极组件(30)之间施加第二电压可绕第二旋转轴线(14)调整该可调元件(10)，所述内部执行器电极组件(26)通过沿第二旋转轴线(14)定向的中间弹簧(52)与外部执行器电极组件(24)相连。本发明还涉及一种微机械构件制造方法。
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公开(公告)号：CN102387983B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN200980129796.8
申请日：2009-06-15
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0037 , B81B2201/033 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种微机械结构(1)，尤其是传感器或执行器，包括至少一个由至少两个可相互相对调节的结构部段(6，7，8，9)限制的工作间隙(4，5)和包括用于调整该工作间隙宽度的机构。按照本发明规定，该机构通过对至少一个在微机械结构(1)运行期间相对于一个参照点固定的结构部段(6，7)相对于在运行中相对于这个参照点可运动的结构部段(8，9)进行调节来扩宽该工作间隙(4，5)。本发明此外涉及一种用于调整工作间隙宽度的方法。
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公开(公告)号：CN102164848B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN200980137984.5
申请日：2009-08-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： A·法伊
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81B7/007 , B81B2201/033 , B81B2207/095 , B81C2203/0118 , B81C2203/036 , Y10T29/49126
Abstract: 按照本发明的用于制造微机械构件(300)的方法包括以下步骤：提供第一衬底(100)，在第一衬底(100)上形成微结构(150)，其中微结构(150)具有可动的功能元件(151)，提供第二衬底(200)，以及在第二衬底(200)中构造电极(251)，用以电容式检测功能元件(151)的偏移。该方法还包括将第一和第二衬底(100；200)相连接，其中，形成封闭的空腔，该空腔包围功能元件(151)，并且电极(251)在功能元件(151)的区域内邻接于该空腔。
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公开(公告)号：CN101056072B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200710090110.1
申请日：2007-04-12
Applicant: JDS尤尼弗思公司
Inventor： 斯蒂芬·H.·莫法特 , 约翰·M.·米勒
CPC classification number: B81C1/00174 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , H02N1/008
Abstract: 本发明涉及一种对横向对准公差要求较宽松的错列垂直梳状驱动器执行器的加工方法。首先使用自对准双层掩模从正面蚀刻晶片的器件层，以确定移动和固定梳齿的交叉齿爪。第二次蚀刻步骤是有选择地去除两组齿爪之一的顶部，以此对其进行垂直方向的减薄。此时将晶片的正面与一承载晶片结合。之后再从器件层背面对晶片进行有选择的蚀刻，以去除第二组齿爪的下部，从而形成齿爪具备纵向偏移且相互交叉的移动和固定梳齿。
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