复合传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102510995B

    公开(公告)日:2015-03-04

    申请号:CN201080040181.0

    申请日:2010-06-16

    Abstract: 本发明的复合传感器,具有:第一单元,其包括相互对称地配置且能够沿驱动方向及检测方向进行位移的第一及第二振动器;第二单元,其包括相互对称地配置且能够沿与所述驱动方向及所述检测方向相同的轴向进行位移的第三及第四振动器;驱动部,其驱动所述第一、第二、第三及第四振动器,以使所述第一及第二驱动件彼此、所述第三及第四振动器彼此以相互相反的相位进行振动,并使所述第一单元及所述第二单元彼此也以相互相反的相位进行振动;以及检测部,其检测所述第一、第二、第三及第四振动器的所述检测方向的位移。

    位移量监测电极的构造
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103140736B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201180047251.X

    申请日:2011-08-26

    Inventor: 成田胜俊

    CPC classification number: G01P15/125 G01C19/5747

    Abstract: 本发明的位移量监测电极的构造,即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化,也能够将检测质量块的振幅保持为一定的目标振幅,而且伴随可动电极向预定轴方向移动,固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量直线地变化的直线变化区域和静电电容的变化量非直线地变化的非直线变化区域各存在至少一个,含有非直线变化区域中的静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴方向的位移量的变化灵敏度比直线变化区域中的变化灵敏度大的特性,并且可动电极向预定轴方向的位移达到与检测质量块的目标振幅对应的目标位移量时的静电电容的目标电容变化量被设定在非直线变化区域。

    位移量监视电极的构造
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103717997A

    公开(公告)日:2014-04-09

    申请号:CN201180072685.5

    申请日:2011-08-09

    Inventor: 成田胜俊

    CPC classification number: G01B7/14 B81B3/0086 B81B2201/033 G01C19/5733

    Abstract: 本发明的位移量监视电极的构造在即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化也能将检测质量的振幅保持为恒定的目标振幅的基础上,分别由基部及从该基部沿着与基板平行的预定轴向延伸的电极指构成的梳齿状的、相对于基板被固定的固定电极和能在预定轴向上位移的可动电极以相互的电极指彼此啮合的方式相向配置,基于固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量来监视应以目标振幅驱动的检测质量的位移量,静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴向的位移量的变化灵敏度在该可动电极向该预定轴向的位移达到与检测质量的目标振幅对应的目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。

    位移量监视电极的构造
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103717997B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201180072685.5

    申请日:2011-08-09

    Inventor: 成田胜俊

    CPC classification number: G01B7/14 B81B3/0086 B81B2201/033 G01C19/5733

    Abstract: 本发明的位移量监视电极的构造在即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化也能将检测质量的振幅保持为恒定的目标振幅的基础上,分别由基部及从该基部沿着与基板平行的预定轴向延伸的电极指构成的梳齿状的、相对于基板被固定的固定电极和能在预定轴向上位移的可动电极以相互的电极指彼此啮合的方式相向配置,基于固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量来监视应以目标振幅驱动的检测质量的位移量,静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴向的位移量的变化灵敏度在该可动电极向该预定轴向的位移达到与检测质量的目标振幅对应的目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。

    位移量监测电极的构造
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103140736A

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201180047251.X

    申请日:2011-08-26

    Inventor: 成田胜俊

    CPC classification number: G01P15/125 G01C19/5747

    Abstract: 本发明的位移量监测电极的构造,即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化,也能够将检测质量块的振幅保持为一定的目标振幅,而且伴随可动电极向预定轴方向移动,固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量直线地变化的直线变化区域和静电电容的变化量非直线地变化的非直线变化区域各存在至少一个,含有非直线变化区域中的静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴方向的位移量的变化灵敏度比直线变化区域中的变化灵敏度大的特性,并且可动电极向预定轴方向的位移达到与检测质量块的目标振幅对应的目标位移量时的静电电容的目标电容变化量被设定在非直线变化区域。

    复合传感器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102510995A

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:CN201080040181.0

    申请日:2010-06-16

    Abstract: 本发明的复合传感器,具有:第一单元,其包括相互对称地配置且能够沿驱动方向及检测方向进行位移的第一及第二振动器;第二单元,其包括相互对称地配置且能够沿与所述驱动方向及所述检测方向相同的轴向进行位移的第三及第四振动器;驱动部,其驱动所述第一、第二、第三及第四振动器,以使所述第一及第二驱动件彼此、所述第三及第四振动器彼此以相互相反的相位进行振动,并使所述第一单元及所述第二单元彼此也以相互相反的相位进行振动;以及检测部,其检测所述第一、第二、第三及第四振动器的所述检测方向的位移。

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