公开(公告)号：JP2016535306A

公开(公告)日：2016-11-10

申请号：JP2016536103

申请日：2014-07-28

Applicant: ピクストロニクス,インコーポレイテッド

Inventor： タイラー・エー・ダン ,  ティモシー・ジェイ・ブロスニハン

IPC: G02B26/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G09F9/37

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0086 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/056 ,  B81C1/00634 ,  B81C2201/0161 ,  G02B26/023

Abstract: 本開示は、高さ延長アクチュエータを組み込むMEMSディスプレイのためのシステム、方法および装置を提供する。基板と、基板に結合される反対面との間に光変調構成要素を位置決めすることができる。吊り下げ電極を、光変調構成要素に結合し、基板と反対面との間に吊り下げることができる。高さ延長電極を、吊り下げ電極に直に隣接して位置決めすることができ、高さ延長電極は、基板から、吊り下げ電極の高さを越える高さまで上方に延在することができる。吊り下げ電極および高さ延長電極は、光変調構成要素を基板に対して横方向に移動させるように構成することができる。

Abstract translation: 本发明提供了系统，方法和装置，用于MEMS显示掺入高度延伸致动器。 可被定位与基板，上述光学调制部件被放置在相对表面被接合到所述衬底之间。 悬挂电极，耦合至所述光学调制部件可以在衬底和相对表面之间被挂起。 高度延伸电极，直接挂可以邻近于定位电极，所述高度延伸电极可向上从衬底延伸，以高度超过悬挂电极的高度。 悬挂电极和高度延伸电极可构成光调制元件侧向相对于基片移动。

公开(公告)号：TWI220423B

公开(公告)日：2004-08-21

申请号：TW091119658

申请日：2002-08-29

Applicant: HRL實驗室LLC HRL LABORATORIES, LLC.

Inventor： 倫道爾L. 庫比納 KUBENA, RANDALL L.

IPC: B81C

CPC classification number: B81C1/00206 ,  B81B2201/0214 ,  B81C1/00904 ,  B81C2201/0161 ,  G01N29/036 ,  G01N2291/0256

Abstract: 一種生化感測器的製造方法，包括下列步驟：提供一晶圓，包括複數個懸臂組，各該等懸臂組包括一懸臂元件以及一微通道架構，黏著於該懸臂元件上，該微通道架構上更包括一微通道，藉由引導複數功能材料通過該微通道而功能化該等懸臂，切割該晶圓成為複數個該等感測器。懸臂組包括一基板具有控制感應電極設置於該基板的該頂端部，在該基板的底端部以蝕刻法做切割道的記號，一懸臂元件具有一懸臂、一晶種層以及一接觸墊於該懸臂元件的該頂面，一微通道架構具有一微通道外殼，由該微通道蝕刻形成該微通道外殼，其中，該懸臂元件黏著於該基板，該微通道架構係黏著於該懸臂元件的該頂面，控制及整合電流進入構造物而完成整個積體電路的設計。

Abstract in simplified Chinese: 一种生化传感器的制造方法，包括下列步骤：提供一晶圆，包括复数个悬臂组，各该等悬臂组包括一悬臂组件以及一微信道架构，黏着于该悬臂组件上，该微信道架构上更包括一微信道，借由引导复数功能材料通过该微信道而功能化该等悬臂，切割该晶圆成为复数个该等传感器。悬臂组包括一基板具有控制感应电极设置于该基板的该顶端部，在该基板的底端部以蚀刻法做切割道的记号，一悬臂组件具有一悬臂、一晶种层以及一接触垫于该悬臂组件的该顶面，一微信道架构具有一微信道外壳，由该微信道蚀刻形成该微信道外壳，其中，该悬臂组件黏着于该基板，该微信道架构系黏着于该悬臂组件的该顶面，控制及集成电流进入构造物而完成整个集成电路的设计。

公开(公告)号：TW201512703A

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：TW103127141

申请日：2014-08-07

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司 ,  PIXTRONIX, INC.

Inventor： 杜恩 泰勒A ,  DUNN, TYLER A. ,  布洛斯尼漢 堤摩西J ,  BROSNIHAN, TIMOTHY J.

IPC: G02B26/02 ,  G02F1/01 ,  B81B7/04

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0086 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/056 ,  B81C1/00634 ,  B81C2201/0161 ,  G02B26/023 ,  G02B26/0841

Abstract: 本發明提供用於合併延伸高度致動器之一微機電系統(MEMS)顯示器之系統、方法及裝置。一光調變組件可定位於一基板與耦合至該基板之一對置表面之間。一懸置電極可耦合至該光調變組件且懸置於該基板與該對置表面之間。一延伸高度電極可定位成緊鄰於該懸置電極，且可從該基板向上延伸至超過該懸置電極之高度之一高度。該懸置電極及該延伸高度電極可經組態以相對於該基板而橫向移動該光調變組件。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供用于合并延伸高度致动器之一微机电系统(MEMS)显示器之系统、方法及设备。一光调制组件可定位于一基板与耦合至该基板之一对置表面之间。一悬置电极可耦合至该光调制组件且悬置于该基板与该对置表面之间。一延伸高度电极可定位成紧邻于该悬置电极，且可从该基板向上延伸至超过该悬置电极之高度之一高度。该悬置电极及该延伸高度电极可经组态以相对于该基板而横向移动该光调制组件。