公开(公告)号：CN109539976A

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201811403677.4

申请日：2018-11-23

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 付海金 ,  王珂 ,  胡鹏程 ,  谭久彬

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02

CPC classification number: G01B9/02058 ,  G01B9/0201 ,  G01B11/02

Abstract: 基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域；本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化，使得干涉信号产生足够的相位变化，实现对干涉信号特征参数的预提取，从而利用预提取的特征参数对零差干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正，实现高精度位移测量；本发明实现了对零差干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。

公开(公告)号：CN104279969B

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：CN201410320417.6

申请日：2014-07-04

Applicant: 韩国标准科学研究院

Inventor： 金在完 ,  金钟安 ,  姜宙植 ,  陈宗汉

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/06 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02081 ,  G01B11/14 ,  G01N21/211 ,  G01N21/45 ,  G01N2021/213 ,  G01S17/36

Abstract: 本发明提出了使用满足预定条件的两个波长来测量厚度的厚度测量装置和厚度测量方法。所述厚度测量方法包括以下步骤：将第一波长λ1的第一激光束照射至透明基板且测量透过所述透明基板的第一激光束的强度；将第二波长λ2的第二激光束照射至所述透明基板且测量透过所述透明基板的第二激光束的强度；并且使用透过所述透明基板的第一激光束和第二激光束来提取利萨如图形上的旋转角。将所述第一激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差以及所述第二激光束的经过多次内反射的相邻光线之间的相位差保持在π/2。所述厚度测量装置包括第一激光器、第二激光器、光耦合器、光检测器和处理单元。

公开(公告)号：CN103371869A

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201310150087.6

申请日：2013-04-26

Applicant: 三星电子株式会社 ,  高丽大学校产学协力团

Inventor： 任宰均 ,  金法敏 ,  郑原周 ,  丁泫友 ,  李性德 ,  张祐荣

IPC: A61B19/00 ,  A61B5/00

CPC classification number: G01B9/02091 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02083

Abstract: 公开了一种产生断层扫描图像的设备和方法。所述方法包括：检测包括目标对象的横截面信息的干涉信号，以作为沿相对于目标对象的横截面的第一方向被相位调制的目标对象的原数据；通过基于固定窗口尺寸调整定义了滤波的函数的至少一个参数来对原数据进行解调；通过对解调的原数据进行处理来产生目标对象的断层扫描图像。

公开(公告)号：CN103251387A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310008271.7

申请日：2013-01-09

Applicant: 三星电子株式会社 ,  高丽大学校产学协力团

Inventor： 任宰均 ,  崔泫 ,  崔珉硕 ,  崔瑗熙 ,  李性德 ,  张祐荣 ,  金法敏 ,  丁泫友

IPC: A61B5/00

CPC classification number: G01B9/02 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02058 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/65 ,  G02B26/06 ,  G02B26/103 ,  G02B26/105 ,  G02B2207/117

Abstract: 本发明公开了一种光学探头和包括该光学探头的光学相干断层扫描设备。一种用于将光照射在对象上的光学探头，所述光学探头包括：光路控制单元，控制从外部传输的光的路径；光程控制元件，将光程控制为随着光的路径在光路控制单元中被调节而改变；光学输出单元，输出穿过光程控制元件的光。

公开(公告)号：CN100565094C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN03802580.9

申请日：2003-01-23

Applicant: 克希瑞克斯公司

Inventor： M·J·梅特

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0201 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02079

Abstract: 一种干涉测量方法，使用标称为固定的(但未知并改变的)频率和相位角的激光器，例如，由于激光的漂移。以远大于物件相移的频率对干涉图周期性采样。使用相关算法从采样的图形再现波长。使用n桶算法确定相位角。当在全部多倍波长上确定全部复合信息后，使用常规干涉技术计算物件的表面。因此，通常被认为起消极作用的激光器的漂移得到了积极使用。

公开(公告)号：CN100520361C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200610028629.2

申请日：2006-07-05

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 步鹏 ,  王向朝

IPC: G01N21/45 ,  A61B5/00

CPC classification number: G01B9/02078 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02091

Abstract: 一种全深度探测的频域光学相干层析成像的方法及其系统，方法是利用正弦相位调制方法重建低相干光频域干涉信号的复振幅量，然后对该复振幅信号作逆傅立叶变换得到被测物体的层析图，以消除频域光学相干层析成像中存在的复共轭镜像、直流背景和自相干噪声三种寄生像，达到扩大频域光学相干层析成像的成像深度为原来的2倍，实现全深度探测的频域光学相干层析成像的目的。本发明与现有技术相比具有抗环境干扰能力强，对光源波长无关和系统结构简单的优点。

公开(公告)号：CN1692268A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN03802580.9

申请日：2003-01-23

Applicant: 克希瑞克斯公司

Inventor： M·J·梅特

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0201 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02079

Abstract: 一种干涉测量方法，使用标称为固定的(但未知并改变的)频率和相位角的激光器，例如，由于激光的漂移。以远大于物件相移的频率对干涉图周期性采样。使用相关算法从采样的图形再现波长。使用n桶算法确定相位角。当在全部多倍波长上确定全部复合信息后，使用常规干涉技术计算物件的表面。因此，通常被认为起消极作用的激光器的漂移得到了积极使用。

公开(公告)号：CN108061515A

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201711089578.9

申请日：2017-11-08

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 川崎和彦

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02079 ,  G01B9/0201 ,  G01B2290/30 ,  G01B9/02087 ,  G01B9/02027 ,  G01B11/2441

Abstract: 目的是提供一种用于形状测量的相位偏移干涉仪。相位偏移干涉仪由低廉组件构成，并且在较短时间内实现高精度的形状测量。解决方式：相位偏移干涉仪被配置为通过在使干涉条纹的相位偏移的情况下获取干涉条纹的多个图像来测量测量对象的形状。利用偏光使干涉条纹相对于彼此有90°的相位差。在根据传统相位偏移法使参考面或参考光路机械移位以使相位偏移的情况下，利用两个照相机分别拍摄干涉条纹的图像。根据照相机所获取到的各图像来独立计算干涉条纹的相位，并且计算两个相位计算结果的平均值。因而，即使由于移位台的移位误差而针对各照相机发生相位分析误差，也可以通过计算这两个结果的平均值来抵消分析误差，结果实现了高精度的测量。

公开(公告)号：CN108027320A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680051708.7

申请日：2016-08-18

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： V·莱温斯基 ,  Y·帕斯卡维尔 ,  Y·卢巴舍夫斯基 ,  A·玛纳森

IPC: G01N21/47 ,  G01J3/44

CPC classification number: G01B11/272 ,  G01B9/0201 ,  G01N21/4788 ,  G03F7/70633

Abstract: 本发明提供计量测量方法及工具，其由固定的照明源照明固定的衍射目标；测量由零阶衍射信号及一阶衍射信号的总和组成的信号；维持所述衍射目标及所述照明源固定的同时，针对所述零与所述第一衍射信号之间的多个关系重复所述测量；及从所述测量总和导出所述一阶衍射信号。照明可为相干的且可在光瞳平面中测量，或照明可为不相干的且可在场平面中测量，在任一情况下，测量所述零与所述一衍射阶的部分重叠。照明可为环形且所述衍射目标可为带有具有不同节距以分离所述重叠区域的周期性结构的单个单元SCOL目标。

公开(公告)号：CN102105105B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN200980128730.7

申请日：2009-07-21

Applicant: 光视有限公司

Inventor： 托尼·柯 ,  赵勇华 ,  戴维·黄

IPC: A61B6/00

CPC classification number: A61B3/102 ,  A61B3/0025 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0073 ,  A61B5/7257 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091

Abstract: 本申请提出了一种成像仪，该成像仪可以提供与样品中的不同深度相对应的分离图像。根据本发明的一些实施例，成像仪可以包括：光源；样品臂，接收来自光源的光，将所述光导引至样品，并且捕获从所述样品返回的光；调制源，提供与所述样品中的不同成像深度相对应的不同调制；检测器系统，用于接收采用不同调制从样品捕获的光；以及处理器，接收来自检测器系统的光，并且对与所述样品中的不同成像深度相对应的多个图像进行分离。