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公开(公告)号：CN106352789B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201610552319.4
申请日：2016-07-13
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种瞬时相位偏移干涉仪，其使用相干距离比从参考面反射的光和从测量面反射的光之间的光路长度差小的光源。分割来自该光源的光束，并且使用能够调整的延迟光路来使第一光束延迟以引起光路长度差，并且将第一光束叠加在与第二光束相同的光轴上，之后产生参考光束和测量光束。在调整期间改变延迟光路的光路长度，分别拍摄多个干涉条纹图像，并且计算各个干涉条纹图像中所获得的干涉条纹的偏压、振幅和相位偏移量至少之一。基于偏压计算结果、振幅计算结果和相位偏移量计算结果来对测量对象的形状进行测量。
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公开(公告)号：CN108061515B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201711089578.9
申请日：2017-11-08
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 川崎和彦
Abstract: 目的是提供一种用于形状测量的相位偏移干涉仪。相位偏移干涉仪由低廉组件构成，并且在较短时间内实现高精度的形状测量。解决方式：相位偏移干涉仪被配置为通过在使干涉条纹的相位偏移的情况下获取干涉条纹的多个图像来测量测量对象的形状。利用偏光使干涉条纹相对于彼此有90°的相位差。在根据传统相位偏移法使参考面或参考光路机械移位以使相位偏移的情况下，利用两个照相机分别拍摄干涉条纹的图像。根据照相机所获取到的各图像来独立计算干涉条纹的相位，并且计算两个相位计算结果的平均值。因而，即使由于移位台的移位误差而针对各照相机发生相位分析误差，也可以通过计算这两个结果的平均值来抵消分析误差，结果实现了高精度的测量。
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公开(公告)号：CN108061515A
公开(公告)日：2018-05-22
申请号：CN201711089578.9
申请日：2017-11-08
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 川崎和彦
CPC classification number: G01B9/02079 , G01B9/0201 , G01B2290/30 , G01B9/02087 , G01B9/02027 , G01B11/2441
Abstract: 目的是提供一种用于形状测量的相位偏移干涉仪。相位偏移干涉仪由低廉组件构成，并且在较短时间内实现高精度的形状测量。解决方式：相位偏移干涉仪被配置为通过在使干涉条纹的相位偏移的情况下获取干涉条纹的多个图像来测量测量对象的形状。利用偏光使干涉条纹相对于彼此有90°的相位差。在根据传统相位偏移法使参考面或参考光路机械移位以使相位偏移的情况下，利用两个照相机分别拍摄干涉条纹的图像。根据照相机所获取到的各图像来独立计算干涉条纹的相位，并且计算两个相位计算结果的平均值。因而，即使由于移位台的移位误差而针对各照相机发生相位分析误差，也可以通过计算这两个结果的平均值来抵消分析误差，结果实现了高精度的测量。
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公开(公告)号：CN106352789A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610552319.4
申请日：2016-07-13
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种瞬时相位偏移干涉仪，其使用相干距离比从参考面反射的光和从测量面反射的光之间的光路长度差小的光源。分割来自该光源的光束，并且使用能够调整的延迟光路来使第一光束延迟以引起光路长度差，并且将第一光束叠加在与第二光束相同的光轴上，之后产生参考光束和测量光束。在调整期间改变延迟光路的光路长度，分别拍摄多个干涉条纹图像，并且计算各个干涉条纹图像中所获得的干涉条纹的偏压、振幅和相位偏移量至少之一。基于偏压计算结果、振幅计算结果和相位偏移量计算结果来对测量对象的形状进行测量。
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