公开(公告)号：KR1020010098212A

公开(公告)日：2001-11-08

申请号：KR1020000022991

申请日：2000-04-28

Applicant: 케이맥(주)

Inventor： 김진용 ,  박지종 ,  오재석 ,  이중환

IPC: G01J3/26

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/265 ,  G01J2003/451

Abstract: 본 발명은 간섭계의 거울을 정밀 구동하기 위해 고안된 솔레노이드와 자석을 이용한 구동장치이다. 이 장치는 도 4 의 구성에 의하여 고정자석과 구동자석들 간의 반발력에 의한 힘의 균형을 솔레노이드 제어를 통하여 서서히 변화시킴으로서 거울이 장착된 회전부가 미소진동없이 서서히 정밀구동하도록 설계되었다. 이로서 간섭계의 거울을 이동할 때, 기존 접촉식 구동부의 기계적 정밀도 한계로 발생할 수 있는 미소진동을 제거함으로서 최종적인 시스템 신호의 잡음요인을 극소화하였다.

公开(公告)号：TW249278B

公开(公告)日：1995-06-11

申请号：TW080104300

申请日：1991-06-01

Applicant: 三井石油化學工業股份有限公司

Inventor： 上原義人 ,  大枝靖雄 ,  大股健 ,  寺田貢 ,  寺師雄一郎 ,  柴田榮章

IPC: G01J ,  H01S

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01J2003/265

Abstract: 一個待測的雷射振盪光束被導入一個干涉儀（Etalon），一個同心圓形干涉紋從干涉儀導引出來照射到一維光檢波陣列，然後由該量測過的干涉紋直徑以量測雷射光束的波長。
像上面所述的安排，參考振盪光束和待測的雷射振盪光束同時被導入干涉儀，可以得到非常高度準確的波長測量，而不會受光學系統位置的偏差和精確性的影響。

Abstract in simplified Chinese: 一个待测的激光振荡光束被导入一个干涉仪（Etalon），一个同心圆形干涉纹从干涉仪导引出来照射到一维光检波数组，然后由该量测过的干涉纹直径以量测激光光束的波长。 像上面所述的安排，参考振荡光束和待测的激光振荡光束同时被导入干涉仪，可以得到非常高度准确的波长测量，而不会受光学系统位置的偏差和精确性的影响。