公开(公告)号：EP0512450A2

公开(公告)日：1992-11-11

申请号：EP92107488.6

申请日：1992-05-04

Applicant: CANON KABUSHIKI KAISHA

Inventor： Otsuka, Masaru, c/o Canon Kabushiki Kaisha

IPC: G01J9/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01J9/04 ,  G01J2009/0207

Abstract: A wavelength variation measuring apparatus is disclosed. A light beam from a light source device capable of controlling an oscillation wavelength is divided into two light beams by a light divider. A predetermined optical path length difference is imparted to the divided light beams to synthesize the beams by a light synthesizer. A part of the synthesized light is used as detection light and the rest of the synthesized light is used as measuring light. A beat signal is detected from the detection light by a photodetector. A feedback control is effected to the light source device by use of the beat signal to thereby stabilize the oscillated wavelength of the light source device and to direct the measuring light to an object to be measured. The beat signal is rendered as a measurement data correction signal, and measurement data obtained by directing the measuring light to the object to be measured is corrected.

Abstract translation: 公开了一种波长变化测量装置。 来自能够控制振荡波长的光源装置的光束被分光器分成两束光束。 对分割的光束赋予预定的光程长度差以通过光合成器合成光束。 将合成光的一部分用作检测光，其余的合成光用作测量光。 通过光电检测器从检测光检测拍频信号。 通过使用拍频信号对光源装置进行反馈控制，从而稳定光源装置的振荡波长并将测量光引导到待测物体。 将拍频信号呈现为测量数据校正信号，并且通过将测量光指向待测量对象而获得的测量数据被校正。

公开(公告)号：EP0357754A1

公开(公告)日：1990-03-14

申请号：EP89903482.0

申请日：1989-03-11

Applicant: Tabarelli, Werner

Inventor： LÖBACH, Ernst ,  LEUCHS, Gerhard

IPC: G01J9 ,  G01N21

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01J2009/0207 ,  G01N21/45

Abstract: Un agencement de détermination de la longueur d'onde de faisceaux de rayons de lumière dans un milieu ou de l'indice de réfraction dudit milieu comprend au moins deux corps stationnaires de mesure (11a, 11b, 11c) de différentes longueurs dont chacun détermine un trajet géométrique différent pour deux faisceaux partiels de rayons formés par une lame séparatrice. Chaque faisceau partiel de rayons (f2) d'une telle paire de faisceaux partiels de rayons parcourt dans le milieu un trajet (d1, d2, d3) déterminé par le corps de mesure correspondant (11a, 11b ou 11c). Deux faisceaux de rayons de lumière présentent des fréquences différentes (f1, f2). Un des faisceaux partiels de rayons de chaque paire de faisceaux partiels de rayons est formé par le faisceau de rayons de lumière ayant la fréquence (f1), et l'autre faisceau partiel de chaque paire de faisceaux partiels est formé par le faisceau de rayons de lumière ayant l'autre fréquence (f2). Un détecteur photoélectrique détermine la relation de phases de pleurage de chaque faisceau de rayons de sortie (15a-c) formé par superposition et par recombinaison des deux faisceaux partiels de rayons de chaque paire de faisceaux partiels de rayons. Cette relation de phases constitue une mesure de la différence entre les trajets optiques de chaque faisceau partiel de rayons d'une paire de faisceaux partiels de rayons.