光学微型光谱仪
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101263372A

    公开(公告)日:2008-09-10

    申请号:CN200680026072.7

    申请日:2006-05-17

    CPC classification number: G01J3/0256 G01J3/0208 G01J3/20

    Abstract: 一种具有多晶片结构的光谱仪(10,20,30,40,50)。该结构可以利用MEMS技术来制造。该光谱仪可以与流体分析器(110)集成。连同光发射点(17)和检测器(19)一起位于罗兰圆(15)的圆周上的诸如衍射或全息光栅的反射光栅(14)可以是光谱仪的配置。一些配置可使用外部光源,其中光可被光学传送到该圆上的发射点(17)。可以存在拉曼配置,其中光和流体分析器中的通道的样品或交互式薄膜(49)的相互作用是光谱仪的光发射点。在光谱仪的一些配置中,光栅(14,55)和/或薄膜可以是反射的或透射的。

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