公开(公告)号：CN103168225A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201180050245.X

申请日：2011-10-25

Applicant: 阿库里赛托梅特斯公司

Inventor： 科林·A·里奇

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N15/1434 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/18 ,  G01J3/36 ,  G01N15/14 ,  G01N15/1404 ,  G01N15/1429 ,  G06F19/10 ,  G06F19/12 ,  G06F19/26 ,  G06M11/02

Abstract: 在具有询问区和照射询问区的照明源的流式细胞仪中的系统包括：透镜子系统、检测器阵列和用户接口，所述透镜子系统包括准直来自询问区的光的准直元件，将准直光色散到光谱的光色散元件，和将光谱聚焦到相邻检测点的阵列的聚焦透镜；所述检测器阵列包括共同检测输入光信号的全光谱范围的半导体检测器器件，其中每个检测器器件检测光信号的全光谱范围内的一个子光谱范围;所述用户接口使用户通过对检测器阵列中的检测器进行分组能够创建一组虚拟的检测器通道，使得每个虚拟的探测器通道对应一个检测器组，并具有包括在对应的检测器组中的检测器的子光谱范围的总和的虚拟的检测器通道范围。

公开(公告)号：CN101819384B

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201010116824.7

申请日：2010-02-09

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： H·A·J·克瑞姆 ,  A·G·M·基尔斯 ,  H·P·M·派勒曼斯

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/4412 ,  G01N21/4788 ,  G01N21/9501 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7049 ,  G03F9/7065 ,  G03F9/7088 ,  G03F9/7092

Abstract: 本发明提供一种检验设备、光刻设备、光刻处理单元以及检验方法。对于角度分解光谱测量，使用具有四个扇形的照射轮廓的辐射束。第一和第三扇形被照射，而第二和第四扇形没有被照射。因此，最终的光瞳面被分成四个扇形，并且仅零级衍射图案出现在第一和第三扇形中，而仅第一级衍射图案出现在第二和第三扇形中。

公开(公告)号：CN102869963A

公开(公告)日：2013-01-09

申请号：CN201080064481.2

申请日：2010-05-05

Applicant: 台湾超微光学股份有限公司

Inventor： 柯正浩

IPC: G01J3/18

CPC classification number: G02B6/34 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18

Abstract: 一种微型光谱仪的光学机构，包括一输入部、一上波导板、一下波导板及一微型绕射光栅。输入部是用来接收一光学信号并将光学信号射出到光学机构的内部。上波导板具有一第一反射面。下波导板实质上平行于上波导板设置，并具有一第二反射面，其中第一反射面与第二反射面相对。在第一反射面与第二反射面之间形成一光通道，使来自于输入部的光学信号在光通道内行进。微型绕射光栅用以将于光通道中传送的光学信号分离为多个光谱分量，并使该些光谱分量射向该光谱仪后端的一影像撷取组件。

公开(公告)号：CN102498374A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201080038143.1

申请日：2010-07-28

Applicant: NEC软件系统科技有限公司

Inventor： 上村一平

IPC: G01J3/51 ,  G01J3/36 ,  G02B5/18

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/1895 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/36 ,  G01J3/51 ,  G02B5/1809 ,  G02B5/204 ,  G02B27/1013 ,  G02B27/1086 ,  G02B27/4244

Abstract: 本发明公开一种光学单元，该光学单元具有将透射光分光的滤光片部件(1)和具有多个光接收元件的光检测器(2)。该滤光片部件(1)具有透光性的基板、包括第一金属材料并且形成在该基板的一个表面上的多个凸部、和包括具有比第一金属材料高的折射系数的第二金属材料，并且形成为覆盖该多个凸部以及该基板的一个表面的金属膜。该多个凸部设置成使得位于相邻凸部之间的金属膜用作衍射光栅，而该凸部用作波导。设定所述衍射光栅的光栅周期、所述凸部的高度和所述金属膜的厚度的其中至少一个，使得透过该滤光片部件的光的波长对于每个部分变化，而对于每个所述部分为不同的值。光探测器(2)设置成使得该多个光接收元件(21)的每个接收透过该滤光片部件(1)的光。

公开(公告)号：CN102435311A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110264333.1

申请日：2011-09-07

Applicant: 杭州远方光电信息股份有限公司

Inventor： 潘建根

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/2823 ,  G01J3/0221 ,  G01J3/18

Abstract: 本发明公开了一种光纤束光谱仪，包括光纤束、色散元件、阵列探测器元件，通过将光纤束的输出端编排成光狭缝，并固定设置在色散元件的入射光路上，直接作为光谱仪的入射狭缝，能大幅减小取样光信号能量损失，大幅提高仪器灵敏度，并因此而降低了仪器的非线性、暗噪声和杂散光误差，具有较高的测量精度以及较快的测量速度。利用二维阵列探测器和光纤束输入端和输出端光纤单元的有序编排，以及多套子光纤束光谱仪的并接，本发明的光纤束光谱仪能够实现二维图像光谱测量和多目的光谱测量，具有无需机械扫描或切换机构、测量速度快、精度高、配置灵活、应用范围广等优点。

公开(公告)号：CN102165337A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN200980134850.8

申请日：2009-10-19

Applicant: 宁波源禄光电有限公司

Inventor： 相连钦 ,  相小锋

IPC: G02B5/18 ,  G01J3/18

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/18 ,  G02B5/1861

Abstract: 本发明涉及光谱仪和其中使用的光学系统。特别是，本发明所涉的光学系统和装置改进了光谱仪的功能，增加了设计上的灵活性和设计方案的选择性。例如，本发明的光学系统具有像差校正凹面衍射光栅和一个或多个的透射像差校正器。

公开(公告)号：CN1650151B

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：CN02829479.3

申请日：2002-07-12

Applicant: 河流诊断公司

Inventor： 格温·扬·普佩尔斯

IPC: G01J3/18 ,  G01J3/447

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/447

Abstract: 使用光栅对入射光衍射从而进行光谱分析。至少入射光的一部分被分离，使得该部分主要包含入射光的某一部分偏振光。保证该分离部分与入射光的剩余部分以与偏振的主方向平行的方向到达光栅，此时光栅的衍射效率最高。出于该目的，当通过一个偏振旋转元件后，至少被分离的那部分被衍射。

公开(公告)号：CN101542246A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000503.1

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  H·泰希曼 ,  能野隆文 ,  铃木智史 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块(1)中，由于本体部(2)为板状，因而能够通过本体部(2)的薄型化来谋求小型化。并且，由于本体部(2)为板状，因而例如能够利用晶圆工艺来制造分光模块(1)。即，通过对作为多个本体部(2)的玻璃晶圆，以矩阵状设置透镜部(3)、衍射层(4)、反射层(6)以及光检测元件(7)设置成矩阵状，并切割该玻璃晶圆，能够制造多个分光模块(1)。如此，能够容易地大量生产分光模块(1)。

公开(公告)号：CN101432605A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200780015125.X

申请日：2007-04-23

Applicant: 康宁股份有限公司

Inventor： L·E·科默斯科特二世

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02 ,  G01J3/18

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/04 ,  G01J3/2823 ,  G02B5/1852

Abstract: 本发明描述了单片欧浮纳分光计，以及各种部件如衍射光栅和狭缝，所有这些部件都采用现有技术的金刚石加工方法来制造。在一个实施方式中，单片欧浮纳分光计直接使用金刚石加工方法制造。在另一个实施方式中，单片欧浮纳分光计使用由金刚石加工方法制得的模具来制造。在另一个实施方式中，衍射光栅直接使用金刚石加工方法制造。在另一个实施方式中，衍射光栅使用由金刚石加工方法制得的模具来制造。在另一个实施方式中，狭缝直接使用金刚石加工方法制造。

公开(公告)号：CN101231383A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200810033887.9

申请日：2008-02-26

Applicant: 上海激光等离子体研究所

Inventor： 李铭 ,  戴亚平 ,  王韬 ,  张彬 ,  范正修

IPC: G02B17/06 ,  G02B27/09 ,  H01S3/10

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J2003/1282 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0052 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0944 ,  G02B27/0983 ,  G02B27/30 ,  H01S3/0057 ,  H01S3/0813 ,  H01S3/235

Abstract: 本发明涉及一种用于啁啾脉冲放大(CPA)系统的自准直凹面调制光谱调制整形装置。包括自准直凹面调制CTSI光谱分解系统，CTSI光谱合成系统和凹面光谱调制反射镜构成的光谱调制系统；利用CTSI光谱分解系统先将激光啁啾脉冲完全真实展开到光谱面，再利用光谱调制系统在像平面上进行光谱调制，然后利用CTSI光谱合成系统将调制后的光谱无畸变的还原为调制后的啁啾脉冲，达到光谱调制整形目的。本发明采用自准直调制系统经原路返回，所用光学元件少，具有结构紧凑，占用空间少，价格较低，稳定性强等特点；本发明可对一般激光脉冲实现光谱调制和光谱整形，尤其适用于几个纳米带宽的大口径大能量高功率CPA系统。