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公开(公告)号：CN101421591A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780013042.7
申请日：2007-02-09
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: G01D11/245 , B81B7/007 , G01D5/485 , G01K11/265 , G01L1/165 , G01L3/10 , H03H9/1092
Abstract: 一个传感器封装件一般包括一个基底和一个或多个位于基底的表面的传感元件。一个盖帽，比如玻璃盖帽，与基底接合，从而盖帽和基底界定了一个容纳传感元件的密封谐振腔。盖帽有至少一个导电通孔或导电阱以电连到谐振腔中的传感元件，导电通孔或导电阱被置于盖帽中，从而提供电连到盖帽的外部用于连接外部电路。基底可以是压电基板且各传感元件可包含一个叉指换能器，从而基底和叉指换能器界定一个表面声波传感器。用于感应扭矩的表面声波传感器封装件包含传感器封装件和引线，引线接合导电通孔以将传感器封装件附于天线。
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公开(公告)号：CN101198853A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：CN200680021422.0
申请日：2006-02-01
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: G01L9/0025 , G01L1/165 , G01N29/022 , G01N2291/0256 , G01N2291/0422 , G01N2291/0423 , G01N2291/0426 , G01N2291/0427
Abstract: 一种多模式声波传感器设备包括声波器件，该声波器件包括压电基板和该基板上的至少一个电极。当这种传感器被用在无线配置中时，可以与该声波器件相关联地在该基板上配置多个天线，其中所述多个天线当中的每个天线对无线发送到所述多个天线的变化的询问信号做出响应，以便通过该基板上的至少一个叉指换能器激发多个频率模式，并且从而利用所述声波器件无源地检测所传感的材料的多个变化参数。
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公开(公告)号：CN107782473A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610770456.5
申请日：2016-08-30
Applicant: 天津森宇科技发展有限公司
Inventor： 杜海浩
IPC: G01L1/16
CPC classification number: G01L1/165
Abstract: 本装置公开了应用物联网压力传感器的力学康复装置，包括声表面波应力监测模块，作用力推送模块，有限元处理模块，力学反馈测量模块；声表面波应力监测模块的信号输出端连接作用力推送模块的信号输入端，作用力推送模块的信号输出端连接有限元处理模块的信号输入端，有限元处理模块的信号输出端连接力学反馈测量模块的信号输入端；声表面波应力监测模块由声表面波应力传感器构成，作用力推送模块由液压传动模组构成，有限元处理模块由矩阵处理模组构成，力学反馈测量模块由压力传感器构成。本装置可以进行力学康复。
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公开(公告)号：CN105283671A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480023583.8
申请日：2014-04-25
Applicant: 苏尔寿管理有限公司
CPC classification number: G01M13/045 , F04D15/0088 , F04D15/0272 , F16C17/06 , G01L1/165 , G01L5/167 , G01N3/02
Abstract: 本发明涉及一种评估流体机械的组件(1、11、111、112)、尤其是泵或涡轮的轴承布置(11、111、112)的磨损状态的方法，其中，为了确定磨损特性变量，借助于信号发生器(2)产生具有可预先限定的信号形状的机械查询信号(21)，并利用与组件(1、11、111、112)接触的传感器(3)检测从查询信号(21)产生的响应信号(31)。根据本发明，响应信号(31)根据特性模式依赖于组件(1、11、111、112)的物理操作变量的变化而改变，从响应信号(31)中的改变确定磨损特性变量，并利用磨损特性变量来评估磨损状态。此外，本发明还涉及一种具有信号发生器(2)和传感器(3)的流体机械的组件(1、11、111、112)，以及涉及一种具有这样的组件(1、11、111、112)的流体机械。
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公开(公告)号：CN102243077A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110100856.2
申请日：2011-04-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐藤健太
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5656 , G01L1/165 , G01L1/183 , G01P15/097
Abstract: 本发明提供振动型力检测传感器和振动型力检测装置。构造简单、低功耗、低成本且响应速度快。振动型力检测传感器的特征是具有：压电基板以及在该压电基板的至少一个主面上形成有电极膜的压电振动元件、以单臂支承的方式支承压电振动元的基台、和安装在压电振动元件的自由端部上的质量部。压电基板具备：振动部和分别支承该振动部的两端部的支承部，质量部被安装在一个上述支承部上。压电振动元件经由具有粘性的粘接剂而以与基台的一个主面并排的方式被单臂支承，使得当与基台的一个主面垂直的方向的力作用时，振动部与上述主面之间的间隙发生变化，从而振动部的等效电阻发生变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100554903C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200510130142.0
申请日：2005-12-12
Applicant: 安华高科技无线IP(新加坡)私人有限公司
Inventor： 斯托尔斯·T·霍恩 , 马克·A·尤恩克里克 , 威廉·R·托特纳 , 约翰·D·拉森三世 , 理查德·C·卢比 , 格雷厄姆·M·夫劳尔 , 安纳特斯·格洛特
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/165
Abstract: 本发明公开了用于测量目标环境变量(TEV)的装置和方法，其采用带有运动板的薄膜体声波谐振器。该薄膜体声波谐振器(FBAR)包括形成在FBAR晶片中的具有一个表面的声学反射器。第一电极形成在声学反射器的表面上并具有一个表面。压电层形成在第一电极的表面上并具有一个表面。第二电极形成在压电层的表面上。运动板被悬挂在相对于第二电极的表面预定距离的空中，并电容耦合到FBAR。
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公开(公告)号：CN1828245A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200510130142.0
申请日：2005-12-12
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 斯托尔斯·T·霍恩 , 马克·A·尤恩克里克 , 威廉·R·托特纳 , 约翰·D·拉森三世 , 理查德·C·卢比 , 格雷厄姆·M·夫劳尔 , 安纳特斯·格洛特
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/165
Abstract: 本发明公开了用于测量目标环境变量(TEV)的装置和方法，其采用带有运动板的薄膜体声波谐振器。该薄膜体声波谐振器(FBAR)包括形成在FBAR晶片中的具有一个表面的声学反射器。第一电极形成在声学反射器的表面上并具有一个表面。压电层形成在第一电极的表面上并具有一个表面。第二电极形成在压电层的表面上。运动板被悬挂在相对于第二电极的表面预定距离的空中，并电容耦合到FBAR。
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公开(公告)号：CN1267715C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN02820375.5
申请日：2002-10-16
Applicant: 传感技术有限公司
CPC classification number: H03H9/02834 , G01D5/485 , G01L1/165 , G01L3/106
Abstract: 一种表面声波(SAW)传感器，其包括设置在衬底(23)上的转换器(24)，其中转换器(24)在衬底(23)上取向，声波传播的方向使得与衬底第三阶弹性常数随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化与和衬底线性温度膨胀系数以及衬底第一阶弹性常数和衬底密度随温度的变化的相关的传感器输出随温度的变化总和大致相同并相反。由此减小温度变化对于传感器输出的作用。这可以通过35°配置或通过反射格栅相对于垂直方向在3.1°的角度上倾斜来实现。另外给出具有盘形的牢固组件。特定的应用是扭矩测量。
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公开(公告)号：CN1653321A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN03810957.3
申请日：2003-03-17
Applicant: 传感技术有限公司
CPC classification number: G01L19/0092 , G01L1/165 , G01L9/0025
Abstract: 一种压力监测器，其包括具有刚性框架的基座，以及固定在基座上以与基座一起限定了基本上流体密封的腔室的盖子。盖子的至少一部分是柔性的并形成了隔膜，该隔膜可响应于监测器周围的流体压力的变化而偏转，在隔膜上设有凸起，其可将隔膜的运动传递到位于腔室内的可变形衬底上。在可变形衬底安装了第一SAW器件，至少第二和第三SAW器件安装在腔室内，第二SAW器件装在基准衬底部分上，并且其传播方向相对于所述第一和第三SAW器件中的至少一个的传播方向倾斜成一定的角度。这样，由监测器周围区域中的压力变化而引发的隔膜运动导致了可由安装于其上的SAW器件来测量的可变形衬底的变形，不会使所述基准衬底部分产生变形。
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公开(公告)号：CN1571919A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN02820375.5
申请日：2002-10-16
Applicant: 传感技术有限公司
CPC classification number: H03H9/02834 , G01D5/485 , G01L1/165 , G01L3/106
Abstract: 一种表面声波(SAW)传感器，其包括设置在衬底(23)上的转换器(24)，其中转换器(24)在衬底(23)上取向，声波传播的方向使得与衬底第三阶弹性常数随温度的变化相关的传感器输出随温度的变化与和衬底线性温度膨胀系数以及衬底第一阶弹性常数和衬底密度随温度的变化的相关的传感器输出随温度的变化总和大致相同并相反。由此减小温度变化对于传感器输出的作用。这可以通过35°配置或通过反射格栅相对于垂直方向在3.1°的角度上倾斜来实现。另外给出具有盘形的牢固组件。特定的应用是扭矩测量。
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