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公开(公告)号：CN107966224A
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201610906569.3
申请日：2016-10-19
Applicant: 淮安盛宇电子有限公司
Inventor： 宗启军
Abstract: 本发明公开了一种压力传感器，主要由传感器基础、印制电路板、石英基体、石英帽、气密封、封料、温基SAW延时线、压力器件、换能器和压力敏感膜组成，传感器基础上端与印制电路板固定连接，印制电路板中间与石英基体下端固定连接，石英基体上端固定有石英帽，印制电路板通过气密封与石英帽固定连接，气密封内部设置有封料，石英帽上设置有温基SAW延时线，石英基体中间设置有压力器件，压力器件上端与换能器固定连接，换能器上端固定有压力敏感膜。本发明的有益效果是提高测量精度，补偿温度对压力器件的影响。
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公开(公告)号：CN107192481A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201710334788.3
申请日：2017-05-12
Applicant: 中北大学
IPC: G01L1/16
CPC classification number: G01L1/165
Abstract: 本发明为一种基于侧向场激励剪切波模式的FBAR微压力传感器，涉及一种微压力传感器。包括硅衬底(1)、支撑层(2)、空气隙(3)、AlN压电薄膜(4)、双电极层(5)、接地层(6)、微压力敏感层(7)及微压力施加层(8)；所述硅衬底(1)上表面采用硅表面刻蚀工艺与所述AlN压电薄膜(4)间形成空气隙(3)，在所述硅衬底(1)上表面淀积一层支撑层(2)连接所述AlN压电薄膜(4)，所述AlN压电薄膜(4)上表面为双电极层(5)和所述接地层(6)，所述接地层(6)上表面淀积4个所述微压力敏感层(7)，所述微压力敏感层(7)上键合所述微压力施加层(8)。本发明具有机械强度高、体积小、谐振频率高、检测精度高等优点。
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公开(公告)号：CN101617204B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN200880005333.6
申请日：2008-02-15
Applicant: 芙罗服务管理公司
CPC classification number: G01L1/255 , F16K37/0041 , F16K37/0083 , G01L1/165 , G01L5/12
Abstract: 本发明披露了用于感测阀致动器或阀的转矩、推力、应变和其它数据的非接触式传感装置。传感器可包括表面声波装置。
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公开(公告)号：CN109059995A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810603557.2
申请日：2018-06-07
Applicant: 通用电气公司
IPC: G01D21/00
CPC classification number: H04B5/0056 , G01H1/003 , G01K11/22 , G01K11/265 , G01L1/10 , G01L1/165 , G01L3/10 , G01L9/0025 , G01N29/043 , G01N29/2462 , G01N29/2481 , G01N2291/0258 , G01N2291/0423 , H01P1/068 , H01Q7/00 , H01Q21/29 , H04B15/00 , G01D21/00
Abstract: 本发明公开了一种传感器系统及方法。传感器系统包括在定子托架内移动的轴上的一个或多个转子天线，所述一个或多个转子天线是围绕所述传感器系统的轴线或沿所述传感器系统的所述轴线中的一个或多个情况，所述一个或多个转子天线被配置成与所述定子托架上的一个或多个定子天线传达感测数据。每个转子天线具有设置于所述转子天线的介电衬底的外部转子侧面上的转子信号迹线以及设置于所述介电衬底的所述外部转子侧面上的转子返回迹线，其中所述转子信号迹线与所述转子返回迹线相对于彼此不同心。
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公开(公告)号：CN109000695A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810579900.4
申请日：2018-06-07
Applicant: 通用电气公司
IPC: G01D5/48
CPC classification number: G01N29/223 , B23K1/002 , G01K11/265 , G01L1/165 , G01L3/00 , G01L19/147 , G01N29/2462 , H01L24/28
Abstract: 本发明公开一种系统，该系统包括结构，所述结构被配置成具有布置在所述结构的表面上的结构粘合层。所述结构粘合层是金属合金。所述系统包括传感器，所述传感器被配置成具有布置在所述传感器的表面上的传感器粘合层。所述传感器粘合层是金属合金。所述传感器粘合层被配置成经由金属接头连接到所述结构粘合层以使所述传感器通过所述金属接头、所述结构粘合层以及所述传感器粘合层来感测所述结构的数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108020362A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201710945824.X
申请日：2017-10-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 神谷俊幸
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提供了具有高力检测特性的力检测传感器、力觉传感器以及机器人。力检测传感器具有：基体，包括从外部受力的第一面以及法线方向与所述第一面不同的第二面；以及梳齿电极，配置在所述第二面上。另外，所述第二面由于所述第一面受到所述力而变形。另外，所述第二面具有由压电体的表面构成的部分，在所述部分形成有所述梳齿电极。另外，所述压电体是水晶。另外，所述第二面与所述水晶的电轴平行。
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公开(公告)号：CN101772695A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200880020267.X
申请日：2008-03-19
Applicant: 传感技术有限公司
Inventor： V·A·卡利宁
Abstract: 一种非接触式基于SAW的扭矩和温度传感器，包括提供在由Y+34°切石英制成的基板上的第一(2)和第二(3)SAW谐振器。第一SAW谐振器(2)使它的主轴相对基板的X轴成+45°倾斜，在使用中，基板的X轴与扭矩被测量的装置的纵轴对准或垂直，第二SAW(3)使它的主轴相对基板的X轴成-45°倾斜。第三SAW(4)使它的主轴相对基板的X轴以30°的角度倾斜。每一个所述的SAW谐振器(2，3，4)都是通过在基板上放置具有厚度(h)的铝膜而形成，且SAW谐振器具有平均操作波长λ，其中比率h/λ在0.021到0.032的范围内。
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公开(公告)号：CN101124466A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200580048312.9
申请日：2005-12-12
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
Inventor： B·J·马什
CPC classification number: G01L9/0025 , G01L1/165
Abstract: 公开了一种无线传感器，它包括一个所述无线传感器可以被配置在其上的基底。所述无线传感器包括彼此平行被配置在所述基底上的多个表面声波(SAW)检测元件，其中，一个或多个SAW检测元件响应于与所述多个SAW检测元件中的至少一个其它的SAW检测元件的无线频率范围不同的无线频率范围。正是这种平行，允许全部SAW检测元件当压力被施加于其上时接收相同的张力。这样做时，为三个单独的询问器提供了测量张力的能力。然而，在任一位置，只有一种类型的询问器可以被使用，使得三个SAW检测元件中的两个无用，而不干扰一个有用的SAW检测元件，以便不论其中各不相同的频率标准，都允许所述无线传感器的无线询问。
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公开(公告)号：CN101120237A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200580048204.1
申请日：2005-12-12
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
CPC classification number: G01L1/165 , G01L3/10 , G01L9/0025
Abstract: 这里公开了传感器系统和方法，其包括传感器芯片，在该传感器芯片上至少两个表面声波(SAW)感测元件中心定位在传感器芯片的第一侧(例如，前侧)。SAW感测元件占据传感器芯片第一侧上的共用区。被蚀刻的隔膜中心定位在与和该两个SAW感测元件相关联的第一侧相对的传感器的第二侧(即，后侧)，以便将传感器系统或传感器装置的机械应变集中在被蚀刻的隔膜中，从而提供高强度，高灵敏度以及其制造的容易度。
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公开(公告)号：CN100338451C
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN03810957.3
申请日：2003-03-17
Applicant: 传感技术有限公司
CPC classification number: G01L19/0092 , G01L1/165 , G01L9/0025
Abstract: 一种压力监测器，其包括具有刚性框架的基座，以及固定在基座上以与基座一起限定了基本上流体密封的腔室的盖子。盖子的至少一部分是柔性的并形成了隔膜，该隔膜可响应于监测器周围的流体压力的变化而偏转，在隔膜上设有凸起，其可将隔膜的运动传递到位于腔室内的可变形衬底上。在可变形衬底安装了第一SAW器件，至少第二和第三SAW器件安装在腔室内，第二SAW器件装在基准衬底部分上，并且其传播方向相对于所述第一和第三SAW器件中的至少一个的传播方向倾斜成一定的角度。这样，由监测器周围区域中的压力变化而引发的隔膜运动导致了可由安装于其上的SAW器件来测量的可变形衬底的变形，不会使所述基准衬底部分产生变形。
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