电子电路的三维检测设备
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102346021A

    公开(公告)日:2012-02-08

    申请号:CN201110210677.4

    申请日:2011-07-26

    Applicant: 维特公司

    Abstract: 本发明涉及一种电子电路的三维检测设备。一种集成电路等的光学检测设备包括:拍摄系统,所述拍摄系统位于由第一方向和第二方向限定的平面中的场景的上方,所述拍摄系统包括多个数字摄像机,每一数字摄像机包括正交阵列的像素,所有摄像机的各自光轴相对于与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向倾斜第一角度;以及具有确定图样的两个投影仪,这些图样使得由所述投影仪中的每一投影仪投影的两条直线在由所述第一方向和所述第二方向限定的所述平面中对齐并且与将所述两个投影仪的光学中心互连的直线共面。

    衰减全反射光谱仪
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109716105A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201780057469.0

    申请日:2017-07-14

    Abstract: 本发明涉及一种具有ATR-晶体(1)的ATR-光谱仪,其包括是截短锥形形状的区段(3)和相对于彼此平行布置的两个平面表面;发射器(11),其被设计成经由所述表面中的一个表面并且基本上垂直于所述表面中的所述一个表面将电磁辐射(13)发射到所述截短锥形形状的所述区段(3)的侧表面(16),所述侧表面(16)被设计成将所述电磁辐射(13)反射到所述一个表面,使得所述电磁辐射(13)可以通过所述两个表面上的多次反射在所述ATR-晶体(1)中传播并且随后可以通过在所述截短锥形形状的所述区段(3)的所述侧表面(16)上的反射耦合出所述ATR-晶体(1);以及检测器(12),其被设计成检测耦合出所述ATR-晶体的所述电磁辐射(13)。

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