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公开(公告)号:CN107505285A
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201710617223.6
申请日:2017-07-26
Applicant: 合肥泰禾光电科技股份有限公司
CPC classification number: G01N21/39 , B07C5/3422 , G01J3/2823 , G01J3/2889 , G01N21/255 , G01N21/55 , G01N2201/0618 , G01N2201/06186 , G01N2201/105
Abstract: 本申请公开了一种物料在线分选装置及其扫描成像光谱装置,该扫描成像光谱装置包括:参考激光器、多面扫描镜、参考探测器、以及光谱采集与处理模块;其中,多面扫描镜在旋转过程中对参考激光器发出的参考激光信号以及物料发出的光信号进行反射;参考探测器采集参考激光器经多面扫描镜反射后的参考激光信号、并根据该参考激光信号生成扫描成像光谱装置的采集触发信号;光谱采集与处理模块根据采集触发信号,采集和处理通过多面扫描镜获取的物料光谱数据。本申请利用多面扫描镜扫描获取物料光谱数据,并采用参考激光器探测提供同步采集触发信号,能够监测多面扫描镜的速度稳定性,提高系统检测的稳定性和可靠性;实现了物料按材质在线分选。
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公开(公告)号:CN104155313B
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201410437602.3
申请日:2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor: D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: G01N21/956
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了计量系统以及方法。所述计量系统包括:被配置成产生衍射受限光束的光源;变迹器,所述变迹器被配置成在照射光学器件的入射光瞳中使所述光束成形;光学元件,所述光学元件被配置成将所述衍射受限光束从所述变迹器定向到晶片上的光栅靶上的所述照射斑并且收集来自所述光栅靶的散射光;被配置成拒绝一部分所收集散射光的视场光阑;检测器,所述检测器被配置成检测穿过所述视场光阑的散射光并且响应于检测到的散射光生成输出以使所述光栅靶由所述计量系统使用散射计量来测量;以及被配置成使用所述输出来确定所述光栅靶的特性的计算机系统。
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公开(公告)号:CN104067109B
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201380006071.6
申请日:2013-01-24
Applicant: 陶朗分选有限公司
IPC: G01N21/84
CPC classification number: G01N21/55 , G01N21/84 , G01N2021/845 , G01N2201/105 , G02B26/105
Abstract: 本发明涉及一种用于检测物品的装置(10),该装置包括:第一光源(14a),该第一光源适于发射第一光束(16a);第二光源(14b),该第二光源适于发射第二光束(16b),其中,该装置布置成使得第一光束与第二光束朝向扫描元件(20)汇聚,该扫描元件例如为旋转多边形镜;扫描元件,该扫描元件适于使汇聚的第一光束以及第二光束朝向待检测的物品改变方向;以及检测器(26),该检测器适于接收物品通过扫描元件反射的光(38)。
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公开(公告)号:CN106054272A
公开(公告)日:2016-10-26
申请号:CN201610221738.X
申请日:2016-04-11
CPC classification number: G01N21/94 , G01N21/8851 , G01N21/954 , G01N2201/06146 , G01N2201/105 , G01V8/10 , H02K9/19
Abstract: 提供一种层叠铁芯的检测方法,该层叠铁芯通过层叠具有预定形状的多个铁芯片而构成并且其中包括使得制冷剂能够流通的冷却流路,所述制冷剂通过形成在不同位置处的开口而供应和排出。该方法包括:将光敏传感器的光投射部和光接收部分别布置在所述冷却流路的开口,以及利用所述光接收检测来自所述光投射部的光,从而检测所述冷却流路的贯通状态。
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公开(公告)号:CN103857984B
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201280048465.3
申请日:2012-12-12
Applicant: 法罗技术股份有限公司
Inventor: 克里斯托弗·伊恩多费尔 , 莱因哈德·贝克
CPC classification number: G01B11/14 , G01C15/002 , G01N21/47 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G02B26/10
Abstract: 一种用于对环境进行光学扫描和测量的装置,该装置被设计成激光扫描仪(10),该激光扫描仪(10)具有基部(14)、能够相对于基部(14)旋转的测头(12)、能够相对于测头(12)旋转的镜(16),其中在至少一个操作模式下,激光扫描仪(10)借助安装装置(40)安装在推车(W)上,推车(W)使与安装装置(40)固定地连接的基部(14)运动,测头(12)相对于基部(14)置靠,镜(16)旋转,并且测头(12)借助锁定装置(34k、40k)与安装装置(40)锁定。
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公开(公告)号:CN103733049A
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201280039905.9
申请日:2012-07-11
Applicant: 奥林巴斯株式会社
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/64 , G01N15/14 , G01N15/1429 , G01N15/1434 , G01N21/51 , G01N21/6408 , G01N21/645 , G01N21/6452 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N2021/6419 , G01N2021/6441 , G01N2201/103 , G01N2201/105 , G02B21/0032 , G02B21/0076 , G02B21/008
Abstract: 本发明提供了在使用共焦显微镜或多光子显微镜检测样本溶液中的发光粒子的光的扫描分子计数法中能够以尽可能地降低将同一发光粒子检测为不同的粒子的可能性且尽可能地使光检测区域的尺寸、形状不变的方式使光检测区域沿着更广的区域或更长距离的路径移动来进行样本溶液内的扫描的光分析技术。在本发明的光分析技术中,在使光检测区域的位置在样本溶液内沿着第二路径移动的期间进行来自光检测区域的光的检测和按时间序列的光强度数据的生成,使用按时间序列的光强度数据逐个检测表示来自存在于规定路径内的各发光粒子的光的信号,其中,该第二路径的位置沿着第一路径移动。
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公开(公告)号:CN102668052A
公开(公告)日:2012-09-12
申请号:CN201080039744.4
申请日:2010-09-01
Applicant: 克拉-坦科股份有限公司
Inventor: D·坎戴尔 , V·列文斯基 , A·斯维泽 , J·塞利格松 , A·希尔 , O·巴卡尔 , A·马纳森 , Y-H·A·庄 , I·塞拉 , M·马克维兹 , D·纳格利 , E·罗特姆
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
Abstract: 提供了各种计量系统以及方法。
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公开(公告)号:CN101925806B
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN200980102845.9
申请日:2009-01-26
Applicant: 瑞尼斯豪公司
Inventor: 伊恩·保罗·海沃德 , 布赖恩·约翰·爱德华·史密斯
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0289 , G01J3/44 , G01N21/65 , G01N2021/656 , G01N2201/103 , G01N2201/105
Abstract: 在一种拉曼光谱仪中,激发光作为线聚焦(38)被聚焦在样品(26)上。来自所述线聚焦中的点的光谱在CCD检测器(34)上的行46中发生色散,所述CCD检测器(34)具有二维的像素阵列。线聚焦在相对于样品的方向Y上发生纵向移动。同时并且同步地,电荷在CCD中在平行方向Y’中移动,从而来自样品中给定点的数据继续积累。为了在快速的、低分辨率的扫描期间在X方向上提供均化处理,线聚焦以Z字形方式在样品上在边界线60之间扫过。
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公开(公告)号:CN108169134A
公开(公告)日:2018-06-15
申请号:CN201810033209.6
申请日:2018-01-14
Applicant: 中国科学院大学
IPC: G01N21/01
CPC classification number: G01N21/01 , G01N2021/0112 , G01N2201/105
Abstract: 本发明提出了一种可连续旋转的光学扫描装置应用于表面等离子体共振检测仪。激光器和信号采集模块可保持固定,而光路进行旋转以完成扫描。该装置具备:激光器模块,藕接于激光器基座,用以产生扫描信号;信号采集模块,藕接于信号采集模块基座,用以接收扫描信号;两个平面反射镜,用以改变激光的行进方向;四个曲面反射镜,用以完成光路的转换。
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公开(公告)号:CN104777168B
公开(公告)日:2018-06-05
申请号:CN201510020858.9
申请日:2015-01-15
Applicant: 康宁精密素材株式会社
Inventor: 成始澔
CPC classification number: H04N5/2256 , G01N21/896 , G01N21/9503 , G01N21/958 , G01N2201/062 , G01N2201/105 , H01L21/67288
Abstract: 一种用于检测基板的边缘的设备可以检测基板的边缘部分的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜和第二直角棱镜被设置在所述边缘部分的上方和下方,使得该第一直角棱镜的倾斜表面和该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述边缘部分的上表面和下表面。发光部件用光照射所述基板的边缘部分。拍摄部件被设置为邻近所述边缘部分。所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的上表面的图像,由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的下表面的图像,并拍摄所述边缘部分的端表面的图像。
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