一种可连续旋转的光学扫描装置

    公开(公告)号:CN108169134A

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201810033209.6

    申请日:2018-01-14

    CPC classification number: G01N21/01 G01N2021/0112 G01N2201/105

    Abstract: 本发明提出了一种可连续旋转的光学扫描装置应用于表面等离子体共振检测仪。激光器和信号采集模块可保持固定,而光路进行旋转以完成扫描。该装置具备:激光器模块,藕接于激光器基座,用以产生扫描信号;信号采集模块,藕接于信号采集模块基座,用以接收扫描信号;两个平面反射镜,用以改变激光的行进方向;四个曲面反射镜,用以完成光路的转换。

    用于检测基板的边缘的设备

    公开(公告)号:CN104777168B

    公开(公告)日:2018-06-05

    申请号:CN201510020858.9

    申请日:2015-01-15

    Inventor: 成始澔

    Abstract: 一种用于检测基板的边缘的设备可以检测基板的边缘部分的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜和第二直角棱镜被设置在所述边缘部分的上方和下方,使得该第一直角棱镜的倾斜表面和该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述边缘部分的上表面和下表面。发光部件用光照射所述基板的边缘部分。拍摄部件被设置为邻近所述边缘部分。所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的上表面的图像,由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的下表面的图像,并拍摄所述边缘部分的端表面的图像。

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