用于检测基板的边缘的设备

    公开(公告)号:CN104777168B

    公开(公告)日:2018-06-05

    申请号:CN201510020858.9

    申请日:2015-01-15

    Inventor: 成始澔

    Abstract: 一种用于检测基板的边缘的设备可以检测基板的边缘部分的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜和第二直角棱镜被设置在所述边缘部分的上方和下方,使得该第一直角棱镜的倾斜表面和该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述边缘部分的上表面和下表面。发光部件用光照射所述基板的边缘部分。拍摄部件被设置为邻近所述边缘部分。所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的上表面的图像,由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的下表面的图像,并拍摄所述边缘部分的端表面的图像。

    用于检测基板的边缘的设备

    公开(公告)号:CN104777168A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510020858.9

    申请日:2015-01-15

    Inventor: 成始澔

    Abstract: 一种用于检测基板的边缘的设备可以检测基板的边缘部分的缺陷或倒角宽度。第一直角棱镜和第二直角棱镜被设置在所述边缘部分的上方和下方,使得该第一直角棱镜的倾斜表面和该第二直角棱镜的倾斜表面朝向所述边缘部分的上表面和下表面。发光部件用光照射所述基板的边缘部分。拍摄部件被设置为邻近所述边缘部分。所述拍摄部件由已经通过所述第一直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的上表面的图像,由已经通过所述第二直角棱镜的光拍摄所述边缘部分的下表面的图像,并拍摄所述边缘部分的端表面的图像。

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