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公开(公告)号：CN102530831A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010607826.6
申请日：2010-12-27
Applicant: 上海丽恒光微电子科技有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/0015 , B81B2203/0118 , B81B2207/07 , B81C1/00293 , B81C2201/0109 , B81C2201/0125 , B81C2203/0145 , G01P15/0802 , G01P2015/0828 , H03H3/0072
Abstract: 本发明提供了一种的MEMS器件的制作方法，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底内形成有金属互连结构；在所述半导体衬底的表面形成第一牺牲层，所述第一牺牲层的材质为无定形碳；刻蚀所述第一牺牲层形成第一凹槽；在所述第一牺牲层表面覆盖形成第一介质层；采用化学机械研磨工艺减薄所述第一介质层，直至露出所述第一牺牲层；在所述第一牺牲层表面形成微机械结构层，并曝露出第一牺牲层，所述微机械结构层的部分与所述第一介质层连接。本发明采用先形成牺牲介质层，并图形化所述牺牲介质层，再形成介质层的方法，避免了对无定形碳的研磨，能够缩短生产周期，极大提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN102288787A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110125993.1
申请日：2011-05-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/123 , G01P2015/0828 , G01P2015/086
Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器及相应的测量方法。本发明提供一种微机械传感器，该传感器包括至少一个基底和一个通过至少一个扭转梁(12)悬挂在基底上的振动质量块(11)，用于测量作用在所述振动质量块(11)上的物理量，其中，为了形成压阻材料，至少是所述至少一个扭转梁(12)的整个块体都被掺杂。本发明还提供一种借助于这种传感器测量惯性量或力的方法，在所述方法中，通过检测所述至少一个扭转梁(12)的电阻变化，确定作用在所述振动质量块(11)上的惯性量或力的大小，其中，为了检测电阻变化考虑所述扭转梁(12)的整个横截面。
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公开(公告)号：CN1218163C
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN01121705.7
申请日：2001-06-18
Applicant: 森桑诺尔有限公司
CPC classification number: G01P21/00 , G01F1/28 , G01L1/183 , G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 一种由半导体材料构成的传感器。该装置包括支承框架、读出元件、以及以一般对应于第一谐振频率振动方式的频率来振动读出元件的装置。错误检测装置检测谐振频率振动方式，错误检测装置的输出表示存在或者不存在所述谐振频率振动方式对所述激励的预期的响应。检测读出元件变形的装置提供表示待检测的参数的输出信号，变形检测装置和错误检测装置由相同元件构成。
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公开(公告)号：CN1197513A
公开(公告)日：1998-10-28
申请号：CN96197214.9
申请日：1996-09-23
Applicant: 国家航空与空间研究事务局
Inventor： 奥利维尔·勒·特劳恩 , 丹尼斯·詹尼奥德 , 瑟奇·马勒
IPC: G01P15/10
CPC classification number: G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 一种单体加速度传感器包括:一固定部;两个可动质量部和一个端部固定于所述可动质量部的谐振子;一个围绕这两个可动质量部的柔性框架;以及两个将该框架连接于第二可动质量部和连接于固定部的连接件。框架在谐振子和固定部之间提供一个机械滤波器,且固定部不受谐振子振动的影响。谐振子的品质因数Q值不降低且由此传感器提供的测量更精确。在一个差分输出加速度计中,传感器的位置由另一个传感器的位置导出,相同传感器绕平行于谐振子的一条轴线转动180°,这些传感器的多个固定部固定在一起。
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公开(公告)号：CN1171554A
公开(公告)日：1998-01-28
申请号：CN97102821.4
申请日：1997-02-21
Applicant: 株式会社精工电子研究开发中心
CPC classification number: G01L9/0042 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0828
Abstract: 采用化学蚀刻加工方法,以形成具有扩散电阻的薄壁部分的半导体加速度传感器,扩散电阻用来检测位移造成的电阻阻值变化,在切割刮刀上利用电蚀现象和切割磨料颗粒的电泳现象,以消除加工蜕化或微裂缝问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1160206A
公开(公告)日：1997-09-24
申请号：CN97102672.6
申请日：1997-02-27
Applicant: 株式会社精工电子研究开发中心
IPC: G01P15/00
CPC classification number: B81B7/0077 , G01P1/023 , G01P15/123 , G01P2015/0828
Abstract: 将扩散电阻设置在传感器的一个侧面上，从一块半导体晶片制造大量的传感器。采取检测传感器一个侧面上的位移量的措施，以较少的制造步骤，不用蚀刻处理过程，即能得到精确而价廉的传感器。
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公开(公告)号：CN107305215A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201611121298.7
申请日：2016-12-08
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
Inventor： P.W.德怀尔
IPC: G01P15/125 , G01P15/13
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/132 , G01P2015/0828
Abstract: 一种加速度计包括上定子、下定子和设置在所述上定子与所述下定子之间的检验质量组件。所述上定子或者所述下定子中的至少一个包括激励环、联接至所述激励环的磁体以及联接至所述磁体的顶表面的非对称磁极片。所述非对称磁极片覆盖所述磁体的所述顶表面的至少一部分，以使得与所述上定子或者所述下定子中的所述至少一个相关联的磁通量中心与所述检验质量组件的质量中心对准。
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公开(公告)号：CN102313819B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201110183221.3
申请日：2011-07-01
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01L1/162 , G01L9/0022 , G01P15/09 , G01P15/123 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明涉及一种用于测量加速度、压力和类似参数的微机械的传感器装置。该微机械的传感器装置包括基片、以活动的方式优选有弹性地布置在所述基片上的试验块、用于借助于压电效应将作用于所述试验块的力转换为优选电气的信号的转换装置、用于向所述试验块加载额外的力的力加载器件尤其电极、用于控制所述力加载器件的控制器件，其中所述控制器件如此控制所述力加载器件，从而暂时地尤其周期性地向所述试验块加载所述额外的力，并且本发明涉及一种相应的方法。
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公开(公告)号：CN103090887B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210422835.7
申请日：2012-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/09 , G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件被传递的情况。本发明所涉及的物理量检测装置（100）包括：基部（10）；可动部（14），其通过连接部（12）而被基部（10）支承，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件（40），其跨接基部（10）和可动部（14）；第一支承部（20），其从基部（10）起延伸，并具备第一固定部（24）；第二支承部（30），其从基部（10）起延伸，并具备第二固定部（34），第一固定部（24）与第二固定部（34）之间的距离（L1）小于，第一支承部（20）与基部10）的连接根部的部分（23）和第二支承部（30）与基部（10）的连接根部的部分（33）之间的距离L2）。
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公开(公告)号：CN105301285A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510392868.5
申请日：2015-07-07
Applicant: 霍尼韦尔国际公司
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , B32B37/12 , B32B37/18 , B32B2037/1253 , B32B2307/546 , B32B2457/00 , G01P1/006 , G01P15/13 , G01P15/132 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明涉及减少加速度计中的滞后效应。本文中公开了制造加速度计的技术，该技术包括将加速度计放置在第一定子和第二定子之间，并且加速度计包括多个特征。在一些例子中，所述多个特征包括检测质量、限定一个平面且构造成支撑检测质量的支撑结构、构造成将检测质量挠性地连接到支撑结构的挠曲部、和多个凸起垫片，所述多个凸起垫片包括位于挠曲部与支撑结构外部之间的至少一个凸起垫片，其中至少一个凸起垫片构造成是可隔离的。如本文中所公开的制造加速度计的技术还包括：将第一定子和第二定子压到加速度计上、将腹带附接到第一定子和第二定子、以及将至少一个凸起垫片隔离。
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