게터 펌프 및 이온 펌프를 포함하는 조합형 펌핑 시스템
    23.
    发明公开
    게터 펌프 및 이온 펌프를 포함하는 조합형 펌핑 시스템 有权
    包括吸气泵和离子泵的组合泵送系统

    公开(公告)号:KR1020110004399A

    公开(公告)日:2011-01-13

    申请号:KR1020107024101

    申请日:2009-03-26

    CPC classification number: H01J41/00

    Abstract: 게터 펌프(12) 및 이온 펌프(13)를 포함하는 조합형 펌핑 시스템(10)이 제공된다. 상기 게터 펌프 및 이온 펌프(12, 13)는 동일한 플랜지(11) 상에 장착되고 그리고 2개의 서로 상이한 지점에서 상기 플랜지(11)의 동일한 측면 상에 정렬된다.

    Abstract translation: 提供组合泵送系统10,其包括吸气泵12和离子泵13。 吸气泵和离子泵12,13安装在相同的法兰11上并且在法兰11的同一侧在两个不同的点上对齐。

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