公开(公告)号：CN1130799A

公开(公告)日：1996-09-11

申请号：CN95100543.X

申请日：1995-03-13

Applicant: 白村

Inventor： 白村

IPC: H01J61/00 ,  H01J41/00

Abstract: 一种荧光灯，采用以积分电位差冷阴极发射方式启点，消除阴极位降区，将负载电压全部设计加在等离子体照明工作区上，以提高能耗经济效率。

公开(公告)号：CN101133308B

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN200680007086.4

申请日：2006-03-01

Applicant: 英飞康有限责任公司

Inventor： W·克纳普 ,  M·沃斯特

IPC: G01L21/30 ,  G01L21/32 ,  G01L21/34 ,  H01J1/30 ,  H01J1/304 ,  H01J41/00 ,  H01J41/02 ,  H01J41/04 ,  H01J41/06 ,  H01J41/08 ,  H01J41/10 ,  H01J19/00 ,  H01J19/02 ,  H01J19/04 ,  H01J19/10

CPC classification number: G01L21/32 ,  G01L21/12 ,  H01J1/3042 ,  H01J41/04

Abstract: 本发明提出一种发射电子的阴极(6)，它由装接到由不锈钢制成的侧壁(2)上的导电的发射层(7)和门(9)，将该门以很小的距离固定在发射层(7)的凹入的发射表面的内部。阴极(6)围绕着一个反应区域(3)，该反应区域包含一个圆柱形的筛网状的阳极(5)和一个位于中心的离子收集器(4)，该离子收集器包括一直的轴向细丝。电流计(11)测量反映在反应区域(3)中气体密度的离子收集器电流(IIC)，同时将门电压(VG)保持在发射层(7)的地电压与较高的阳极电压(VA)之间，并且调节门电压，其方式使得将阳极电流(IA)保持不变。发射层(7)可包括碳纳米管，金刚石状的碳，一种金属或一种金属混合物，或者一种半导体材料，半导体材料例如是可以比如用碳化物或钼涂布的硅。然而，发射表面也可是例如被化学刻蚀过程变粗糙的侧壁的内表面的一部分。门(9)可以是一种筛网，或者，它可以包括覆盖分布在发射区上的隔离器的金属薄膜小片或覆盖设置在发射表面上的电子可穿透层的一层金属薄膜。

公开(公告)号：CN85100570A

公开(公告)日：1986-08-06

申请号：CN85100570

申请日：1985-04-01

Applicant: 南京工学院

Inventor： 唐政清 ,  陈洪元 ,  陆祖宏

IPC: H01J41/00 ,  H01J17/04 ,  G01L21/30

Abstract: 极高真空分离规是一种测量真空的规管。本发明是由圆锥状鼠笼式栅极、锥形引出极、圆筒形反射极、环形灯丝、短收集极所组成，并利用真空管导作为外屏，使其灵敏度提高，降低光电流本底，加上自调制方法的应用，致使其测量下限拓宽到10-14托(等效氮压)为极高真空的测量，尖端科学的发展，提供了良好的条件。

公开(公告)号：CN1728327A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200410050977.0

申请日：2004-07-30

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 柳鹏 ,  魏洋 ,  盛雷梅 ,  刘亮 ,  胡昭复 ,  郭彩林 ,  陈丕瑾 ,  范守善

IPC: H01J41/00 ,  G01L21/00

CPC classification number: G01N27/62

Abstract: 本发明提供一种真空规管，其包括：一阴极单元，一阳极，一屏蔽极，一离子引出极，一反射极和一收集极；该屏蔽极一端与该阴极单元相对应，该屏蔽极另一端与该离子引出极相对应；该离子引出极中心开设一离子引出孔；该反射极为曲面结构，该曲面围住屏蔽极靠近离子引出极的一侧；该收集极设置于该反射极曲面结构底部，并指向离子引出孔；该阳极固定于屏蔽极中间内部。本发明真空规管结合鞍场规和分离规的优点，具有体积小、功耗小、结构简单和灵敏度高的优点。

公开(公告)号：CN1965219A

公开(公告)日：2007-05-16

申请号：CN200580007960.X

申请日：2005-03-10

Applicant: 布鲁克斯自动化有限公司

Inventor： 保罗·C·阿诺德 ,  保罗·M·拉特

IPC: G01L21/32 ,  H01J33/00 ,  H01J41/00 ,  H01J41/04

CPC classification number: G01L21/32 ,  H01J41/06 ,  H01J49/26

Abstract: 一种用于将电子源与气体分子相隔离的电离真空计，所述的电离真空计包括用于产生电子的电子源，用于收集由于电子和气体分子的撞击而形成的离子的集电极，以及用于将电子源与气体分子相隔离的电子窗体。电离真空计能够带有限定极板空间的极板，以及可以将电子保留在极板区域内。电离真空计能够带有多个电子源和/或集电极。所述的集电极能够被安置在极板空间的内部或极板空间的外部。电离真空计能够带有质量过滤器，所述的质量过滤器用于基于质荷比分开离子。电离真空计可以是能够测量压力的Bayard－Alpert型或是能够测量气体类型的残余气体分析仪。

公开(公告)号：CN1691245A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200410027020.4

申请日：2004-04-21

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 柳鹏 ,  盛雷梅 ,  魏洋 ,  刘亮 ,  齐京 ,  范守善

IPC: H01J3/02 ,  H01J41/00 ,  G01L21/34

CPC classification number: G01L21/34

Abstract: 一种用于超高真空和极高真空量测的冷阴极电子枪，其包括一栅极和一设置于该栅极下方的阴极，其特征在于在该栅极上方平行设置一屏蔽极。本发明还提供一种使用上述冷阴极电子枪的真空规管，其包括一外壳、一收集极、一阳极和一冷阴极电子枪；该冷阴极电子枪和该收集极相对该阳极同轴对称放置；该外壳开口一端与待测器件相接，其特征在于该冷阴极电子枪包括一栅极、一平行设置于该栅极上方的屏蔽极和一设置于该栅极下方的阴极。本发明采用冷阴极电子枪的真空规管具有阴极体积小、功耗小、灵敏度高和降低吸放气率的优点。

公开(公告)号：CN85100568A

公开(公告)日：1986-03-10

申请号：CN85100568

申请日：1985-04-01

Applicant: 南京工学院

Inventor： 陈洪元 ,  唐政清 ,  黄惠芬

IPC: H01J41/00 ,  H01J17/12 ,  G01L21/30

Abstract: 热阴极极高真空规属真空测量技术领域。本发明是组合了鼠笼式栅极，短收集极与环 形灯丝，利用真空管导作为外屏，并加以适当的 电参量，使其灵敏度提高，X射线发射源位置改 变，以降低光电流本底，拓宽了测量下限。本发明可用于10-4～10-12托的压强测量，更 主要用于普通B—A规所不能测量的10-10～10-12托真空范围的真空测量，为尖端科学的发展提供 了条件。

公开(公告)号：CN101978463B

公开(公告)日：2013-02-13

申请号：CN200980109641.8

申请日：2009-03-26

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： M·L·费里斯 ,  A·孔特

IPC: H01J41/00

CPC classification number: H01J41/00

Abstract: 本发明涉及一种组合式抽气系统(10)，包括吸气剂泵(12)和离子泵(13)。所述吸气剂泵和离子泵(12、13)安装在同一法兰(11)上并且设置在所述法兰(11)同侧的两个不同点处。

公开(公告)号：CN101978463A

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200980109641.8

申请日：2009-03-26

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： M·L·费里斯 ,  A·孔特

IPC: H01J41/00

CPC classification number: H01J41/00

Abstract: 本发明涉及一种组合式抽气系统(10)，包括吸气剂泵(12)和离子泵(13)。所述吸气剂泵和离子泵(12、13)安装在同一法兰(11)上并且设置在所述法兰(11)同侧的两个不同点处。

公开(公告)号：CN100555552C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200410050977.0

申请日：2004-07-30

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 柳鹏 ,  魏洋 ,  盛雷梅 ,  刘亮 ,  胡昭复 ,  郭彩林 ,  陈丕瑾 ,  范守善

IPC: H01J41/00 ,  G01L21/00

CPC classification number: G01N27/62

Abstract: 本发明提供一种真空规管，其包括：一阴极单元，一阳极，一屏蔽极，一离子引出极，一反射极和一收集极；该屏蔽极一端与该阴极单元相对应，该屏蔽极另一端与该离子引出极相对应；该离子引出极中心开设一离子引出孔；该反射极为曲面结构，该曲面围住屏蔽极靠近离子引出极的一侧；该收集极设置于该反射极曲面结构底部，并指向离子引出孔；该阳极固定于屏蔽极中间内部。本发明真空规管结合鞍场规和分离规的优点，具有体积小、功耗小、结构简单和灵敏度高的优点。