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公开(公告)号:CN103311085B
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201310262650.9
申请日:2013-06-27
Applicant: 成都国光电气股份有限公司
Inventor: 陈旗
IPC: H01J41/02
Abstract: 本发明涉及一种小型化复合真空规管,包括陶瓷小七脚管基、BA规和电阻规,所述BA规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管;所述电阻规焊接在陶瓷小七脚管基的电极引脚上,构成真空规管。所述小型化复合真空规管具有高、低真空测试范围,并且压强测量范围宽、性能稳定、一致性好、反映时间快、寿命长等优点。
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公开(公告)号:CN103762147B
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201310722445.6
申请日:2013-12-24
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种电离规阳极结构,包括:球网电极、阳极环、辅助阳极环和多个连接支撑件,每个所述连接支撑件分别支撑所述球网电极、阳极环、辅助阳极环;其中,所述球网电极为由导电材料制成的球形网状结构,所述阳极环和所述辅助阳极由所述连接支撑件支撑在所述球网电极的内部,所述辅助阳极环环绕所述阳极环,并且所述球网电极、阳极环和辅助阳极环彼此绝缘。球网电极采用球形结构,其形成的电场具有更良好的对称性和均匀性;阳极环和球网电极能够形成马鞍形电场,辅助阳极环使马鞍形电场的形状更陡峭,整个电场对电子有束缚作用,使电子在本发明的电离规阳极结构中运动轨迹的长度会变大,由此提高了电离规的灵敏度。
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公开(公告)号:CN103094049B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201110333503.7
申请日:2011-10-28
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J41/06
Abstract: 本发明提供一种电离规,用于测量具有导体外壳的真空系统的真空度,该电离规包括阴极装置、阳极装置和离子收集装置,所述阴极装置与所述离子收集装置设置于所述阳极装置的两侧并与所述阳极装置间隔设置,所述阴极装置进一步包括电子发射体,所述电子发射体延伸向所述阳极装置并与所述阳极装置间隔设置,其特征在于,所述电子发射体包括至少一个碳纳米管线,所述电离规直接设置在待测真空系统的导体外壳中。
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公开(公告)号:CN103762147A
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201310722445.6
申请日:2013-12-24
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种电离规阳极结构,包括:球网电极、阳极环、辅助阳极环和多个连接支撑件,每个所述连接支撑件分别支撑所述球网电极、阳极环、辅助阳极环;其中,所述球网电极为由导电材料制成的球形网状结构,所述阳极环和所述辅助阳极由所述连接支撑件支撑在所述球网电极的内部,所述辅助阳极环环绕所述阳极环,并且所述球网电极、阳极环和辅助阳极环彼此绝缘。球网电极采用球形结构,其形成的电场具有更良好的对称性和均匀性;阳极环和球网电极能够形成马鞍形电场,辅助阳极环使马鞍形电场的形状更陡峭,整个电场对电子有束缚作用,使电子在本发明的电离规阳极结构中运动轨迹的长度会变大,由此提高了电离规的灵敏度。
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公开(公告)号:CN101126668B
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200710046174.1
申请日:2007-09-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于真空测量技术领域,具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括:两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极;在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压,实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽;两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉,能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题,提高其测量稳定性和准确度,可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量,同时配合电离真空规管使用,测量放电气体的电离度,规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点,是一种易于在工业界推广的气体电离度监测仪器。
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公开(公告)号:CN101126668A
公开(公告)日:2008-02-20
申请号:CN200710046174.1
申请日:2007-09-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于真空测量技术领域,具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括:两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极;在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压,实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽;两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉,能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题,提高其测量稳定性和准确度,可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量,同时配合离子真空规管使用,测量放电气体的电离度,规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点,是一种易于在工业界推广的新型气体电离度监测仪器。
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公开(公告)号:CN107958830B
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN201711263033.5
申请日:2017-12-04
Applicant: 成都国光电气股份有限公司
IPC: H01J41/02
Abstract: 本发明公开了一种八脚复合真空规管,包括八脚陶瓷片、电极支持杆组件、管基引脚组件、低真空测量规管和灯丝,八脚陶瓷片一侧安装有电极支持杆组件,八脚陶瓷片另一侧安装有管基引脚组件,两个收集极与管基第一脚、管基第七脚对应连接,两个加速极与管基第二脚、管基第八脚对应连接,两个灯丝支持杆与管基第四脚、管基第五脚对应连接,两个低真空测量规管支持杆与管基第三脚、管基第六脚对应连接,管基第一脚与管基第七脚连接,管基第二脚与管基第八脚电连接,八脚陶瓷片上设有管芯,管芯上连接有灯丝,两个加速极之间的连线与两个收集极之间的连线相互垂直呈十字状。本发明具有高、低真空测试范围,具有性能稳定、测试精度高、反映时间快等优点。
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公开(公告)号:CN109742009A
公开(公告)日:2019-05-10
申请号:CN201811369418.4
申请日:2018-11-16
Applicant: 中国航发西安动力控制科技有限公司
Abstract: 本发明属于真空度检测领域,涉及一种电离真空计保护装置,包括缓冲管、螺旋管、金属栅网以及金属栅网负电位电源;缓冲管包括第一缓冲管以及第二缓冲管;第一缓冲管通过螺旋管与第二缓冲管相连通;金属栅网置于第二缓冲管中并与置于第二缓冲管外部的金属栅网负电位电源相连;第二缓冲管接地。本发明提供了一种可有效减少进入真空计传感器的金属粒子和尘土等杂质、显著减少高温环境下冷阴极与热阴极真空计传感器阴极金属粒子污染以及可延长离子真空计使用寿命的电离真空计保护装置。
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公开(公告)号:CN107958830A
公开(公告)日:2018-04-24
申请号:CN201711263033.5
申请日:2017-12-04
Applicant: 成都国光电气股份有限公司
IPC: H01J41/02
CPC classification number: H01J41/02
Abstract: 本发明公开了一种八脚复合真空规管,包括八脚陶瓷片、电极支持杆组件、管基引脚组件、低真空测量规管和灯丝,八脚陶瓷片一侧安装有电极支持杆组件,八脚陶瓷片另一侧安装有管基引脚组件,两个收集极与管基第一脚、管基第七脚对应连接,两个加速极与管基第二脚、管基第八脚对应连接,两个灯丝支持杆与管基第四脚、管基第五脚对应连接,两个低真空测量规管支持杆与管基第三脚、管基第六脚对应连接,管基第一脚与管基第七脚连接,管基第二脚与管基第八脚电连接,八脚陶瓷片上设有管芯,管芯上连接有灯丝,两个加速极之间的连线与两个收集极之间的连线相互垂直呈十字状。本发明具有高、低真空测试范围,具有性能稳定、测试精度高、反映时间快等优点。
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公开(公告)号:CN107731651A
公开(公告)日:2018-02-23
申请号:CN201710898068.X
申请日:2017-09-28
Applicant: 中国航发动力股份有限公司
Abstract: 本发明属于真空度测量系统的保护装置,具体是一种用于延长电离规管使用寿命的保护装置,包括弯折管,弯折管包括至少两个依次连接的连接管,相邻连接管之间的连接部设有金属滤网,处于弯折管一端的连接管的自由端与设备真空度检测端口连接,且该连接管与设备真空度检测端口之间设有金属滤网;处于弯折管另一端的连接管的自由端与真空电离规管连接端口连接,且该连接管与真空电离规管连接端口之间设有金属滤网,通过该装置能够阻止导电离子被吸入电离规管,能够延长电离规管的使用寿命。
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