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公开(公告)号：CN105489465B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201610022654.3
申请日：2016-01-14
Applicant: 成都国光电气股份有限公司
Inventor： 陈旗
Abstract: 本发明公开了一种真空规管，所述真空规管包括电阻规管、冷阴极电离规管、置于真空规管外侧的永磁组件、用以连接真空测量设备与真空规管的高压插座，所述真空规管还包括法兰组件、阳极组件；所述法兰组件包括刀口法兰和焊接于刀口法兰上的管体，所述管体设有安装电阻规管和阳极组件的腔室；所述阳极组件包括压板、已金属化的陶瓷件和焊接于陶瓷组件上的阳极杆，所述压板上设有用以焊接陶瓷组件的焊接槽和用以安装电阻规管、陶瓷组件的腔室；采用所述真空规管其测量范围可以达到105Pa‑10‑7Pa,拓展了冷阴极电离规管的测量上限。
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公开(公告)号：CN103959032A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201280043956.9
申请日：2012-08-02
Applicant: 英飞康有限责任公司
Inventor： B.安德雷奧斯
Abstract: 一种电离-真空测量单元包括：a)带有用于待测量的真空的测量接口(8)的可抽真空的壳体(10)；b)外部的第一电极和内部的第二电极(3,4)，其以共同地轴线(7)彼此同轴地且相间隔地布置，由此在这两个电极之间构造有测量室(20)，其与测量接口(8)连通；c)电压源(16)，其与电极(3,4)相连接；d)电流测量器件(17)，用于评估在电极(3,4)之间构造的放电电流；e)至少一个永磁体环(1)，其包围电极(3,4)的同轴组件，带有径向于轴线取向的磁化方向(13)且带有包围该永磁体环(1)的软磁轭(2)，其中，轭(2)在轴向上在两侧引导远离永磁体环(1)并且在与永磁体环(1)的预设的间距(d)之后在两侧上在径向上朝向轴线(7)和第一电极(3)来引导，这样使得轭(2)在两侧、与永磁体环(1)相间隔地构造两个环形的极(9a,b)，永磁体环(1)的场线的至少一部分经由其在测量室(20)内穿过电极(3)地闭合。
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公开(公告)号：CN119213308A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202380035003.6
申请日：2023-04-19
Applicant: 英福康公司
Abstract: 一种光电离传感器组件包括壳体，其限定具有第一端和相对的第二端的腔室，并且该腔室对于分析物气体和非分析物气体是可渗透的。辐射源被构造成将光子发射到腔室中。第一、第二和第三电极位于腔室中。光子电离分析物气体，不足以电离非分析物气体，并且引起光电子从第三电极射出。控制器被构造成接收总压力的测量，并且电偏置电极以便以取决于总压力的比率收集第一电子和第二电子上的光电子。控制器被构造成确定在总压力下聚集在第一和第二电极上的光电子的比率，并且通过使用所确定的比率校正测量的电流来确定由于电离引起的电流的量。
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公开(公告)号：CN114424039B
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN201980100546.5
申请日：2019-09-20
Applicant: 英福康有限公司
Abstract: 一种用于确定真空系统中的压力的方法，其中所述方法包括以下步骤：a）在样品室中产生（101）等离子体，所述样品室与所述真空系统流体动态连接并且与第一电极和第二电极电接触；b）测量（102）在所述第一电极和所述第二电极之间流过所述等离子体的电流的电流强度；c）测量（103）从所述等离子体发射的第一波长范围的电磁辐射的第一辐射强度，其中所述第一波长范围包含第一化学元素的第一等离子体物质的至少一个第一发射线；d）测量（104）从所述等离子体发射的第二波长范围的电磁辐射的第二辐射强度，其中所述第二波长范围包含所述第一化学元素的第一等离子体物质的第二发射线或所述第一化学元素的第二等离子体物质的第二发射线，以及其中所述第二发射线位于所述第一波长范围外；以及e）根据所测量的电流强度、所测量的第一辐射强度和所测量的第二辐射强度确定（105）所述真空系统中的压力。
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公开(公告)号：CN114364960A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201980100548.4
申请日：2019-09-20
Applicant: 英福康有限公司
Abstract: 真空密封的电气馈通装置（10），包括：‑电绝缘的绝缘体元件（2），所述绝缘体元件具有通孔（23），具有与所述通孔邻接的第一边界面（21）并且具有同样与所述通孔邻接的、与所述第一边界面相对的第二边界面（22），和‑导电的导体元件（1），所述导体元件延伸穿过所述通孔（23）并且所述导体元件沿着所述导体元件（1）的周边线以真空密封的方式与所述绝缘体元件（2）连接，其中所述绝缘体元件（2）对于光学波长范围中的电磁辐射（25）是可透射的，以及其中所述第一（21）和/或所述第二（22）边界面构成为曲面，尤其构成为凸形或凹形面。此外，本发明涉及一种具有真空密封的电气馈通装置的真空压力传感器和一种用于测量电磁辐射的辐射强度的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103094049B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201110333503.7
申请日：2011-10-28
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J41/06
Abstract: 本发明提供一种电离规，用于测量具有导体外壳的真空系统的真空度，该电离规包括阴极装置、阳极装置和离子收集装置，所述阴极装置与所述离子收集装置设置于所述阳极装置的两侧并与所述阳极装置间隔设置，所述阴极装置进一步包括电子发射体，所述电子发射体延伸向所述阳极装置并与所述阳极装置间隔设置，其特征在于，所述电子发射体包括至少一个碳纳米管线，所述电离规直接设置在待测真空系统的导体外壳中。
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公开(公告)号：CN102087949B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201010618202.4
申请日：2010-12-31
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J41/06
CPC classification number: H01J41/06 , G01L21/34 , H01J2201/30469
Abstract: 本发明提供一种真空规管，其包括：一冷阴极，其包括一阴极发射单元和与所述阴极发射单元相对设置的一栅极；一屏蔽极，其包括一收容空间和两个端部，该屏蔽极的一端与所述冷阴极相对设置；一阳极环，该阳极环设置于所述屏蔽极的收容空间内；一收集极，其与所述屏蔽极的另一端相对设置；所述阴极发射单元包括至少一电子发射体，该所述电子发射体包括一碳纳米管管状结构，所述碳纳米管管状结构具有一中空的线状轴心，所述碳纳米管管状结构为多个碳纳米管围绕该中空的线状轴心组成，所述碳纳米管管状结构沿所述线状轴心的一端延伸出多个电子发射尖端。本发明提供的真空规管具有良好的灵敏度。
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公开(公告)号：CN101960278A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980106807.0
申请日：2009-02-25
Applicant: 因菲康有限公司
CPC classification number: G01N33/0009 , G01L21/34 , H01J41/20
Abstract: 氦传感器具有：壳体(10)，该壳体包围检测室(11)。壳体的一侧用对于氦气可选择性透过的壁(12)封闭。在检测室(11)中存在离子吸气泵，其带有阳极(14)、阴极(15)和磁场(16)。根据本发明，阴极(15)或者阴极腿部(15a)由铍构成。铍具有小的原子量，由此更好地将同样重量轻的氦离子结合进阴极材料中。
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公开(公告)号：CN101110335A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200610099424.3
申请日：2006-07-18
Applicant: 日特机械工程株式会社
Inventor： 山田哲弘
IPC: H01J41/06
Abstract: 本发明提供一种锭翼式线圈绕线机，具有：用于夹持铁芯(20)的夹头(12)；具有把线材(35)送出的管嘴(34)的锭翼(23)；把线材(35)熔接到形成在铁芯(20)侧面的端子(20C、20D)上的熔接头(60)。将夹头(12)和锭翼(23)配置在铁芯(20)的一侧，使熔接头(60)与夹头(12)及锭翼(23)相对地配置在铁芯(20)的另一侧，从而在绕线作业和熔接作业时，可以避免锭翼(23)与熔接头(60)的干涉。
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公开(公告)号：CN116422644A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310237168.3
申请日：2023-03-13
Applicant: 中国科学院上海高等研究院
Abstract: 本发明提供一种冷阴极电离规的清洗和检测方法，包括：对冷阴极电离规进行拆卸，得到待清洗工件；对所述冷阴极电离规的待清洗工件执行初始清洗方案；根据清洗结果，执行加强清洗方案再进行冲淋烘干或直接进行冲淋烘干，得到经过清洗的工件；将经过清洗的工件组装为待检测的冷阴极电离规；对待检测的冷阴极电离规进行检测。本发明的冷阴极电离规的清洗和检测方法实现了被污染故障冷规的再利用，节约设备成本，延续其使用寿命。
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